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    • 5. 发明专利
    • ガスレーザ装置
    • 气体激光装置
    • JPWO2015008405A1
    • 2017-03-02
    • JP2015527142
    • 2013-12-27
    • 三菱電機株式会社
    • 陽一 谷野順一 西前達也 山本
    • H01S3/034
    • H01S3/038H01S3/034H01S3/076H01S3/0805H01S3/0971H01S3/10007H01S3/2232H01S3/2325H01S3/2366H01S2301/02
    • 放電励起されたレーザガスをレーザ光が通過することによって光増幅を行うガスレーザ装置であって、レーザ光の光軸に沿って縦列配置された第1放電電極対11,12および第2放電電極対13,14と、第1放電電極対11,12によって規定される第1放電領域21および第2放電電極対13,14によって規定される第2放電領域22を挟むように対向配置され、レーザガスによって増幅されたレーザ光を反射する少なくとも2つのミラー43,44,45,46と、第1放電電極対11,12と第2放電電極対13,14との間に設置され、放電電極の電極面からレーザ光の光軸に向けて突出した遮蔽部材51とを備える。こうした構成により、簡素な構成で、寄生発振を効率的に抑制できる。
    • 的放电激励的激光气体通过激光束进行光放大的气体激光装置通过时,第一放电电极对11和第2放电电极对被串联沿着激光束13的光轴布置 和14相对而设,以夹持通过第一排出区域21,并通过第一放电电极对11限定的第二放电电极对13和14限定的第二放电区域22,由激光气体扩增 至少两个反射镜43,44,45,设置在第一放电电极对11和第二放电电极对13和14,放电电极的用于反射激光的电极表面之间 并且屏蔽部件51,其朝向所述激光束的光轴突出。 以简单的结构这样的布置中,寄生振荡可被有效地抑制。
    • 8. 发明专利
    • レーザ装置及びレーザ装置の制御方法
    • 为激光装置和激光装置的控制方法
    • JPWO2014017562A1
    • 2016-07-11
    • JP2014526983
    • 2013-07-24
    • ギガフォトン株式会社
    • 弘朗 對馬弘朗 對馬若林 理理 若林松永 隆隆 松永
    • H01S3/00H01S3/097
    • H01S3/09702H01S3/0014H01S3/08009H01S3/09705H01S3/0971H01S3/2366
    • 【課題】チャンバ内における電極の寿命を正確に判断する。【解決手段】レーザゲイン媒質が入れられているレーザチャンバと、前記レーザチャンバ内に設けられており、放電を発生させることによりレーザゲイン媒質を励起する一対の電極と、前記レーザチャンバ内において放電を生じさせるための充電電圧を加える充電器と、前記充電器により加えられた前記充電電圧を短パルス化し、前記一対の電極に印加するパルスパワーモジュールと、前記充電電圧に基づき投入エネルギEinを算出し、更に、算出された前記投入エネルギEinを積算することにより前記投入エネルギの積算値Einsumを算出し、前記投入エネルギの積算値Einsumが投入エネルギの積算寿命値Einsumlifeを超えているか否かを判断する制御部と、を備えてもよい。
    • 甲准确地确定在腔室中的电极的寿命。 和激光室,其中所述激光增益介质放置,其中,在所述激光室设置,以产生放电的一对用于激发激光增益介质的电极,在激光室中的放电 充电器施加充电电压用于生成,通过所施加的充电电压,所述充电器到短脉冲,和一个脉冲电源模块要被施加到所述一对电极基于充电电压来计算输入能量恩波 进一步,它通过将计算的输入能量恩波积分计算输入能量的累计值Einsum,输入能量的累计值Einsum,以确定其是否超过输入能量的累积寿命值Einsumlife 一控制单元,也可以设置。