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1. 发明公开

KR1020170005172A 부품 핸들링 어셈블리 및 부품 핸들링 방법 审中-实审
标题翻译：组件处理组件和处理组件的方法
公开(公告)号：KR1020170005172A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：KR1020167037095
申请日：2014-11-10
申请人： 라스코 게엠베하
发明人： 와이즈뵉안드레아스 , 퀸즐리세르주 , 샤우레맥스 , 라멜가이
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2893 , G01R31/2868
摘要： 본발명에따른부품핸들링어셈블리는복수의부품들을지지하도록구성되고, 복수의홀들이정의된표면을포함한캐리어; 캐리어의표면에있는부품들을보유하도록복수의홀들을통해캐리어의표면에지지된부품들에진공을가하도록복수의홀들과소통하게배열되도록구성된진공발생기; 및캐리어의표면에지지된부품들에가한진공도를모니터하도록구성된진공센서를포함한다.
摘要翻译：一种载体，包括：被配置为支撑多个部件的表面，所述表面具有限定在其中的多个孔，通过所述多个孔可以施加真空以将部件保持在所述表面上; 与所述多个孔连通的第一真空接口，所述第一真空接口可连接到第一真空发生器，使得所述第一真空发生器可以通过所述多个孔向所述部件施加真空; 与所述多个孔连通的第二真空接口，第二第一真空接口可连接到第二真空发生器，使得所述第二真空发生器可以通过所述多个孔向所述部件施加真空。还提供了相应的方法和装配。

2. 发明公开

KR1020140078015A 반도체 모듈 검사 시스템 审中-实审
标题翻译：用于测试半导体模块的系统
公开(公告)号：KR1020140078015A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：KR1020120145862
申请日：2012-12-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김민우 , 이배기 , 이영수 , 이형연
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/677
CPC分类号： G01R31/2868 , G01R31/18 , G01R31/26 , G01R31/2601 , G01R31/2806 , G01R31/2893 , H01L21/67271 , H01L22/30
摘要： A semiconductor module inspection system includes: a first inspection unit; a second inspection unit; a sorting unit; and a transfer unit. The first inspection unit checks the functionality of the semiconductor modules mounted on a main board. The second inspection unit inspects the semiconductor modules inspected by the first inspection unit using a terminal. The sorting unit sorts the semiconductor modules inspected by the second inspection unit. The transfer unit connects the first inspection unit and the second inspection unit, and the second inspection unit and the sorting unit on an in-line basis to transfer the semiconductor modules from the first inspection unit to the second inspection unit and to the sorting unit. Accordingly, the semiconductor modules can be automatically transferred to each unit, thereby significantly shortening the inspection time.
摘要翻译：半导体模块检查系统包括：第一检查单元; 第二检查单位; 分拣单元; 和转移单元。第一检查单元检查安装在主板上的半导体模块的功能。第二检查单元使用终端检查由第一检查单元检查的半导体模块。排序单元对由第二检查单元检查的半导体模块进行排序。传送单元将第一检查单元和第二检查单元以及第二检查单元和分类单元串联连接，以将半导体模块从第一检查单元传送到第二检查单元和分类单元。因此，可以将半导体模块自动转移到每个单元，从而显着缩短检查时间。

3. 发明授权

KR101188841B1 번인 소터 및 이를 이용한 번인 소팅 방법 有权
标题翻译：烧嘴和使用相同方法的分选方法
公开(公告)号：KR101188841B1
公开(公告)日：2012-10-08
申请号：KR1020060053183
申请日：2006-06-13
申请人： 미래산업 주식회사
发明人： 김병우
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： B07C5/344 , G01R31/2868 , G01R31/2893 , H01L21/67271
摘要： 번인 테스트가 완료된 회로소자를 분류하기 위한 번인 소터 및 번인 소팅 방법이 개시된다. 본 발명의 번인 소터(Burn-in sorter)는 보드 테이블(Board table), 보드 테이블에 번인 테스트가 수행되는 번인 보드를 공급하는 보드 로더(Board loader) 및 회수하는 보드 언로더(Board unloader), 번인 보드 상에 회로소자를 공급하는 트레이 로더(Tray loader), 테스트된 양품의 회로소자를 수납하는 트레이 언로더(Tray unloader), 양품의 회로소자를 제외한 회로소자를 수납하는 소팅부(Sorting part), 회로소자의 DC 테스트(Direct Current test)를 수행하는 DC 테스트부(Direct Current test part), 회로소자를 이송하는 헤드부(Head part)를 포함하며, DC 테스트부는 인서트 헤드로 접근하도록 이동할 수 있다. 따라서, 헤드부는 연속적으로 이송작업을 수행할 수 있고, 작업 공정 시간을 단축할 수 있다.
번인 소터, DC 테스트부, 이동, 소팅, DC 오류

