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    • 10. 发明专利
    • 産業用ロボット
    • 工业机器人
    • JP2015036184A
    • 2015-02-23
    • JP2013247027
    • 2013-11-29
    • 日本電産サンキョー株式会社Nidec Sankyo Corp
    • KITAHARA YASUYUKIKAZAMA TOSHIMICHIKURIBAYASHI TAMOTSUSAICHI MASAYOSHI
    • B25J9/06
    • B25J11/0095B25J9/042B25J9/044B25J18/04B65G47/90B65G47/902H01L21/67766H01L21/67778H01L21/67781H01L21/68707Y10S901/14Y10S901/17
    • 【課題】一定方向に配列される複数のFOUPと半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送するとともにEFEMの一部を構成する産業用ロボットにおいて、ロボット本体を昇降させる昇降機構がロボット本体の外部に配置されていても、複数のFOUPの配列方向と上下方向とに直交する方向において、EFEMを小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット1では、アーム16が縮んで複数のアーム部18〜20およびハンド14、15が上下方向で重なっている産業用ロボット1の待機状態において、アーム16の一部は、ロボット本体3の本体部17よりもY2方向側に配置されている。また、産業用ロボット1では、ロボット本体3を昇降させる昇降機構4に本体部17が固定されるとともに、昇降機構4は、本体部17のY2方向側に配置されている。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种在固定方向上布置的多个FOUP之间传送半导体晶片的工业机器人和半导体晶片处理装置,能够在与排列方向正交的方向和多个垂直方向的垂直方向上缩小EFEM 即使在机器人主体的外侧设置提升机器人主体的升降机构也可以。另外,在工业用机器人1中,臂部16的一部分相对于主体 工业机器人1的待机状态下的机器人主体3的部分17,其中臂16被折叠并且多个臂部18至20和手14和15垂直堆叠。 此外,在工业用机器人1中,主体部17固定在上下机构主体3上,升降机构4相对于主体部17沿Y2方向配置。