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1. 发明专利

JP2017205808A 室温でのガラス対ガラス、ガラス対プラスチックおよびガラス対セラミック/半導体接合审中-公开
公开(公告)号：JP2017205808A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2017126999
申请日：2017-06-29
申请人：ピコシスインコーポレイテッド , Picosys Incorporated
发明人：カラム,レイモンド,ミラー , ルーソス,ジョージ , フィンクル,マーク , ハーヴィー,ダニエラ,エム. , アッカーマン−カラム,パスカル,アール.
IPC分类号： B23K26/18 , C03C27/00 , C03C27/02 , C04B37/00 , B23K26/57
CPC分类号： B29C65/1612 , B01L3/502707 , B23K26/032 , B23K26/046 , B23K26/0622 , B23K26/082 , B23K26/0853 , B23K26/211 , B23K26/244 , B23K26/32 , B23K26/324 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C65/1683 , B29C65/7841 , B29C65/7847 , B29C66/1122 , B29C66/45 , B29C66/7392 , B29C66/7465 , B32B37/06 , C03B23/203 , C03C27/00 , B01L2200/12 , B01L2300/0887 , B23K2201/18 , B23K2201/40 , B23K2203/18 , B23K2203/42 , B23K2203/50 , B23K2203/52 , B23K2203/54 , B29C66/73161 , B32B2307/412 , B32B2310/0843 , B32B2315/08
摘要：【課題】室温基板接合のための方法を提供する。【解決手段】レーザ波長に対して実質的に透明な第1の基板を選択することを用いる。次いで、第1の基板と界面で合わせるための第2の基板が選択される。界面における透過率変化が起こされ、第1の基板および第2の基板が界面で合わされる。次いで、第1の基板に、実質的に界面に集束する透明波長のレーザを照射し、レーザによって供給されたエネルギーから、界面における局所的な高温が生成される。第1の基板および第2の基板を融合させるために、界面にわたる拡散によって界面にすぐ隣接する第1の基板および第2の基板を軟化させる。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2017185547A レーザーフィラメント形成による材料加工方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017185547A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2017066485
申请日：2017-03-30
申请人：ロフィン−シナーテクノロジーズインコーポレーテッド
发明人：ホセイニ,エス.,アバス , ハーマン,ピーター,アール.
IPC分类号： H01L21/301 , B28D5/00 , C03B33/09 , B23K26/53
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0006 , B23K26/0604 , B23K26/0619 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/083 , B23K26/53 , B26F3/00 , C03B33/0222 , C03C23/0025 , H01L21/2633 , B23K2203/42 , B23K2203/50 , B23K2203/52 , B23K2203/54 , B23K2203/56 , H01L21/78 , Y10T225/12
摘要：【課題】劈開ステップ向けに準備する際に透明基板を内部加工する方法を提供する。【解決手段】基板14は、一つ又は複数の更なる場所で基板を照射し、追加のフィラメント18を作り出すため、レーザービーム10に対して並進される。結果として生じるフィラメントは、前記基板を劈開するための内部でスクライブされた経路を規定する配列を形成する。レーザービームパラメータは、フィラメントの長さ及び位置を調節し、且つV字チャネル又は溝を任意に導入して、レーザー劈開された縁部にベベルを提供するために変動させることができる。好ましくは、レーザーパルスは、フィラメント形成のエネルギー閾値を低下させ、フィラメント長さを増加させ、フィラメント変性域を熱アニーリングして付随的な損傷を最小限に抑え、加工の再現性を改善し、低繰返し数レーザーを使用した場合に比べて加工速度を増加させるため、バースト列の形で送達される。【選択図】図1a

3. 发明专利

JP2017528323A 界面ブロック、そのような界面ブロックを使用する、ある波長範囲内で透過する基板を切断するためのシステムおよび方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017528323A
公开(公告)日：2017-09-28
申请号：JP2017502196
申请日：2015-07-14
申请人：コーニングインコーポレイテッド , コーニングインコーポレイテッド
发明人：ルシアンゲニア，マイケル , ルシアンゲニア，マイケル
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/064 , C03B33/09
CPC分类号： C03B33/0222 , B23K26/0006 , B23K26/0057 , B23K26/0613 , B23K26/0624 , B23K26/0676 , B23K26/0738 , B23K26/18 , B23K26/53 , B23K2203/54 , C03B33/07 , C03B33/074 , G02B3/0087
摘要：本願には、電磁スペクトル内の所定の波長範囲内で透過性を有し、基板(102)シートから取り出された時に縁辺を含むことになる基板(102)を切断するシステムが記載されている。システムは概して、光路に沿って光を発することができ、波長範囲の中で、基板(102)もまたそれにおいて透過性を有する所定の波長のレーザ(104)と、レーザの光路内に位置付けられた光学素子(106)と、電磁スペクトル内の、基板(102)もまたそれにおいて透過性を有する所定の波長範囲の少なくとも一部について透過性を有する材料からなる界面ブロック(108)と、を含み、前記界面ブロック(108)は前記光路内の、基板(102)と前記光学素子(106)との間に位置付けられる。