4. 发明授权

KR101169830B1 웨이퍼 검사 장치와 웨이퍼 검사 방법, 및 컴퓨터 판독가능한 기록 매체 有权
标题翻译：波浪检测装置，波形检测方法和计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR101169830B1
公开(公告)日：2012-07-30
申请号：KR1020077015845
申请日：2006-09-21
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 마츠자와다카히토
IPC分类号： G01R31/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/2868
摘要： 프로브의 프리히트 시간을 단축하고, 프로브 및 웨이퍼에의 손상을 방지할 수 있는 웨이퍼 검사 장치를 제공한다. 상면에 반도체 웨이퍼(W)를 적재하여 이것을 소정의 온도로 가열 또는 냉각하는 스테이지(10)와, 스테이지를 상하 방향으로 구동하는 구동 기구(11)와, 스테이지의 위쪽에 설치되고, 반도체 웨이퍼의 본딩 패드와 접촉하여 신호를 전달하기 위한 프로브 침(9A)을 갖는 프로브 카드(9)와, 반도체 웨이퍼의 본딩 패드를 프로브 카드의 프로브 침에 접촉시키도록 구동 기구를 제어하는 위치 제어 장치(2)와, 프로브 침을 본딩 패드에 접촉시킨 후의 경과 시간을 계측하는 계시 수단(28)을 구비하며, 위치 제어 장치는 반도체 웨이퍼를 검사하는 소정의 온도와, 프로브 침을 본딩 패드에 접촉시킨 후의 경과 시간에 기초하여, 프로브 침에 본딩 패드가 소정의 왜곡량으로 접촉하도록, 위치 보정값을 추가하여 구동 기구의 위치를 제어한다.

5. 发明公开

KR1020100055506A 전자 부품을 템퍼링 하기 위한 템퍼링 체임버 有权
标题翻译：温度室温度电子元件，特别是IC
公开(公告)号：KR1020100055506A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：KR1020107006283
申请日：2008-09-25
申请人： 물티테스트 엘렉트로니쉐 지스테메 게엠베하
发明人： 피흘,프란츠 , 예제러,귄터 , 비스뵈크,안드레아스 , 바우어,알렉산더
IPC分类号： B65G29/02 , G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2867 , G01R31/2862 , G01R31/2868
摘要： The invention relates to a tempering chamber for tempering electronic components, in particular, IC's, with a circulating device (15) with a number of carrier elements (18) running in a circle and two support devices arranged on opposite sides of the carrier elements (18) are provided within a housing (14), wherein the carrier elements (18) are mounted on said support elements such that the alignment of the carrier elements (18) is unaltered on circulation.
摘要翻译：本发明涉及一种用于回火电子元件，特别是IC的回火室，其具有循环装置（15），所述循环装置（15）具有以圆形运行的多个载体元件（18）和布置在载体元件的相对侧上的两个支撑装置（ 18）设置在壳体（14）内，其中载体元件（18）安装在所述支撑元件上，使得载体元件（18）的对准在循环中不变。

