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21. 发明公开

KR1020060079011A 수율 분석 방법 失效
标题翻译： YIELD分析方法
公开(公告)号：KR1020060079011A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040118274
申请日：2004-12-31
申请人： 동부일렉트로닉스 주식회사
发明人： 김민석
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L22/20 , G01R31/31718 , H01L22/12
摘要： 본 발명은 수율 분석 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 인라인에서 검사 및 리뷰 데이터를 추출하는 단계, 수율 손실과 결함품 다이의 상관 관계 그래프를 추출하는 단계, 샘플의 수를 늘려서 각 추출된 그래프에 검사 데이터를 누적 표시하여 2차원 추세선을 추출하는 단계, 상기 누적된 데이터에서 추출된 2차원 추세선의 기울기를 추출하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 수율 분석 방법은 Defect Type별, Inspection Layer별, Wafer별 불량품 다이를 게산하여 수율과 상관 관계를 살펴봄으로서 Critical Defect의 상대적인 Killing Ratio의 계산 및 막의 수율 손실 요인의 상대적인 계산 및 웨이퍼의 상대적인 수율 요인의 계산으로 중요도를 확인하여 수율 향상의 중요한 데이터로 활용하고, 상기 방법을 프로그램화 하여 지속적인 검사 데이터를 축적함으로써 통게적으로 신뢰성을 갖는 효과가 있다.
수율 손실, 검사 데이터

22. 发明授权

KR101789004B1 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR101789004B1
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020167033159
申请日：2006-11-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 자파쿠람 , 크케어사가 , 창엘리스 , 팍알렌 , 로즈피터
IPC分类号： H01L21/66 , G06F17/30
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N2021/8854 , G01R31/31718 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 검사데이터와조합하여설계데이터를활용하는각종방법및 시스템이제공된다. 설계데이터스페이스내의검사데이터의위치를결정하기위한하나의컴퓨터-구현방법은, 웨이퍼상의정렬사이트에대해검사시스템에의해취득된데이터를소정의정렬사이트에대한데이터와정렬하는단계를포함한다. 상기방법은설계데이터스페이스내의소정의정렬사이트의위치에기초하여설계데이터스페이스내의웨이퍼상의정렬사이트의위치를결정하는단계를또한포함한다. 또한, 상기방법은설계데이터스페이스내의웨이퍼상의정렬사이트의위치에기초하여설계데이터스페이스내의검사시스템에의해웨이퍼에대하여취득된검사데이터의위치를결정하는단계를또한포함한다. 일실시예에서, 검사데이터의위치는서브-픽셀정확도로결정된다.

23. 发明授权

KR101688839B1 성능 특성 감시회로 및 방법 有权
标题翻译：一种性能特征监测电路及方法
公开(公告)号：KR101688839B1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：KR1020130069424
申请日：2013-06-18
申请人： 에이알엠 리미티드
发明人： 드위베디산디프 , 홀드베티나
IPC分类号： G11C29/00
CPC分类号： G01R31/31718 , G01R31/31725 , G11C7/08 , G11C7/12 , G11C7/22 , G11C29/023 , G11C29/028 , G11C2029/0409
摘要： 성능특성감시회로는, 디바이스내에설치하여, 상기성능특성이상기디바이스의부품의하나이상의물리특성에의존하는경우에, 상기성능특성을나타내는출력신호를발생하도록개시되어있다. 그감시회로는, 제1 지연로를제공하는제1 지연회로를구비하고, 이때상기제1 지연로상에데이터의값의전송은상기성능특성에따라달라지는제1 지연을초래한다. 또한, 기준지연회로는, 기준지연로를제공하도록구성되고, 이때상기기준지연로상에서상기데이터값의전송은기준지연을초래한다. 그렇지만, 상기제1 지연회로와대조하여, 상기기준지연회로는, 상기기준지연로에용량성부하를제공하여상기성능특성의변동에대한상기제1 지연보다상기기준지연이덜 민감하게상기기준지연에관한자체보상효과를생성하도록구성된부품을구비한다. 그리고, 비교회로는, 상기제1 지연과상기기준지연의비교에따라상기감시회로의출력신호를발생하는데사용된다. 이러한형태의감시회로가, 성능특성을감시하는저면적및 저비용해결책을제공하는것을알았고, 또한상이한프로세스기술에서쉽게확장가능하다.
摘要翻译：性能特征监测电路包括提供第一延迟路径的第一延迟电路，其中在该第一延迟路径上的数据值的传输导致根据性能特性而变化的第一延迟。还包括参考延迟电路以提供参考延迟路径，其中数据值在参考延迟路径上的传输引起参考延迟。参考延迟电路包括被配置为在参考延迟路径上提供电容负载的组件，以便产生对参考延迟的自补偿作用，该参考延迟使得参考延迟比对性能特性变化的第一延迟更不敏感。然后根据第一延迟和参考延迟的比较，比较电路用于产生监控电路的输出信号。

