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1. 发明专利

JP2018182132A レーザ加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018182132A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017081458
申请日：2017-04-17
申请人：ファナック株式会社
发明人：太田一也
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/036
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/10069 , H01S3/104 , H01S3/22 , H01S3/2232
摘要：【課題】ドライポンプの排気性能を容易に回復することができるレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】加工用のレーザビームGを生成する発振部10と、第1気体Mが封入された封入部20と、発振部10の動作に伴って封入部20に発生する塵芥とともに第1気体Mを排気する排気部60と、を備えるレーザ加工装置1であって、排気部60は、ドライポンプ61と、封入部20とドライポンプ61との間を接続する第1ライン63と、第1気体Mよりも圧力の高い第2気体Nをドライポンプ61に供給する第2ライン64と、第1ライン63及び第2ライン64を開閉する弁部70と、弁部70の開閉を制御する制御部90と、を備えるレーザ加工装置1に関する。【選択図】図1

2. 发明专利

JPWO2017094459A1 エキシマレーザ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017094459A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：JP2016083147
申请日：2016-11-08
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：藤巻洋介 , 對馬弘朗 , 池田宏幸 , 若林理
IPC分类号： H01S3/036 , H01S3/00 , H01S3/134 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/134 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/08009 , H01S3/09702 , H01S3/11 , H01S3/1305 , H01S3/225 , H01S3/2366
摘要：エキシマレーザ装置は、光共振器と、一対の放電電極を含み、光共振器の間に配置され、レーザガスを収容するチャンバと、トリガ信号を受信して、トリガ信号に基づいて一対の放電電極にパルス状の電圧を印加する電源と、光共振器から出力されたパルスレーザ光のパルスエネルギーを計測するエネルギーモニタと、チャンバ内に収容されたレーザガスの一部の排気と、チャンバ内へのレーザガスの供給と、を実行可能に構成されたハロゲンガス分圧調節部と、エネルギーモニタによるパルスエネルギーの計測結果を取得し、パルスエネルギーの計測結果に基づいてエネルギーディップを検出し、エネルギーディップの検出結果に基づいてハロゲンガス分圧調節部を制御することによりチャンバ内のハロゲンガス分圧を調節する制御部と、を備えてもよい。

4. 发明专利

JPWO2015186480A1 レーザチャンバ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2015186480A1
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：JP2016525749
申请日：2015-05-12
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：弘朗對馬 , 弘朗對馬 , 弘司柿崎 , 弘司柿崎 , 松永　隆 , 隆松永 , 武志浅山 , 武志浅山 , 久和勝海 , 久和勝海 , 博梅田 , 博梅田 , 池田　宏幸 , 宏幸池田
IPC分类号： H01S3/032 , H01S3/036 , H01S3/041
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0384 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/134 , H01S3/225
摘要：放電効率を向上させる。レーザチャンバは、第1空間と前記第1空間に連通する第2空間とを含むレーザチャンバであって、前記第1空間内に配置された第1放電電極と、前記第1空間内で前記第1放電電極に対向して配置された第2放電電極と、前記第1空間内に配置され、前記第1放電電極と前記第2放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第2空間内に配置されたピーキングコンデンサと、前記第1空間と前記第2空間とを区切る電気絶縁部材であって、前記第1空間と前記第2空間との間を前記レーザガスが通気可能に配置された電気絶縁部材と、を備えてもよい。