6. 发明授权

KR100876138B1 프로브 스테이션 失效
标题翻译： 프로브스테이션
公开(公告)号：KR100876138B1
公开(公告)日：2008-12-26
申请号：KR1020070010773
申请日：2007-02-01
申请人： 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 이문호 , 김지연 , 노예철
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： G01R31/2868 , G01R31/2862 , G01R31/2891
摘要： The present invention relates to a probe station which is electric analysis equipment for an electrical and electronic device component, comprising: a box-shaped case having an enclosed structure; a chuck mounted inside the case for fixedly placing the device component thereon; a chuck drive stage for moving independently the chuck in left/right and forward/rearward directions; a probe for probing a sample of the device component; a holder coupled to the probe; a probe drive stage for externally controlling the holder to be moved in a vertical and horizontal direction; an optical microscope mounted above the top surface of the case for observing a contact between the device component and the probe; a microscope control stage for controlling the position of the optical microscope in left/right and forward/rearward directions; an openable/ closable transparent window mounted on the top surface and the front surface of the case so as to observe the inside of the case; a connection tube for enabling inflow and outflow of gas into and out of the case; and a probe connecting line for transferring an electrical control signal outputted from the probe to an analysis unit therethrough.
摘要翻译：本发明涉及一种用于电气和电子设备部件的电气分析设备的探测站，包括：具有封闭结构的箱形壳体; 一个安装在壳体内的卡盘，用于将设备部件固定在其上; 一个卡盘驱动台，用于沿左/右和前/后方向独立移动卡盘; 用于探测设备组件的样本的探针; 与探针耦合的保持器; 探针驱动台，用于从外部控制保持器沿垂直和水平方向移动; 安装在壳体顶部表面上方的光学显微镜，用于观察装置部件和探针之间的接触; 显微镜控制台，用于控制光学显微镜的左/右和前/后方向的位置; 安装在壳体的顶面和前表面上的可打开/可关闭的透明窗口，以观察壳体的内部; 用于使气体能够流入和流出壳体的连接管; 以及探针连接线，用于将从探针输出的电控制信号传递到分析单元。

7. 发明授权

KR100838751B1 번인장치의 상태 진단방법 失效
标题翻译：诊断装置状态的方法
公开(公告)号：KR100838751B1
公开(公告)日：2008-06-17
申请号：KR1020067025717
申请日：2005-06-07
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 기타가즈미 , 구라사와다다히로
IPC分类号： G01R31/3181 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2872 , G01R31/2855 , G01R31/2868 , G01R35/00
摘要： 번인시험시에, 상기 번인시험을 행하는 각종 피측정 디바이스에 대하여 각각 히터 및 온도센서를 접촉시키고, 상기 히터의 소비전력을 제어하여 피측정 디바이스의 온도조정을 행하면서 상기 번인시험을 행하는 번인장치의 상태 진단방법에 있어서, 상기 피측정 디바이스와 히터 및 온도센서가 비접촉상태일 때, 이들 히터 및 온도센서가 배치됨과 동시에 냉각액이 접촉하는 온도 제어블록의 온도를 이 온도센서에 의하여 검출하고, 이 검출결과를 기초로 온도센서가 정상인지의 여부를 진단하도록 하고 있다.

8. 发明公开

KR1020070118903A 번인 소터 및 이를 이용한 번인 소팅 방법 有权
标题翻译：烧嘴和使用相同方法的分选方法
公开(公告)号：KR1020070118903A
公开(公告)日：2007-12-18
申请号：KR1020060053183
申请日：2006-06-13
申请人： 미래산업 주식회사
发明人： 김병우
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： B07C5/344 , G01R31/2868 , G01R31/2893 , H01L21/67271
摘要： A burn-in sorter is provided to shorten an interval of process time by installing an additional DC(direct current) error head between a DC test part and a sorting part. A DC test part(110) performs a DC test. A transfer unit transfers the DC test part. A DC error/loading head(152) loads a circuit device to the DC test part, transferring in a first direction. An insert head(154) transfers a circuit device having passed a DC test from the DC test part to a burn-in board(104), transferring in a second direction crossing the first direction. The DC test part transfers in the second direction, approximating to the DC error/loading head in loading the circuit device to the DC test part and approximating to the insert head in transferring the circuit device to the burn-in board. A tray loader(120) can supply the circuit device to the DC test part. A tray unloader(122) collects good products, located in a position confronting the tray loader. A sorting part(130) receives products except the good products. The DC error/loading head transfers between the tray loader and the DC test part or the sorting part.
摘要翻译：提供老化分拣机，通过在DC测试部件和分拣部件之间安装额外的DC（直流）误差头来缩短处理时间间隔。 DC测试部件（110）进行DC测试。转移单元传送直流测试部件。 DC错误/加载头（152）将电路装置加载到DC测试部件，沿第一方向传送。插入头（154）将通过DC测试的电路装置从直流测试部分传送到老化板（104），沿与第一方向交叉的第二方向传输。在将电路装置加载到DC测试部分时，直流测试部分沿第二方向传输，接近直流误差/负载头，并将电路装置传送到老化板时与插入头接近。托盘装载器（120）可以将电路装置提供给DC测试部件。托盘卸载机（122）收集位于与托盘装载机相对的位置的好产品。分类部件（130）接收除好产品以外的产品。托盘装载机和DC测试部件或分拣部件之间的DC错误/装载头传送。

