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1. 发明专利

JP6173862B2 電子顕微鏡有权
公开(公告)号：JP6173862B2
公开(公告)日：2017-08-02
申请号：JP2013202951
申请日：2013-09-30
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：松本弘昭 , 佐藤岳志 , 谷口佳史 , 原田研
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/24 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/05 , G01N23/04 , H01J37/295
CPC分类号： H01J37/10 , G01N23/20058 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , G01N2223/418 , H01J2237/21 , H01J2237/2614

2. 发明专利

JP2016522973A 誘電半導体膜を有する静電レンズ审中-公开
标题翻译：具有介电半导体膜静电透镜
公开(公告)号：JP2016522973A
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：JP2016515768
申请日：2014-05-26
申请人：コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク・エ・オ・エネルジ・アルテルナテイブ
发明人：コンスタンシア，クリストフ
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/09
CPC分类号： H01J37/12 , H01J2237/063 , H01J2237/12 , H01J2237/1534 , H01J2237/21
摘要：本発明は、帯電粒子のビーム(EB)、特に電子ビームを集束させる静電レンズに関する。前記レンズは特に、電子顕微鏡または電子ビームリソグラフィ装置の電子銃に用いられる。本発明の目的の1つは、粒子線、特に陰極により発せられた電子ビームの集束性を向上させることである。レンズは、電子ビームを通過させる少なくとも1個の貫通開口を有する少なくとも1個の導電電極(EL2)を含んでいる。開口の上流および下流には異なる電場が用意される。経路開口は、電子に対して透過的であり、且つ誘電率が高い半導体材料の平坦または湾曲した薄膜(M)により少なくとも部分的に塞がれる。膜の構造化(膜の孔または厚くされた箇所あるいは堆積された電極)によりレンズ収差の欠陥を修正することが可能になる。
摘要翻译：本发明是带电粒子（EB），对于特定聚焦所述电子束的静电透镜的光束。该透镜在一个电子显微镜或电子束光刻设备的电子枪特别使用。一个本发明的目的之一是提高粒子束，电子束，特别是由阴极发射的收敛性。透镜包括具有至少一个通孔用于使电子束（EL2）的至少一个导电电极。电场不同的上游和所述开口的下游设置。通路开口是透明的电子，并且介电常数是通过薄膜（M），其是平坦的或弯曲高半导体材料至少部分地封闭。它可以通过将膜（膜孔或加厚部分或沉积的电极）的结构来校正透镜象差的缺陷。

3. 发明专利

JP5851352B2 荷電粒子線装置有权
公开(公告)号：JP5851352B2
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：JP2012135297
申请日：2012-06-15
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：立花一郎 , 鈴木直正
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/21
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/04756 , H01J2237/0492 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/15 , H01J2237/21 , H01J2237/244 , H01J2237/2602 , H01J2237/281

4. 发明专利

JP2015082380A 画像取得方法および透過電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：图像采集方法和传输电子显微镜
公开(公告)号：JP2015082380A
公开(公告)日：2015-04-27
申请号：JP2013219239
申请日：2013-10-22
申请人：日本電子株式会社
发明人：飯島寛文
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/21 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/226 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/265 , H01J2237/0492 , H01J2237/10 , H01J2237/1534 , H01J2237/2007 , H01J2237/21 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
摘要：【課題】幅広い周波数帯の情報を得ることができる画像取得方法を提供する。【解決手段】本発明に係る画像取得方法は、透過電子顕微鏡の画像取得方法であって、透過電子顕微鏡の結像系の球面収差係数および色収差係数の少なくとも一方を設定して、エンベローブ包絡関数によるコントラスト伝達関数の減衰を抑制する工程と、デフォーカス条件の前記結像系によって、画像の取得を行う工程と、を含む。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供能够获取宽频带上的信息的图像获取方法。解决方案：用于透射电子显微镜的本发明的图像获取方法包括以下步骤：抑制衰减通过设置透射电子显微镜的成像系统的球面像差系数和色像差系数中的至少一个，基于包络函数的对比度传递函数; 以及在散焦条件下由成像系统获取图像。

