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11. 发明公开

KR1020160068820A 대류 및 복사 가열을 갖는 노 审中-实审
标题翻译：具有对流和辐射加热的炉
公开(公告)号：KR1020160068820A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：KR1020167011235
申请日：2014-09-25
申请人： 에이디피브이 씨아이지에스 엘티디.
发明人： 에브너,로베르트 , 존스,베르나르트 , 슈피첸베르거,알프레드 , 카임,우버
IPC分类号： F27B9/40 , F27B9/20 , F27B9/24 , F27B17/00 , F27D19/00 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： F27B9/062 , F27B9/20 , F27B9/24 , F27B9/28 , F27B17/0025 , F27D2019/0071 , H01L21/67109 , H01L21/67248 , H01L21/67259 , H01L21/6776 , H01L21/67784 , F27B9/40
摘要： 본발명은적어도하나의기판(102)의온도를제어하기위한노, 특히연속로(continuous furnace)에관한것이다. 노의하우징(100)은주입구(103) 및배출구(104)를포함하며, 상기주입구(103)와배출구(104) 사이에는온도-조절형부분(105)이형성된다. 상기적어도하나의기판(102)을운반하기위한운반체(120)는상기주입구(103)를통해상기온도-조절형부분(105) 안으로, 그리고상기온도-조절형부분(105)으로부터상기배출구(104)를통해이송방향(101)을따라이동가능하다. 온도제어부(106)는온도-조절형부분(105)의온도를제어하기위하여상기온도-조절형부분(105)에열적으로결합된다. 상기온도-조절형부분(105)은상기온도-조절형부분(105)의온도를제어하기위해그것을통해가스(110)를주입할수 있는가스흡입구(108)를포함한다.

12. 发明公开

KR1020150123130A 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 기록 매체 有权
标题翻译：基板处理装置，制造半导体器件的方法和计算机可读记录介质
公开(公告)号：KR1020150123130A
公开(公告)日：2015-11-03
申请号：KR1020140067438
申请日：2014-06-03
申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키
发明人： 사이도슈헤이 , 와다유이치 , 사사키타카후미
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/302
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/4583 , H01L21/6776 , H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/302 , H01L21/68764
摘要： 본발명은각종가스의상방공급/상방배기를수행하는경우에서기판에대한프로세스처리를적절하게수행하는것을가능하게한다. 기판이재치되는기판재치대; 기판재치대의상방측으로부터기판의면상에처리가스를공급하는처리가스공급부; 처리가스공급부의측방에서기판재치대의상방측으로부터기판의면상에불활성가스를공급하는불활성가스공급부; 및처리가스공급부와불활성가스공급부사이에서기판의면상에공급된가스를기판의상방측에배기하는복수의가스배기부;를구비하여기판처리장치를구성한다.
摘要翻译：当各种气体向上或向下排出时，本发明可以适当地执行基板上的处理。一种基板处理装置，包括：载置基板的基板装载台; 处理气体供给单元，其从所述基板装载台的上侧向所述基板的表面供给处理气体; 非活性气体供给单元，其在所述处理气体供给单元侧从所述基板装载台的上侧向所述基板的表面供给非活性气体; 以及多个排气单元，其将供给到基板的表面的气体排出到处理气体供给单元和非活性气体供给单元之间的基板的上侧。

13. 发明公开

KR1020150120342A 기판들의 하측면을 습윤 처리하기 위한 장치 审中-实审
标题翻译：用于湿处理基材的下表面的装置
公开(公告)号：KR1020150120342A
公开(公告)日：2015-10-27
申请号：KR1020157020426
申请日：2014-01-23
申请人： 게부르. 쉬미트 게엠베하
发明人： 뮈크필립 , 니트함머미하엘 , 바이써카이
IPC分类号： B05C1/08 , B05C1/02 , B05C13/02 , H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： B05C1/0821 , B05C1/025 , B05C13/02 , H01L21/67057 , H01L21/6776 , H05K3/06
摘要： 본발명은평편기판들(S1, S2)의하측면을유체로적심으로써평편기판들을습윤처리하기위한장치에관한것이다. 상기장치는처리되어야할 기판의하측면을유체를이용하여적시기위한적어도하나의습윤화롤러(W, W)를구비한적어도하나의습윤화스테이션(B, B)을포함하고, 상기기판은이송방향(TR)으로처리롤러를넘어이동된다. 또한상기장치는복수의이송롤러들(T1 내지 T7, W, W)을구비한롤러이송시스템을포함하는바, 상기이송롤러들은이송방향으로이격된방식으로연이어배치되고적어도하나의습윤화롤러를포함한다. 본발명에따르면상기습윤화롤러는, 공급측에서습윤화롤러에인접한롤러이송시스템의부분에의하여정해진높이레벨(Hu)보다특정의높이오프셋(AH) 만큼더 높은위치의높이레벨(Hm)에배치된다.

