专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2018066736A 荷電粒子顕微鏡内での低温試料処理有权
公开(公告)号：JP2018066736A
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：JP2017198115
申请日：2017-10-12
申请人：エフイーアイカンパニ , FEI COMPANY
发明人：ジョンミッチェルズ , トマースヴィスタベール , マルチンツァフォウレク
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/317 , H01J37/244 , H01J37/28 , G01N1/28
CPC分类号： H01J37/261 , G01N1/42 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J2237/022 , H01J2237/2001 , H01J2237/2602 , H01J2237/28 , H01J2237/317
摘要：【課題】荷電粒子顕微鏡を用いた低温試料の表面改質を行う方法を提供する。【解決手段】荷電粒子顕微鏡Mは、試料Sを装入するためのポートを有する真空チャンバ5と、試料ホルダ7と、粒子光学カラム1と、を含む。方法は、試料を真空チャンバ内へ導入し、試料ホルダ上に提供し、低温温度に維持するステップと、真空チャンバを排気するための真空ポンプを用いるステップと、ビームを起動させ試料の表面を改質するために、試料の一部の上に方向づけるステップと、を含み、さらに、真空チャンバ内に薄膜モニタを提供し、検出表面を低温温度に維持するステップと、チャンバ内の凍結凝縮物の沈着率値を測定するためにモニタを使用し、以下の動作を実行するためのトリガとしてこの値を用いるステップと、値が第1所定閾値を下回ったときに表面改質を開始するステップと、値が第2所定閾値を上回った場合に表面改質を中断するステップと、備える。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017522571A 電子顕微鏡のためのターゲットサンプルの質量厚みを測定する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017522571A
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：JP2017504759
申请日：2015-07-29
申请人：オックスフォードインストルメンツナノテクノロジーツールスリミテッド , オックスフォードインストルメンツナノテクノロジーツールスリミテッド
发明人：ピーターステイサム , ピーターステイサム
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G01N23/2252 , G01N2223/304 , G01N2223/633 , H01J37/261 , H01J2237/24578
摘要：電子顕微鏡に使用するためのターゲットサンプルの質量厚みを測定する方法を提供する。粒子ビーム(7)を基準サンプル(12)の領域(14)に衝突させる時に基準サンプル(12)内で発生したX線(28)を表す基準データが得られる。領域(14)は、300nm未満の予め決められた厚みのものであり、かつ予め決められた組成を有する。粒子ビーム(7)をターゲットサンプル(16)の領域(18)の上に衝突させる。ターゲットサンプル(16)内で発生した得られるX線(29)は、モニタデータを生成するためにモニタされる(27)。ターゲットサンプル(16)の領域(18)の質量厚みを含む出力データが、次に、モニタデータ及び基準データに基づいて計算される。【選択図】図4

3. 发明专利

JPWO2016075759A1 荷電粒子線装置、電子顕微鏡および試料の観察方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016075759A1
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2016558478
申请日：2014-11-11
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：敏行大八木 , 敏行大八木 , 貴文四辻 , 貴文四辻 , 長沖　功 , 功長沖
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/16 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/261 , G01N1/28 , H01J37/026 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/3023 , H01J2237/2002 , H01J2237/204 , H01J2237/206 , H01J2237/2065
摘要：試料を変化させるための条件の制約が少なく、比較的簡単な構成で精度の高い試料のその場観察が可能な電子顕微鏡を提供する。試料を支持する試料ホルダー(34)と、前記試料ホルダー(34)上の試料に対し電子線を照射し、前記試料上で前記電子線を走査する第1の光学系と、当該電子線の照射により前記試料から放出される二次電子或いは前記試料を透過する透過電子を検出する電子検出部と、前記試料ホルダー(34)、前記第1の光学系、前記電子検出部を真空に保持する第1の真空室と、前記電子検出部の出力に基づき、前記試料の顕微鏡像を表示する表示部と、前記試料ホルダーおよび前記第1の光学系の動作を制御する制御部と、を有する電子顕微鏡であって、前記電子顕微鏡は、前記第1の真空室とは異なる第2の真空室(30)と、前記第2の真空室(30)に設けられ、前記第1の光学系とは異なる第2の光学系(33)と、を備え、前記第2の光学系(33)と前記制御部は、相互に通信可能に接続されており、前記第2の真空室(30)は、前記試料ホルダー(34)上の試料の状態を変える状態可変手段(35)を備えることを特徴とする。

5. 发明专利

JP6118898B2 荷電粒子線装置、試料観察方法有权
公开(公告)号：JP6118898B2
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：JP2015519699
申请日：2014-03-12
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 坂詰卓 , 伊東祐博
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/22 , G01N23/046 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , G01N2223/3307 , G01N2223/418 , H01J2237/047 , H01J2237/10 , H01J2237/221 , H01J2237/226 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24578 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802