4. 发明专利

JPWO2016194032A1 光学デバイス审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016194032A1
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：JP2017521644
申请日：2015-05-29
申请人：株式会社日立製作所
发明人：亮今井 , 今井　　亮 , 峯邑　浩行 , 浩行峯邑
IPC分类号： G02B3/00 , B23K26/53 , B23K26/55
CPC分类号： G02F1/3523 , B23K26/0006 , B23K26/006 , B23K26/0608 , B23K26/55 , B23K2203/54 , G02B3/00 , G02B5/10 , G02B5/1857 , G02B6/13
摘要：本発明は、透明基板内部に所望の光学デバイスを簡便に製作することができる技術を提供することを目的とする。本発明に係る光学デバイスは、透明基板内部の中空構造の近傍を変性させて前記中空構造の形状を変形させることにより製造されている(図2参照)。

5. 发明专利

JP2017128505A 貫通孔形成方法、貫通孔形成装置、および貫通孔を有するガラス基板の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017128505A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2017035114
申请日：2017-02-27
申请人：旭硝子株式会社
发明人：小野元司
IPC分类号： B23K26/066 , B23K26/382 , B23K26/064 , H01S3/00 , C03B33/09
CPC分类号： B23K9/013 , B23K26/382 , B23K26/384 , B26F1/28 , B23K2203/50 , B23K2203/54
摘要：【課題】貫通孔の形状崩れを抑制できる、貫通孔形成方法の提供。【解決手段】レーザ光を集光レンズを介して絶縁基板に集光照射することにより、前記絶縁基板を板厚方向に貫通する貫通孔を形成する工程を有し、前記集光レンズと前記絶縁基板との間の媒質が空気であり、前記集光レンズの焦点距離fと、前記集光レンズに対する前記レーザ光の入射ビーム径dとから下記式(1)を用いて算出される集光半角θが下記式(2)を満たす、貫通孔形成方法。 (d/2)/f=tanθ・・・(1) 0.16≦sinθ≦0.22・・・(2) 【選択図】図1

7. 发明专利

JP2017509569A レーザカット複合ガラス物品及び切断方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017509569A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2016541377
申请日：2014-12-16
申请人：コーニングインコーポレイテッド , コーニングインコーポレイテッド
发明人：マリヤノヴィッチ，サシャ , アンドリューピエヒ，ギャレット , アンドリューピエヒ，ギャレット , ツダ，セルジオ , スティーヴンワグナー，ロバート , スティーヴンワグナー，ロバート
IPC分类号： C03B33/09 , B23K26/53 , C03B17/00 , C03B33/02
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0006 , B23K26/0087 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B23K26/57 , B23K2203/172 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , B32B7/02 , B32B17/00 , B32B2457/20 , C03B17/02 , C03B17/064 , C03B25/087 , C03B29/10 , C03B33/0215 , C03B33/0222 , C03B33/07 , C03B33/091 , Y02P40/57 , Y10T428/15 , Y10T428/24777
摘要：本開示は、透明材料の薄型基板、特に目的に合わせて加工された複合フュージョンドローガラスシートの任意の形状を切断及び分離するためのプロセスに関し、また本開示は、上記方法によって調製されたガラス物品にも関する。開発されたレーザ法は、パネルからのパーツの手動分離、又は所望のプロファイルの熱応力印加による完全にレーザによる分離に適合させることができる。自動分離方法は、超短パルスレーザの利用を伴い、完全に自動化された分離のために(高圧空気流に連結された)CO2レーザを続けて使用してよい。

8. 发明专利

JP2017508704A フレキシブル薄型ガラスにおいてアール部を切断する方法および装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017508704A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：JP2016552528
申请日：2015-02-17
申请人：コーニングインコーポレイテッド , コーニングインコーポレイテッド
发明人：スティーヴンアルトマン，アンドリュー , スティーヴンアルトマン，アンドリュー , ウェスリーコール，カールトン , ウェスリーコール，カールトン , ベンソンフレミング，トッド , ベンソンフレミング，トッド , リウ，アンピン , ジョセフワトキンス，ジェイムズ , ジョセフワトキンス，ジェイムズ
IPC分类号： C03B33/09
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/14 , B23K26/53 , B23K2203/54 , C03B33/0222 , C03B33/04 , Y02P40/57
摘要：方法および装置は、薄型ガラスシートを、複数のラインセグメントに分割された曲線である、湾曲した切断ラインに沿って切断するステップと、レーザビームを適用し、かつレーザビームを切断ラインに沿って連続的に移動させるステップと、ガラスシートで切断ラインに沿って破断を伝播させるために、レーザビームの適用と同時に冷却流体を適用するステップと、レーザビームが複数のラインセグメントの1つから複数のラインセグメントの次の1つへと移動するときに、(i)レーザビームの出力、(ii)移動のスピード、(iii)冷却流体の圧力、および(iv)冷却流体の流量、のうちの少なくとも1つを含む、1以上の切断パラメータを変化させるステップとを提供する。