14. 发明公开

KR1020150077122A 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 有权
标题翻译：用于处理柔性基板的装置和使用该柔性基板的柔性基板的处理方法
公开(公告)号：KR1020150077122A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130166022
申请日：2013-12-27
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/677 , G09F9/00 , C23C16/54
CPC分类号： H01L21/67721 , G09F9/00 , H01L21/6776
摘要： 본발명은플렉시블기판의이송과플렉시블기판을처리하기위한공정영역을분리하여독립된공간에서롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록하는플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법을제공하기위하여, 복수의공정영역이형성되는챔버및 상기챔버내부에배치되어상기복수의공정영역으로플렉시블기판을공급하는기판공급롤및 상기챔버내부에배치되어상기기판공급롤로부터상기플렉시블기판을인출하고상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤및 상기챔버의내부에배치되고상기기판공급롤과상기기판회수롤사이에서상기플렉시블기판을곡면에지지하여상기플렉시블기판을회전이송하는회전스테이지및 상기복수의공정영역에각각배치되는전극을포함하고, 상기복수의공정영역에는상기전극에인가되는 RF파워에의해플라즈마가각각발생된다. 이에, 본발명에따른플렉시블기판처리장치및 이를이용한플렉시블기판처리방법은롤투롤방식을사용하여생산성을향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于处理柔性基板的装置以及使用该柔性基板处理柔性基板的方法，以通过分离用于传输的柔性基板的处理区域来使柔性基板以独立空间的滚动方式被处理柔性基板和柔性基板的加工。用于处理柔性基板的装置包括：具有形成在其上的多个处理区域的室; 基板供给辊，其设置在所述室内部，以将柔性基板供应到所述多个处理区域; 基板回收辊，其设置在所述室内部以从所述基板供给辊中拉出所述柔性基板并回收所述柔性基板; 设置在所述室内的旋转台，并且在所述基板供给辊和所述基板回收辊之间支撑所述柔性基板的弯曲表面，以旋转并传送所述柔性基板; 以及分别设置在所述多个处理区域上的电极，其中通过施加到所述电极的RF功率在所述多个处理区域上产生等离子体。因此，根据本发明，用于处理柔性基板的装置和使用其的柔性基板的处理方法能够使用卷绕方式提高生产率。

15. 发明公开

KR1020150077119A 플렉시블 기판 처리장치 및 이를 이용한 플렉시블 기판 처리방법 无效
标题翻译：用于处理柔性基板的装置和使用该柔性基板的柔性基板的处理方法
公开(公告)号：KR1020150077119A
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020130166019
申请日：2013-12-27
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 손형규
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , C23C16/54
CPC分类号： H01L21/6776 , H01L21/67069 , H01L21/67225
摘要： 플렉시블기판의이송과플렉시블기판을처리하기위한공정공간을분리하여독립된공간에서롤투롤방식으로플렉시블기판이처리되도록한 본발명에따른플렉시블기판처리장치는제 1챔버, 상기제 1챔버의내부에배치되어플렉시블기판을공급하는기판공급롤, 상기제 1챔버의내부에배치되어상기기판공급롤로부터풀려나오는상기플렉시블기판을회수하는기판회수롤, 상기기판공급롤과상기기판회수롤의사이에배치되고상기플렉시블기판이스테이지를통과하며처리되는제 2챔버및 상기스테이지를통과하는상기플렉시블기판을지지하고상기플렉시블기판이이송되는방향으로회전되는이송벨트를포함하므로, 생산성을향상시킬수 있을뿐만아니라제품의품질을향상시킬수 있는효과가있다.
摘要翻译：根据本发明，一种用于通过分离用于柔性基板的传输的处理区域和柔性基板的处理来在独立空间处以卷对卷方式处理待加工的柔性基板的设备和处理柔性基板的装置包括：第一室设置在所述第一室内部以供应所述柔性基板的基板供给辊; 衬底回收辊，其设置在所述第一室内部以从所述衬底供给辊回收所述柔性衬底; 设置在所述基板供给辊和所述基板回收辊之间的第二室，用于处理所述柔性基板通过台阶; 传动带，用于支撑穿过台架的柔性基板，并沿着传递柔性基板的方向旋转。因此，可以提高生产率，并且可以提高产品质量。