6. 发明专利

JP6047592B2 相関光学及び荷電粒子顕微鏡有权
标题翻译：相关的光学和带电粒子显微镜
公开(公告)号：JP6047592B2
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：JP2015012456
申请日：2015-01-26
申请人：エフイーアイカンパニ , FEI COMPANY
发明人：バートブイス
IPC分类号： H01J37/20 , G02B21/36 , H01J37/141 , H01J37/16 , H01J37/22 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/226 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/14 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/223 , H01J2237/2602

7. 发明专利

JP5981744B2 試料観察方法、試料作製方法及び荷電粒子ビーム装置有权
标题翻译：样观察方法中，样品制备方法和带电粒子射线装置
公开(公告)号：JP5981744B2
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：JP2012064263
申请日：2012-03-21
申请人：株式会社日立ハイテクサイエンス
发明人：満欣 , 上本敦
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/20207 , H01J2237/31745

8. 发明专利

JP5936424B2 荷電粒子線装置有权
标题翻译：一种带电粒子束装置
公开(公告)号：JP5936424B2
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：JP2012097086
申请日：2012-04-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 河西晋佐 , 大瀧智久 , 安島雅彦 , 伊東祐博
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/09 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605

9. 发明专利

JP2016025082A 試料からの放出を透過させる荷電粒子レンズ审中-公开
标题翻译：充电颗粒透镜从样品中发射
公开(公告)号：JP2016025082A
公开(公告)日：2016-02-08
申请号：JP2015138829
申请日：2015-07-10
申请人：エフ・イ−・アイ・カンパニー
发明人：エヌ・ウィリアム・パーカー , マーカス・ストロー , ホルヘ・フィリヴィチ
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/12
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/12 , H01J2237/24415 , H01J2237/2445 , H01J2237/2602
摘要：【課題】X線および光を検出する荷電粒子ビーム・カラム内の透過性レンズを提供すること。【解決手段】最終レンズは、EDS画像化および分析のためにX線に関して透過性である要素、または陰極ルミネセンス(CL)画像化および分析のために光に関して透過性である要素を含むことができる。複合EDSおよびCL画像化と分析のためにX線と光の両方に関して透過性である要素を含むように、この最終レンズを構築し配置することができる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检测X射线和光的带电粒子束列中的透射透镜。解决方案：最终透镜可以包括对于用于EDS成像和分析的X射线透射的元件或可透射的元件用于阴极发光（CL）成像和分析的光。最终的透镜可以被构造和布置成包括用于X射线和光的透射的元件以用于组合的EDS和CL成像和分析。选择的图：图1

10. 发明专利

JP2015141899A 補正光学及び荷電粒子顕微鏡有权
标题翻译：相关光学和充电粒子显微镜
公开(公告)号：JP2015141899A
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：JP2015012456
申请日：2015-01-26
申请人：エフイーアイカンパニ , FEI COMPANY
发明人：バートブイス
IPC分类号： H01J37/20 , G02B21/36 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/226 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/14 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/223 , H01J2237/2602
摘要：【課題】磁気レンズ部に光学顕微鏡を備えた電子顕微鏡装置において、磁気レンズの磁極片又は磁極片間の距離を変更することなく、光学顕微鏡の解像度と感度を向上することのできる装置およびその使用方法を提供する。【解決手段】透過型電子顕微鏡の対物レンズ7の磁極片8A、8B間に試料1が試料ホルダ5に支持されて配置され、この試料を磁極片間から観察できるように光学顕微鏡10が設けられる。光学顕微鏡は磁極片間に適合できるように切頭された回転対称性を有しない対物レンズ(切頭レンズ)を有する。切頭レンズは2つの方向で異なる開口数を有する。したがって、切頭レンズの光収集立体角は磁極片間に適合する最大の回転対称性を有するレンズより大きくなり、解像度と感度を向上できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在不改变磁性透镜的磁极片或磁极片的距离的情况下提高光学显微镜的分辨率和灵敏度的装置，在包括光学显微镜的电子显微镜的磁性透镜部 ; 以及使用该装置的方法。解决方案：样品1在被透镜电子显微镜的物镜7的磁极片8A，8B和光学显微镜10之间被样品保持器5支撑的同时被设置，使得可以从磁极片之间观察样品。光学显微镜具有被截断以配合在磁极片之间并且没有旋转对称性的物镜（截头透镜）。截头透镜在两个方向上具有不同的数值孔径。因此，用于收集截头透镜的光的立体角大于磁极片之间的最大旋转对称透镜配合的立体角，从而可以提高分辨率和灵敏度。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式