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    • 2. 发明专利
    • 基板移載用ハンド
    • JPWO2017131148A1
    • 2018-11-29
    • JP2017002909
    • 2017-01-27
    • 株式会社ダイヘン
    • 岡本 健太郎
    • B25J15/00H01L21/677
    • B25J15/00B65G49/06H01L21/677
    • 【課題】基板に対する接点を減らし、かつ、基板を剛性の高い状態で支持することができる基板移載用ハンドを提供する。 【解決手段】縦方向に延びる縦ハンド支持部20aと、当該縦ハンド支持部20aに連結され、当該縦ハンド支持部20aが延びる方向に対して交差する方向に延びる複数の横ハンド支持部31a,32aと、を含み、前記複数の横ハンド支持部31a,32aは、複数の第1横ハンド支持部31aと、複数の第2横ハンド支持部32aとを含んでおり、前記各第1横ハンド支持部31aは、それぞれ、当該第1横ハンド支持部31aの延びる方向に並び、前記基板SBに接することができる複数の第1接点40Aを有し、当該第1接点40Aの最高高さ位置は、第1の高さであり、前記各第2横ハンド支持部32aは、それぞれ、当該第2横ハンド支持部32aの延びる方向に並び、前記基板SBに接することができる複数の第2接点40Bを有し、当該第2接点40Bの最高高さ位置は、前記第1の高さよりも低い第2の高さである。