16. 发明公开

KR1020150066582A 인덱싱된 인라인 기판 처리 툴 有权
标题翻译：引导式基板加工工具
公开(公告)号：KR1020150066582A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020157012155
申请日：2013-09-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 칼슨,데비비드케이.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6776 , C23C16/4587 , C23C16/481 , C23C16/54 , H01L21/67115 , H01L21/67173 , H01L21/67712
摘要： 일부실시예들에서, 인덱싱된인라인기판처리툴은, 베이스와대향기판지지체들의쌍을갖는기판캐리어 - 상기대향기판지지체들은베이스로부터외측으로상향연장되는각각의기판지지표면들을가짐 - ; 및선형배열로서로에결합된복수의모듈을포함할수 있고, 복수의모듈의각각의모듈은, 기판캐리어를지지하고기판캐리어가복수의모듈을통해선형으로이동하기위한경로를제공하기위한하부표면, 제1 단부및 제2 단부를갖는인클로저를포함하고, 복수의모듈중 적어도하나의모듈은, 인클로저의일 측에배치되는윈도우; 인클로저의일 측에연결되는가열램프; 인클로저의최상단에근접하여배치되는가스유입구; 및가스유입구에대향하여배치되는배기구를포함한다.

17. 发明公开

KR1020150055655A 기판 세정 장치 审中-实审
标题翻译：用于清洁基板的装置
公开(公告)号：KR1020150055655A
公开(公告)日：2015-05-22
申请号：KR1020130137606
申请日：2013-11-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장석준 , 김봉균 , 전양일
IPC分类号： B08B3/02 , B08B5/00
CPC分类号： B08B3/022 , G02F2001/1316 , H01L21/67051 , H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/6776
摘要： 제 1 방향에대하여수직경사각으로기판을지지하며, 상기제 1 방향과직교하는제 2 방향으로기판을이송하는기판이송유닛및 상기기판이송유닛상에설치되며, 복수개의이류체노즐이구비된세정유닛을포함하며, 상기세정유닛은상기제 1 방향에대하여수평경사각을갖고, 상기이류체노즐은세정액과압축가스를혼합하여분사하는기판세정장치를제공한다.
摘要翻译：本发明提供了一种清洗基板的设备，包括：基板传送单元，以相对于第一方向垂直倾斜的角度支撑基板，并将基板朝向与第一方向正交的第二方向传送; 以及安装在基板输送单元上并具有多个双流体喷嘴的清洁单元。清洁单元相对于第一方向具有水平倾斜角，并且双流体喷嘴能够将清洁溶液和压缩气体混合并注入。

18. 发明公开

KR1020150053984A 기판 이송 디바이스 및 기판들을 이동시키는 방법 审中-实审
标题翻译：基板传输装置和移动基板的方法
公开(公告)号：KR1020150053984A
公开(公告)日：2015-05-19
申请号：KR1020157009182
申请日：2012-09-10
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 린덴베르크,랄프
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , C23C14/50
CPC分类号： H01L21/67748 , B65G13/00 , B65G47/52 , B65G49/063 , B65G49/067 , B65G2201/02 , C23C14/50 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/677 , H01L21/67751 , H01L21/6776
摘要： 운송방향을따르는기판이송을위한, 그리고상기운송방향을따라연장되는, 제 1 운송경로와제 2 운송경로사이의변경을위한이송디바이스가제공된다. 제 1 운송경로는, 운송방향에대해수직인스위치방향으로제 2 운송경로에대하여변위된다(displaced). 이송디바이스는, 챔버에서기판또는기판캐리어를지지하기위한제 1 트랙을정의하는제 1 기판지지어셈블리를포함한다. 이송디바이스는, 챔버에서기판또는기판캐리어를지지하기위한제 2 트랙을정의하는제 2 기판지지어셈블리를더 포함한다. 제 1 기판지지어셈블리및 제 2 기판지지어셈블리는, 적어도스위치방향으로서로에대하여이동가능하다.

