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1. 发明专利

JP6446118B1 レーザー加工機有权
公开(公告)号：JP6446118B1
公开(公告)日：2018-12-26
申请号：JP2017233147
申请日：2017-12-05
申请人：馬鞍山市明珠電子科技有限公司 , オーレーザー株式会社
发明人：繆逸峰
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/041
摘要：【課題】レーザー発振器を冷却するための冷却媒体を冷却するペルチェ素子を、小型の家庭用のレーザー加工機の装置本体に内蔵するレーザー加工機を提供すること。【解決手段】装置本体10と、装置本体10の内部に収納されたレーザー発振器71と、レーザー発振器71を冷却するための冷却媒体を流通させる装置本体10の内部に配置された冷却媒体流路と、冷却媒体流路を流通する冷却媒体を冷却するペルチェ素子を備えた冷却装置45と、を備え、冷却装置45には、ペルチェ素子において発生した熱を放熱するための放熱フィン621が接続され、放熱フィン621は、装置本体10の内部の空気を装置本体10の外部へ排出する排気口121へ流れる空気の流れにおける排気口121の直上流側に配置されているレーザー加工機1である。【選択図】図7

2. 发明专利

JP2014229720A ガスレーザ発振器及びレーザ加工装置审中-公开
标题翻译：气体激光振荡器和激光加工装置
公开(公告)号：JP2014229720A
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：JP2013107546
申请日：2013-05-22
申请人：ビアメカニクス株式会社 , Via Mechanics Ltd
发明人： DOI AKIRA , OMAE GOICHI , OTANI NOBUYOSHI , YAMAMURA HIDEO
IPC分类号： H01S3/041 , H01S3/00 , H01S3/038 , H01S3/134
摘要：【課題】電極の熱変形に基づくレーザビームの位置ズレを抑えることができるガスレーザ発振器及びそれを使用するレーザ加工装置を提供する。【解決手段】流量調節装置25は、熱電対21からの測定信号23に基づいてマスフローコントローラ29に流量制御信号27を送り、ここを流れる流量を調節することによって、上電極1の温度が所定の値Taとなるように制御する。また同様に、流量調節装置26は、熱電対22からの測定信号24に基づいてマスフローコントローラ30に流量制御信号28を送り、ここを流れる流量を調節することによって、下電極2の温度が所定の値Tbとなるように制御する。上電極1と下電極2の温度がTa=Tbとなるように、流量調節装置25、26を設定しておき、暖気運転後の上電極1と下電極2の温度TaとTbをそれぞれ一定に制御する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够抑制基于电极的热变形的激光束的位置偏移的气体激光振荡器，并提供使用该激光振荡器的激光加工装置。解决方案：流量调节装置25将流量速度控制信号27基于来自热电偶21的测量信号23到质量流量控制器29，并调节流过此处的流量，使得上电极1的温度被控制到预定值Ta。类似地，流量调节装置26基于来自热电偶22的测量信号24将流量控制信号28发送到质量流量控制器30，并且调节在此流过的流量，使得下部电极 2被控制到预定值Tb。流量调节装置25,26以上电极1的温度Ta和下电极2的温度Tb相等的方式设定，上电极1的温度Ta，Tb和预热操作后的下电极2分别控制恒定。