9. 发明公开

KR1020070041683A 번인장치의 상태 진단방법 失效
标题翻译：诊断装置状态的方法
公开(公告)号：KR1020070041683A
公开(公告)日：2007-04-19
申请号：KR1020067025717
申请日：2005-06-07
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 기타가즈미 , 구라사와다다히로
IPC分类号： G01R31/3181 , G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2872 , G01R31/2855 , G01R31/2868 , G01R35/00
摘要： 번인시험시에, 상기 번인시험을 행하는 각종 피측정 디바이스에 대하여 각각 히터 및 온도센서를 접촉시키고, 상기 히터의 소비전력을 제어하여 피측정 디바이스의 온도조정을 행하면서 상기 번인시험을 행하는 번인장치의 상태 진단방법에 있어서, 상기 피측정 디바이스와 히터 및 온도센서가 비접촉상태일 때, 이들 히터 및 온도센서가 배치됨과 동시에 냉각액이 접촉하는 온도 제어블록의 온도를 이 온도센서에 의하여 검출하고, 이 검출결과를 기초로 온도센서가 정상인지의 여부를 진단하도록 하고 있다.

10. 发明授权

KR100427094B1 전자부품 시험장치 失效
标题翻译： 전자부품시험장치
公开(公告)号：KR100427094B1
公开(公告)日：2004-04-17
申请号：KR1019990052759
申请日：1999-11-25
申请人： 가부시키가이샤 어드밴티스트
发明人： 사이토노보루 , 다카하시히로유키 , 이가라시노리유키 , 후쿠모토게이이치 , 나카무라히로토 , 와타나베유타카 , 시마다게니치
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R31/01 , G01R1/0458 , G01R31/2806 , G01R31/2862 , G01R31/2863 , G01R31/2868 , G01R31/2877
摘要： A device testing apparatus including a connection terminal to which an electronic device under test is detachably attached, a pusher for pushing the electronic device in the direction of the connection terminal so as to connect the electronic device to the connection terminal, and a cooling unit for cooling the electronic device. As the cooling unit, an element cooling the device using electricity is for example used. The cooling unit includes a cooling medium blower for blowing a cooling medium around the electronic device and heat exchange projections or depressions for raising the cooling efficiency by blowing a cooling medium. In the device testing apparatus, even if the electronic device generates heat on its own during testing, the electronic device is cooled through the pusher, connection terminals, or socket, so the effect of the heat generated by the electronic device is canceled out and the electronic device can be tested at the predetermined temperature as prescribed in the specification.
摘要翻译：一种装置测试装置，包括：连接端子，被测试的电子设备可拆卸地连接到所述连接端子;推动器，用于朝所述连接端子的方向推动所述电子装置以将所述电子装置连接到所述连接端子;以及冷却单元，冷却电子设备。作为冷却单元，例如使用利用电力冷却装置的元件。冷却单元包括用于在电子装置周围吹送冷却介质的冷却介质鼓风机和用于通过吹送冷却介质来提高冷却效率的热交换突起或凹陷。在装置测试装置中，即使电子装置在测试期间自行产生热量，电子装置也通过推动器，连接端子或插座而被冷却，因此电子装置产生的热量的效应被抵消，并且电子设备可以按照规范中规定的预定温度进行测试。

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