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    • 8. 发明专利
    • レーザアニール装置、半導体装置の製造方法
    • 激光退火装置,一种制造半导体器件的方法
    • JPWO2014136237A1
    • 2017-02-09
    • JP2015504066
    • 2013-03-07
    • 三菱電機株式会社
    • 和徳 金田和徳 金田忠玄 湊忠玄 湊川瀬 祐介祐介 川瀬
    • H01L21/268H01L21/265
    • H01L21/268B23K26/0604B23K26/0622B23K26/0732B23K26/082B23K26/0853H01L21/324H01L29/66333
    • 本願の発明にかかるレーザアニール装置は、被加熱物をのせるステージと、第1連続レーザ光を放射する第1レーザ素子と、該第1連続レーザ光を該被加熱物へ導き、該被加熱物に第1照射領域を形成する第1光学系と、該第1連続レーザ光よりも波長の短い第2連続レーザ光を放射する第2レーザ素子と、該第2連続レーザ光を該被加熱物へ導き、該被加熱物に第2照射領域を形成する第2光学系と、該被加熱物の各部分について該第2照射領域が走査する前に該第1照射領域の少なくとも一部が走査するように、該第1照射領域と該第2照射領域を走査させるシステムコントローラと、を備えたことを特徴とする。
    • 根据本发明的激光退火装置包括一台用于放置被加热物,并且发出第一连续的激光束,引导第一激光装置,所述第一连续激光束加热的材料,被加热的 用于形成第一照射区域的对象的第一光学系统,并且比用于发射第二连续激光更短的波长的第一连续的激光束,第二激光元件,被加热的所述第二连续激光束 导致的物体,以及用于形成第二照射区域的第二光学系统到所述加热的,至少一个第二照射区域之前第一照射区域的一部分进行扫描以加热的产品的每个部分 以扫描,其特征在于包括一个系统控制器,以扫描第一照射区域和第二照射区域。
    • 10. 发明专利
    • 溶接方法
    • 焊接方法
    • JP2015163412A
    • 2015-09-10
    • JP2014260806
    • 2014-12-24
    • トヨタ自動車株式会社
    • 梅山 浩哉平川 靖播磨 幸男
    • B23K26/21B23K26/00
    • B23K26/206B23K26/0604B23K26/082B23K26/24H01M2/0426H01M2/0439
    • 【課題】ボイドの発生を抑制することで、かかるボイドに起因する溶接強度の低下を抑制し、高い溶接強度を実 現し得る溶接方法を提供すること。 【解決手段】第1部材10の幅広面に、キーホールを発生させ得る強度の第1レーザ光1を第1接合面12に沿って照射し、第1レーザ光により溶融されてなる第1溶融池14を形成すること、ここで第1溶融池は前記第2部材に亘って形成される;および第2部材の側面部に、キーホールを発生させ得るよりも低い強度の第2レーザ光2を第2接合面22に沿って照射し、第2レーザ光により溶融されてなる第2溶融池24を形成すること、ここで前記第2溶融池は前記第1部材に亘って形成される;を包含する。そして、第1溶融池と第2溶融池とは、互いに一体化されて溶融池を形成し、第1部材と第2部材とを溶融池が凝固してなる溶接部により溶接する。 【選択図】図2A
    • 要解决的问题:提供一种焊接方法,其可以通过抑制空隙的产生来抑制由空隙产生的焊接强度的降低而获得高的焊接强度。解决方案:具有能够产生锁眼的强度的第一激光1被辐射 沿着第一接合面12到达第一构件10的宽宽面,形成通过用第一激光照射而熔融形成的第一熔池14。 这里,第一熔池形成在第二部件上,强度低于能产生锁孔的第二激光2沿着第二接合面22向第二部件的侧面部辐射,第二熔池 24由第二激光熔化形成。 这里,第二熔池形成在第一部件上。 然后,将第一熔池和第二熔池相互一体化,形成熔池,第一部件和第二部件通过熔融凝固而形成的焊接部彼此焊接 。