3. 发明专利

JP2014192342A Gas laser oil lubrication blower 有权
标题翻译：用于气体激光的润滑油
公开(公告)号：JP2014192342A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：JP2013066557
申请日：2013-03-27
申请人： Fanuc Ltd , ファナック株式会社
发明人： KAWAI AKIRA
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/02 , H01S3/041
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oil lubrication blower for a gas laser which smoothly conducts air exhaustion and oil circulation in a motor box while adopting a resin mold for fixing a stator coil.SOLUTION: A first communication hole 34, which is provided at the radial outer side of a stator 14 and is formed so as to allow an upper space 32 of a motor box 12 to fluidically communicate with an exhaust port 28, is provided at the motor box 12 to enable air exhaustion of an entire internal space of the motor box 12. A second communication hole 40 is provided at a portion of a resin 30 fixing a stator coil 16, which is located in a lower space of the motor box 12 and above an oil liquid surface of an oil sump 20, to allow a radial inner space 36 and a radial outer space 38, which are divided by the resin 30 in the lower space of the motor box 12, to communicate with each other.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于气体激光器的油润滑鼓风机，其在采用用于固定定子线圈的树脂模具的同时，在电动机箱中平滑地进行排气和油循环。解决方案：第一连通孔34，其设置在定子14的径向外侧形成为允许电动机箱12的上部空间32与排气口28流体连通，设置在电动机箱12处，以使空气的整个内部空间第二连通孔40设置在固定定子线圈16的树脂30的位于马达箱12的下部空间中并位于油底壳20的油面的上方的部分上，至允许在马达箱12的下部空间中由树脂30分隔的径向内部空间36和径向外部空间38彼此连通。

4. 发明专利

JP2013187444A Laser oscillator 审中-公开
标题翻译：激光振荡器
公开(公告)号：JP2013187444A
公开(公告)日：2013-09-19
申请号：JP2012052696
申请日：2012-03-09
申请人： Sumitomo Heavy Ind Ltd , 住友重機械工業株式会社
发明人： OKADA YASUHIRO , YOROZU MASAFUMI
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/03 , H01S3/041
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser oscillator which cools a discharge electrode and sufficiently secures the reliability in terms of insulation quality.SOLUTION: Ceramic electrodes are disposed so as to face each other across a discharge space. Conductive electrodes are respectively disposed on surfaces of the ceramic electrodes which are opposite to the surfaces facing each other. An insulative ceramic cooling member is thermally coupled to an outer surface of each conductive electrode. A passage for a cooling medium is formed in the cooling member. A housing houses the ceramic electrodes and a laser gas fills the housing.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种冷却放电电极的激光振荡器，并且充分确保了绝缘质量的可靠性。解决方案：陶瓷电极被布置为在放电空间上彼此面对。导电电极分别设置在陶瓷电极的与彼此面对的表面相对的表面上。绝缘陶瓷冷却构件热耦合到每个导电电极的外表面。用于冷却介质的通道形成在冷却构件中。壳体容纳陶瓷电极，激光气体填充壳体。

5. 发明专利

JP5174959B2 Gas laser oscillator 有权
公开(公告)号：JP5174959B2
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：JP2011514245
申请日：2009-05-19
申请人：三菱電機株式会社
发明人：幸治船岡 , 正彦長谷川 , 和郎杉原
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/041
CPC分类号： H01S3/03

6. 发明专利

JP5146373B2 Laser oscillation device and the laser processing machine 有权
公开(公告)号：JP5146373B2
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：JP2009059102
申请日：2009-03-12
申请人：パナソニック株式会社
发明人：聡江口 , 洋之林川 , 良彰阪本
IPC分类号： H01S3/041