5. 发明专利

JP2014107274A Method of performing tomographic imaging of sample in charged-particle microscope 审中-公开
标题翻译：在充电微粒中进行样品成像的方法
公开(公告)号：JP2014107274A
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：JP2013246482
申请日：2013-11-28
申请人： Fei Co , エフイーアイカンパニFei Company
发明人： REMCO SCHOENMAKERS , UWE LUECKEN , ERIK MICHIEL FRANKEN
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/22 , G01N23/046 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/419 , H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J2237/21 , H01J2237/226 , H01J2237/2802
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of more satisfactorily performing translucent charged-particle microscope observation of a sample including a relatively fine volume structure.SOLUTION: In order to perform tomographic imaging of a sample by means of a charged-particle microscope, the method includes the steps of: irradiating a sample on a tilted sample holder with a beam of charged particles, detecting the translucent beam at an image detector, and generating and capturing an image of the sample; repeating this procedure at each of a series of sample tilts so as to acquire a corresponding set of images; and mathematically processing the images included in the set in a reconfiguration step to construct a composite image of the sample. In the imaging step, a sequence of component images can be acquired at a corresponding sequence of focus settings regarding the given sample tilt. In the reconfiguration step, a plurality of component images in the sequence of component images are used with at least one tilt of the series of sample tilts in the step of mathematically processing the images. As a result, a 3D imaging cube rather than a 2D imaging sheet is rendered at the given sample tilt.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够更令人满意地进行包含较细体积结构的样品的半透明带电粒子显微镜观察的方法。解决方案：为了通过带电粒子显微镜对样品进行断层成像，该方法包括以下步骤：用带有粒子束的倾斜的样品保持器照射样品，检测图像检测器上的半透明束，并产生并捕获样品的图像; 在一系列样品倾斜的每一个处重复该过程，以获得相应的图像组; 并且在重新配置步骤中数学地处理包括在所述集合中的图像以构建样本的合成图像。在成像步骤中，可以以关于给定样品倾斜的对应的焦点设置顺序获取分量图像序列。在重新配置步骤中，在数学处理图像的步骤中，使用分量图像序列中的多个分量图像与一系列样本倾斜的至少一个倾斜。因此，在给定的样品倾斜下渲染3D成像立方体而不是2D成像片材。

6. 发明专利

JP2013196929A Method of adjusting transmission electron microscope 有权
标题翻译：调制传输电子显微镜的方法
公开(公告)号：JP2013196929A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：JP2012063342
申请日：2012-03-21
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： MUKAI MASAKI
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/153
CPC分类号： H01J37/023 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/057 , H01J2237/21 , H01J2237/248 , H01J2237/2802
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of adjusting a transmission electron microscope that easily makes an adjustment to match a convergence plane of an electron beam exiting from a two-stage filter type monochrometer with an achromatic plane.SOLUTION: There is provided a method of adjusting a transmission electron microscope 1 including a two-stage filter type monochrometer 20, the method including acquiring a transmission electron microscope image including interference fringes of an electron beam formed by a stop 35 on the rear stage side of the monochrometer 20, and adjusting the intensity of an electrostatic lens 14, intensities of electromagnetic fields of energy filters 22, 26 or astigmatism generated by the monochrometer 20 based upon an intensity distribution of the interference fringes in the acquired transmission electron microscope image so as to make an adjustment for matching a convergence plane of the electron beam exiting from the monochrometer 20 with an achromatic plane.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种调节透射电子显微镜的方法，该透射电子显微镜容易进行调整以使从两级过滤器型单色仪离开的电子束的会聚平面与消色差平面相匹配。提供了一种方法调整包括二级滤波器型单色器20的透射型电子显微镜1的方法，该方法包括获取透射电子显微镜图像，该透射电子显微镜图像包括由单色器20的后级侧上的止挡件35形成的电子束的干涉条纹，并调整静电透镜14的强度，能量滤波器22,26的电磁场强度或单色仪20产生的像散，基于所获取的透射电子显微镜图像中的干涉条纹的强度分布，以进行匹配从单色器20出射的具有消色差的电子束的会聚面飞机

7. 发明专利

JP5030906B2 Panoramic image synthesis method and apparatus using the scanning charged particle microscope 有权
公开(公告)号：JP5030906B2
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：JP2008233720
申请日：2008-09-11
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：剛上瀧 , 敦宮本 , 良一松岡
IPC分类号： H01J37/22 , G01B15/04 , H01L21/66
CPC分类号： G01B15/04 , H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/24578 , H01J2237/24592 , H01J2237/2811 , H01J2237/2817

8. 发明专利

JP5028159B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5028159B2
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：JP2007171413
申请日：2007-06-29
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：篤小原
IPC分类号： H01J37/21
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/21 , H01J2237/21 , H01J2237/281 , H01J2237/2815

9. 发明专利

JP4538421B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP4538421B2
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：JP2006047673
申请日：2006-02-24
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：康彦小沢 , 聡山口 , 光二池田 , 淳高根
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01N23/225 , H01J2237/21 , H01J2237/2817

10. 发明专利

JP4445893B2 Scanning electron microscope 有权
公开(公告)号：JP4445893B2
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：JP2005110082
申请日：2005-04-06
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：佐藤　　貢 , 洋彦木附 , 一雄青木
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/263 , H01J2237/21 , H01J2237/2487 , H01J2237/2809

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