5. 发明专利

JPWO2015045098A1 レーザ装置、及び極端紫外光生成システム有权
标题翻译：激光装置，和极紫外光生成系统
公开(公告)号：JPWO2015045098A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2015538738
申请日：2013-09-27
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：崇菅沼 , 計溝口 , 理若林
IPC分类号： H01S3/10 , G03F7/20 , H01S3/00 , H01S3/23 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/005 , G02B27/286 , G03F7/70033 , G03F7/70041 , H01S3/038 , H01S3/2316 , H05G2/008
摘要：【課題】高出力のレーザ光を得る。【解決手段】入射される直線偏光のレーザ光の偏光方向と略一致する方向の偏光軸を有する第1の偏光デバイスと、第1の偏光デバイスの偏光軸の方向に略一致する方向の偏光軸を有する第2の偏光デバイスと、対向方向が第1の偏光デバイスの偏光軸の方向に略一致するように対向配置された一対の放電電極を含み、第1の偏光デバイスと第2の偏光デバイスとの間に配置されたレーザ増幅器とを備えてもよい。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：为了得到高功率的激光束。和具有的基本的偏振轴方向上的第一偏振装置与所述线偏振激光束的偏振方向一致入射时，偏振轴方向基本上与所述第一偏振装置的偏振轴的方向一致第二偏振装置包括一对被彼此相对的放电电极的是相反的方向基本上与所述第一偏振装置的偏振轴，所述第一偏振装置和具有第二偏振装置的方向一致一个，和之间的放置激光放大器。点域

6. 发明专利

JP5980414B2 ガスレーザ装置有权
公开(公告)号：JP5980414B2
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：JP2015508230
申请日：2014-03-06
申请人：三菱電機株式会社
发明人：船岡幸治 , 松本康成
IPC分类号： H01S3/03
CPC分类号： H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/2232 , H01S3/0385

7. 发明专利

JP2016518728A バッフルを備えたレーザ管有权
标题翻译：与挡板激光管
公开(公告)号：JP2016518728A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2016514035
申请日：2014-05-13
申请人：シンラッド,インコーポレイテッド
发明人：ベセル，ジェイソン，ダブリュ． , リマ，メルヴィン，ジェイ． , リマノヴィッチ，ヤコヴ，エル．
IPC分类号： H01S3/034
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0315 , H01S3/0385 , H01S3/2232
摘要：【解決手段】ガススラブレーザのための管は、第1の電極内面を有する第1の電極(203b)と第2の電極内面を有する第2の電極(203a)とを備えている。第1の電極は第2の電極から第1の横断方向で隔てられており、放電領域(205) として機能する間隙領域(207) を画定している。管は、長尺状の中央チャネル(209a, 209b)がその内面に夫々形成された第1及び第2の長尺状のバッフル部材(204a, 204b)を更に備えている。そのため、放電が生じないスタンドオフ領域(209a, 209b)が形成されている。従って、逸れた放電及び/又は周方向のレーザ放射(211) がバッフル部材の内面(206a, 206b)と接することを防止し、より高い高次レーザモードの発生を防止してビームのポイント安定性を改善することが特に可能である。
摘要翻译：管为A气体板条激光器包括：具有第一电极的内表面和（203B），并具有第二电极的内表面（203A）的第二电极的第一电极。第一电极定义由第一横向方向上从第二电极隔开，所述间隙区域作为一个放电区（205）和（207）发挥功能。管，细长的中心通道（209A，209 B），还设置有第一和第二长形挡板构件被分别形成（204A，204B）的内表面上。因此，隔离区域（209A，209 B）中形成不发生放电。因此，杂散放电和/或周向的激光辐射（211）从所述挡板构件（206A，206 B），通过防止较高阶的激光模式的发生的光束点的稳定性的内表面接触防止它尤其可以提高。

10. 发明专利

JP2009540568A Chamber for high energy excimer laser source 有权
公开(公告)号：JP2009540568A
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：JP2009514301
申请日：2007-05-22
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：トーマスディーステイガー , ウィリアムエヌパートロ
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/225 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038
摘要： A chamber for a gas discharge laser is disclosed and may include a chamber housing having a wall, the wall having an inside surface surrounding a chamber volume and an outside surface, the wall also being formed with an orifice. For the chamber, at least one electrical conductor may extend through the orifice to pass an electric current into the chamber volume. A member may be disposed between the conductor and the wall for preventing gas flow through the orifice to allow a chamber pressure to be maintained in the volume. The chamber may further comprise a pressurized compartment disposed adjacent to the orifice for maintaining a pressure on at least a portion of the outside surface of the wall to reduce bowing of the wall near the orifice due to chamber pressure.

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