19. 发明公开

KR1020150041126A 반도체장치의 제조방법 및 반도체 제조장치 有权
标题翻译：半导体器件制造方法和半导体制造设备
公开(公告)号：KR1020150041126A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：KR1020157006153
申请日：2012-09-26
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤
发明人： 테라시마토모히데 , 요시우라야스히로 , 오츠키에이코
IPC分类号： H01L21/67 , H01J37/30 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/263 , H01J37/30 , H01J37/3002 , H01J2237/201 , H01J2237/202 , H01J2237/20221 , H01J2237/30455 , H01J2237/317 , H01L21/67115 , H01L21/67718 , H01L21/67745 , H01L21/6776 , H01L21/68 , H01L21/67748
摘要： 본원의발명에관한반도체장치의제조방법은, 복수의피처리물을, 제1트레이위와, 상기제1트레이와접하는제2트레이위에늘어놓은공정과, 상기제1트레이와상기제2트레이가접하는접촉위치의바로위에형성된조사장치로부터조사물을방출하면서, 상기조사장치를상기접촉위치를횡단하는방향인제1 방향을따라스윙시키고, 상기제1트레이와상기제2트레이를상기제1 방향과수직을이루는제2 방향으로이동시킴으로써상기복수의피처리물에상기조사물을조사하는것을복수회반복하는복수의조사공정과, 상기복수의조사공정의사이에적어도 1회실시되고, 상기제1트레이와상기제2트레이의상기제2 방향으로향하는방향을변경하지않고상기제1트레이와상기제2트레이의위치를교체하는교체공정을구비한다.
摘要翻译：根据本发明的半导体器件制造方法包括将多个处理对象布置在与第一托盘相邻的第一托盘和第二托盘上的步骤，多个施加步骤，其中将应用物质应用于多个通过从第一托盘和第二托盘彼此接触的接触位置正上方形成的施加装置发射施加物质，通过沿着第一方向跨越接触位置摆动施加装置来重复加工物体一定次数并且通过沿着与第一方向垂直的第二方向移动第一托盘和第二托盘，以及互换步骤，将第一托盘和第二托盘互换在适当位置，而不改变对应于第一托盘和第二托盘的方向所述第二方向，所述交换步骤在所述多个之中至少执行一次应用步骤。

20. 发明公开

KR1020140146450A 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：用于有机层沉积的装置及其制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020140146450A
公开(公告)日：2014-12-26
申请号：KR1020130069191
申请日：2013-06-17
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 홍종원
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H01L22/12 , H01L21/67173 , H01L21/67748 , H01L21/6776 , H01L21/68 , H01L21/682 , H01L51/0011 , H01L51/0012 , H01L51/56
摘要： The present invention relates to an apparatus for depositing an organic layer, a method for manufacturing an organic light emitting display device using the same, and the organic light emitting display device manufactured thereby and, more specifically, to an apparatus for depositing an organic layer, which is suitable for the mass production process of a large substrate, and is capable of performing a high precision patterning operation, and measuring and controlling an interval between a patterning slit sheet and a moving substrate, and to a method for manufacturing an organic light emitting display device using the same, and the organic light emitting display device manufactured thereby.
摘要翻译：本发明涉及一种用于沉积有机层的装置，一种制造使用其的有机发光显示装置的方法及其制造的有机发光显示装置，更具体地涉及一种用于沉积有机层的装置，适用于大型基板的大规模生产工艺，并且能够执行高精度图案化操作，以及测量和控制图案化缝隙片和移动衬底之间的间隔，以及用于制造有机发光的方法使用其的显示装置和由其制造的有机发光显示装置。

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