7. 发明专利

JP2012065547A High-voltage pulse generation device and discharge excitation gas laser device including the same 有权
标题翻译：高电压脉冲发生装置和排放激励气体激光装置，包括它们
公开(公告)号：JP2012065547A
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：JP2011265145
申请日：2011-12-02
申请人： Gigaphoton Inc , Ushio Inc , ウシオ電機株式会社 , ギガフォトン株式会社
发明人： KAWASUJI YASUFUMI , YAMAMORI KENJI , INOUE TOYOJI
IPC分类号： H02M9/00 , H01S3/041 , H01S3/097 , H01S3/225
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-voltage pulse generation device which can apply a high-voltage short pulse to a load with high efficiency, and a discharge excitation gas laser device including the high-voltage pulse generation device.SOLUTION: A high-voltage pulse generation device comprises a pulse generation circuit 24 for generation a high-voltage pulse, and a pulse compression circuit 25 for compressing the generated high-voltage pulse. In the high-voltage pulse generation device, at least a part of components included in the pulse generation circuit 24 and the pulse compression circuit 25 is disposed in a container filled with insulation coolant, and the component disposed in the container and the component disposed outside the container are electrically connected to each other via a current inlet terminal 44. The current inlet terminal 44 includes current-carrying members 57 and 58 on a high-voltage side and a ground side, respectively, and at least one of the current-carrying members 57 and 58 on the high-voltage side and the ground side has a planar shape.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够高效率地对负载施加高电压短脉冲的高电压脉冲发生装置，以及包括高电压脉冲发生装置的放电激励气体激光装置。解决方案：高电压脉冲发生装置包括用于产生高电压脉冲的脉冲发生电路24和用于压缩产生的高电压脉冲的脉冲压缩电路25。在高压脉冲发生装置中，包含在脉冲发生电路24和脉冲压缩电路25中的至少一部分分量设置在填充有绝缘冷却剂的容器中，并且设置在容器中的部件和设置在外部的部件容器通过电流入口端子44彼此电连接。电流入口端子44分别包括高压侧和接地侧的载流构件57和58，以及至少一个载流高压侧和接地侧的构件57和58具有平面形状。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2010212568A Laser oscillation device, and laser processing machine 审中-公开
标题翻译：激光振荡器和激光加工机
公开(公告)号：JP2010212568A
公开(公告)日：2010-09-24
申请号：JP2009059106
申请日：2009-03-12
申请人： Panasonic Corp , パナソニック株式会社
发明人： SAKAMOTO YOSHIAKI , MOTOMIYA HITOSHI , SHINNO NOBUO
IPC分类号： H01S3/104 , H01S3/00 , H01S3/041
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser oscillation device and a laser processing machine, that can maintain stable performance for a long period by preventing piping made of brass or copper from corroding due to a refrigerant. SOLUTION: The laser oscillation device includes a discharge tube 3, a blower means 15 for supplying laser gas to the discharge tube 3, and heat exchangers 13, 14 disposed between blower means 15 and discharge tube 3 to cool the laser gas. Copper or brass is used for piping for sending cooling water to the heat exchangers 13, 14, and a joint part of the piping is bonded with an adhesive of a non-amine-based compound, which is used for the joint part of the piping, so that the copper or the brass does not corrode to prevent the device from getting out of order due to a water leak accident for a long period. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种激光振荡装置和激光加工机器，其可以通过防止由于制冷剂而导致黄铜或铜的管道腐蚀而长时间保持稳定的性能。解决方案：激光振荡装置包括放电管3，用于向放电管3提供激光气体的鼓风装置15和设置在鼓风装置15和放电管3之间的热交换器13,14，以冷却激光气体。铜或黄铜用于将冷却水送到热交换器13,14的管道，并且管道的接头部分与用于管道接头部分的非胺类化合物的粘合剂粘合，使铜或黄铜不会腐蚀，以防止设备由于长时间的漏水事故而失控。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP4295855B2 Laser oscillation device, exposure apparatus and device manufacturing method 有权
公开(公告)号：JP4295855B2
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：JP7665499
申请日：1999-03-19
申请人：キヤノン株式会社 , 忠弘大見
发明人：和英伊野 , 大大沢 , 忠弘大見 , 昌樹平山 , 信義田中 , 泰雪白井 , 壽邦篠原 , 伸昌鈴木
IPC分类号： H01L21/027 , H01S3/0973 , G03F7/20 , H01S3/036 , H01S3/041 , H01S3/225
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser oscillator which can suppress diffusion of plasma generated on a slot and can minimize energy loss for uniform laser emission. SOLUTION: In a laser oscillator, a laser gas within a laser tube 302 is excited by introducing electromagnetic waves from a waveguide 301 into the laser tube 302 via a plurality of micro gaps 3010 made in a wall of the waveguide to generate plasma, light emitted from the plasma is resonated to generate a laser beam. A mesh shield is provided within the laser tube 302, so that the excited plasma on the gaps 3010 does not diffuse to the outside of a prescribed zone. Since the generated plasma can be suppressed from being diffused to the outside of the mesh shield, input power can be utilized to its maximum level for the plasma generation.

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