24. 发明公开

KR1020150123962A 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 방법 및 시스템 有权
标题翻译：与检验数据组合使用设计数据的方法和系统
公开(公告)号：KR1020150123962A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：KR1020157030359
申请日：2006-11-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 쿨카니아쇽 , 더피브라이언 , 마야카이스 , 로우즈고든 , 로즈피터
IPC分类号： H01L21/66 , H01L27/02
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N2021/8854 , G01R31/31718 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 검사데이터와조합하여설계데이터를활용하는각종방법및 시스템이제공된다. 설계데이터스페이스내의검사데이터의위치를결정하기위한하나의컴퓨터-구현방법은, 웨이퍼상의정렬사이트에대해검사시스템에의해취득된데이터를소정의정렬사이트에대한데이터와정렬하는단계를포함한다. 상기방법은설계데이터스페이스내의소정의정렬사이트의위치에기초하여설계데이터스페이스내의웨이퍼상의정렬사이트의위치를결정하는단계를또한포함한다. 또한, 상기방법은설계데이터스페이스내의웨이퍼상의정렬사이트의위치에기초하여설계데이터스페이스내의검사시스템에의해웨이퍼에대하여취득된검사데이터의위치를결정하는단계를또한포함한다. 일실시예에서, 검사데이터의위치는서브-픽셀정확도로결정된다.

25. 发明授权

KR101556143B1 탈부착이 용이한 센터링 블럭 및 블레이드를 가지는 반도체 IC 테스트용 핸들러 有权
标题翻译：半导体IC测试处理器用途中心环形块和叶片易于附着和分离
公开(公告)号：KR101556143B1
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：KR1020140037585
申请日：2014-03-31
申请人： 주식회사 레더스
发明人： 구자용
IPC分类号： G01R31/26
CPC分类号： G01R31/31718
摘要： 본발명은탈부착이용이한센터링블럭및 블레이드를가지는반도체 IC 테스트용핸들러에관한것으로서, 보다상세하게는반도체 IC 테스트용핸들러의구성중 테스트대상이되는반도체 IC의종류및 크기에따라교체되는블레이드가, 센터링블럭과마그네틱부재에의해착탈가능한구조를가지도록함으로써작업의효율성을증대시키고, 센터링블럭과블레이드의상호간결합시, 상호간이정확한위치에결합되어위치될수 있도록체결가이드부가구비되어있도록한 탈부착이용이한센터링블럭및 블레이드를가지는반도체 IC 테스트용핸들러에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及具有定心块和能够容易地分离和拆卸的刀片的用于半导体IC测试的处理器。更具体地说，本发明涉及一种半导体IC测试处理机，具有提高操作效率的定心块和叶片，并且当相互耦合时通过联接在相互准确的位置而被安装在安装引导单元上通过允许在半导体IC测试的处理程序之中由作为测试对象的半导体IC的类型和尺寸的刀片替换为刀片的定心块，以通过对中块和磁性构件具有可附接和可拆卸的结构。