9. 发明专利

JPWO2014156688A1 レーザ加工装置及びレーザ加工方法有权
标题翻译：一种激光加工设备和激光加工方法
公开(公告)号：JPWO2014156688A1
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2015508283
申请日：2014-03-13
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：大祐河口 , 大祐河口 , 翼廣瀬 , 翼廣瀬 , 佳祐荒木 , 佳祐荒木
IPC分类号： H01L21/301 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/53
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/0648 , B23K26/0736 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K2203/172 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , C03B33/0222 , C03B33/07 , H01L21/78 , Y02P40/57
摘要：レーザ光(L)を出射するレーザ光源と、レーザ光源により出射されたレーザ光(L)を変調する空間光変調器(203)と、空間光変調器(203)により変調されたレーザ光を加工対象物(1)に集光する集光光学系(204)と、を備え、空間光変調器(203)は、ガラス部に改質領域(7)を形成する場合、アキシコンレンズパターンを変調パターンとして表示することにより、レーザ光照射方向に沿って近接して並ぶ複数位置に集光点が形成されるようにレーザ光をガラス部に集光させるガラスを含むガラス部にシリコンを含むシリコン部が樹脂部を介して積層された加工対象物(1)に対してレーザ光(L)を集光させることにより、切断予定ライン(5)に沿って加工対象物(1)の内部に改質領域(7)を形成することにより、加工品質を向上する。
摘要翻译：处理，其发射的激光（L），空间光调制器，用于由所述激光光源（L）和（203）发射调制激光，由空间光调制器调制的激光束的激光光源（203）聚焦侧重所述对象（1）和（204）的光学系统，包括：空间光调制器（203），在形成改质区域时（7），以将玻璃部分，调制所述展像透镜图案通过显示图案，以便在沿着激光束照射方向布置在附近的多个位置，形成含有硅与包含玻璃的激光束聚焦到所述玻璃部的玻璃部分中的硅部分的焦点重整但激光光（L）通过缩合针对它们通过树脂部堆叠在物体（1），线的内部，以切断加工对象物沿着所述（5）（1）通过形成的区域（7），以提高加工质量。

10. 发明专利

JP2017024083A 超短パルスレーザによる透明材料処理审中-公开
标题翻译：用超短脉冲激光的透明材料加工
公开(公告)号：JP2017024083A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2016208303
申请日：2016-10-25
申请人：イムラアメリカインコーポレイテッド
发明人：アライ,アラン,ワイ. , チョー,ギュー,シー. , スー,ジンゾー , 吉野郁世 , ザング,ハイビン , ボヴァトセック,ジェームス
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/00 , B23K26/062 , B23K26/364 , B23K26/55 , H01L21/301 , C03B33/09 , C03B23/20 , C03C23/00 , B23K26/064
CPC分类号： B23K26/0624 , B23K26/0057 , B23K26/006 , B23K26/0087 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/0869 , B23K26/21 , B23K26/324 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K26/53 , B23K26/55 , B28D5/00 , B28D5/0011 , B29C65/1629 , B29C65/1635 , B29C65/1638 , B29C65/1654 , B29C66/1122 , B29C66/43 , B29C66/73366 , B29C66/836 , B41M5/26 , C03B23/006 , C03B33/102 , C03C23/0025 , H01L21/268 , H01L21/78 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , B29C65/1606 , B29C65/1612 , B29C65/1619 , B29C65/1658 , B29C65/1687 , B29C65/38 , B29C66/71 , B29C66/73921 , B29C66/952 , B29K2995/0026 , B41M5/262 , B41M5/267
摘要：【課題】材料のパルスレーザ処理のための方法等を提供することを目的とする。【解決手段】材料を修正するためのレーザベース方法であって、パルスレーザ入力ビームを生成するステップであって、パルスレーザ入力ビームは約100psより小さいパルス幅を有する、ステップと、パルスレーザ入力ビームから異なる偏光又は異なる波長を有する複数の収束パルスビームを形成するステップと、材料と収束されたパルスビームとの間の相対的な動きを生じさせるステップと、異なる偏光又は異なる波長を有する複数の共線的で深さ方向に離間した収束されたパルスビームが、動きの間に同時に材料へ届くように、形成すること及び動かすことを制御するステップとを備える、方法を提供する。【選択図】図1
摘要翻译：和提供用于脉冲激光治疗的材料的方法。本发明提供一种用于改性材料，包括：产生脉冲激光输入光束的步骤的基于激光的方法，脉冲激光输入光束具有约100ps的脉冲宽度比的步骤，脉冲激光输入光束较小具有形成多个聚焦脉冲光束的步骤的更多CO，所述方法包括使所述脉冲光束之间的相对移动会聚并材料，不同的极化或不同的波长具有不同的极化或者不同的波长聚焦脉冲束间隔线性深度方向，在移动期间到达的同时材料，并控制和移动的成形的步骤提供了一些方法。点域1

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