26. 发明授权

KR101370154B1 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR101370154B1
公开(公告)日：2014-03-04
申请号：KR1020137009231
申请日：2006-11-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 쿨카니아쇽 , 더피브라이언 , 마야카이스 , 로우즈고든
IPC分类号： G06F17/30
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N2021/8854 , G01R31/31718 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 각종 방법 및 시스템이 제공된다. 설계 데이터 스페이스 내의 검사 데이터의 위치를 결정하기 위한 하나의 컴퓨터-구현 방법은, 웨이퍼 상의 정렬 사이트에 대해 검사 시스템에 의해 취득된 데이터를 소정의 정렬 사이트에 대한 데이터와 정렬하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 소정의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다. 또한, 상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 검사 시스템에 의해 웨이퍼에 대하여 취득된 검사 데이터의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다. 일 실시예에서, 검사 데이터의 위치는 서브-픽셀 정확도로 결정된다.

27. 发明授权

KR101285967B1 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 방법 및시스템 有权
标题翻译：与检验数据组合使用设计数据的方法和系统
公开(公告)号：KR101285967B1
公开(公告)日：2013-07-12
申请号：KR1020087014775
申请日：2006-11-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 쿨카니아쇽 , 더피브라이언 , 마야카이스 , 로우즈고든 , 자파쿠람 , 크케어사가 , 창엘리스 , 팍알렌 , 로즈피터
IPC分类号： G06F17/30
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N2021/8854 , G01R31/31718 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 검사 데이터와 조합하여 설계 데이터를 활용하는 각종 방법 및 시스템이 제공된다. 설계 데이터 스페이스 내의 검사 데이터의 위치를 결정하기 위한 하나의 컴퓨터-구현 방법은, 웨이퍼 상의 정렬 사이트에 대해 검사 시스템에 의해 취득된 데이터를 소정의 정렬 사이트에 대한 데이터와 정렬하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 소정의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다. 또한, 상기 방법은 설계 데이터 스페이스 내의 웨이퍼 상의 정렬 사이트의 위치에 기초하여 설계 데이터 스페이스 내의 검사 시스템에 의해 웨이퍼에 대하여 취득된 검사 데이터의 위치를 결정하는 단계를 또한 포함한다. 일 실시예에서, 검사 데이터의 위치는 서브-픽셀 정확도로 결정된다.
웨이퍼, 설계 데이터 스페이스, 검사 데이터, 정렬 사이트, 핫 스폿, 체계적 결함, 랜덤 결함, 뉴슨스 결함, POI, DCI, KP, MRI

28. 发明授权

KR100998324B1 디바이스 식별 방법, 디바이스 제조 방법, 및 전자 디바이스 失效
标题翻译：设备识别方法，设备制造方法和电子设备
公开(公告)号：KR100998324B1
公开(公告)日：2010-12-03
申请号：KR1020107006738
申请日：2005-08-18
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오카야스,토시유키 , 스가와,시게토시 , 테라모토,아키노부
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/544 , H01L27/04
CPC分类号： H01L23/544 , G01R31/31718 , G11C2029/4402 , H01L21/76254 , H01L22/14 , H01L2223/5444 , H01L2924/0002 , Y10T29/49004 , H01L2924/00
摘要： 전자 디바이스의 실제의 동작시에 동작하는 실동작 회로, 전자 디바이스의 시험시에 동작하는 제3의 테스트용 회로 및 제2의 테스트용 회로, 전자 디바이스의 실제의 동작시에 상기 제2의 테스트용 회로에 전원 전압이 인가되지 않는 상태를 유지하여 실동작 회로 및 제3의 테스트용 회로에 전원 전압을 인가하고, 전자 디바이스의 식별시에 제2의 테스트용 회로에 전원 전압을 인가하는 전원부를 포함하는 전자 디바이스를 제공한다.
摘要翻译：在电子设备的测试时工作的第三测试电路和第二测试电路，在电子设备的实际工作时工作的实际工作电路，包括保持所述电源电压不被施加到电路的电路操作的状态以及用于施加电源电压的电源时，第三测试的识别的电子设备是电源电压的电路中，并且用于在第二的测试电路 Lt。

29. 发明公开

KR1020100042661A 디바이스 식별 방법, 디바이스 제조 방법, 및 전자 디바이스 失效
标题翻译：装置识别方法，装置制造方法和电子装置
公开(公告)号：KR1020100042661A
公开(公告)日：2010-04-26
申请号：KR1020107006738
申请日：2005-08-18
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트 , 고쿠리츠 다이가쿠 호진 도호쿠 다이가쿠
发明人： 오카야스,토시유키 , 스가와,시게토시 , 테라모토,아키노부
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/544 , H01L27/04
CPC分类号： H01L23/544 , G01R31/31718 , G11C2029/4402 , H01L21/76254 , H01L22/14 , H01L2223/5444 , H01L2924/0002 , Y10T29/49004 , H01L2924/00
摘要： Provided is a device identifying method for identifying an electronic device having an actually operating circuit which operates during actual operation of the electronic device and a testing circuit which has a plurality of testing elements and operates at the time of testing the electronic device. The device identifying method is provided with a characteristic measuring step wherein the electrical characteristics of the testing elements are measured; an identifying information storing step wherein the electrical characteristics of each of the testing elements are stored as identifying information of the electronic device; an identifying information acquiring step wherein the electrical characteristics of the testing elements included in the electronic device are measured so as to identify a desired electronic device, and the identifying information of the electronic device is acquired; and a matching step wherein the identifying information acquired in the identifying information acquiring step is compared with the identifying information stored in the identifying information storing step, and when the two kinds of identifying information match, the electronic devices are judged identical.
摘要翻译：提供了一种用于识别具有在电子设备的实际操作期间操作的实际操作电路的电子设备的设备识别方法和具有多个测试元件并且在测试电子设备时操作的测试电路。设备识别方法具有特征测量步骤，其中测量测试元件的电特性; 识别信息存储步骤，其中每个测试元件的电特性被存储为电子设备的识别信息; 识别信息获取步骤，其中测量包括在电子设备中的测试元件的电特性，以便识别期望的电子设备，并且获取电子设备的识别信息; 以及匹配步骤，其中将在所述识别信息获取步骤中获取的识别信息与存储在所述识别信息存储步骤中的识别信息进行比较，并且当所述两种识别信息匹配时，所述电子设备被判断为相同。

30. 发明公开

KR1020070035612A 전자 부품 시험 장치 및 전자 부품 시험 장치의 편성 방법 失效
标题翻译：电子元件测试装置和配置电子元件测试装置的方法
公开(公告)号：KR1020070035612A
公开(公告)日：2007-03-30
申请号：KR1020077004158
申请日：2005-07-22
申请人： 가부시키가이샤 아드반테스트
发明人： 야마시타카즈유키 , 마스오요시유키
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/30 , G01R31/2865 , G01R31/2868 , G01R31/2893 , G01R31/31718 , G01R31/31905
摘要： 핸들러를, 처리율이 다른 복수종의 핸들링 모듈(2)과, 동시 측정수 및/또는 시험 온도가 다른 복수종의 테스트 모듈(1)을, 분리 및 접속 가능하게 구성한다. 테스트 패턴을 출력하는 동시에 응답 패턴을 검사하는 테스터의 최대 측정 가능 핀수, 피시험 전자 부품의 단자수 및 테스트 시간에 기초하여, 핸들링 모듈(2)의 처리율과, 테스트 모듈(1)의 동시 측정수 및/또는 시험 온도를 선정하여, 조합시킨다.
전자 부품 시험 장치

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