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1. 发明专利

JP2021185123A 結合溝を備えたセラミック−アルミニウムアセンブリ审中-公开
公开(公告)号：JP2021185123A
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：JP2021127045
申请日：2021-08-03
申请人：ワトローエレクトリックマニュファクチュアリングカンパニー
发明人：マルガヴィオ, パトリック , イングリッシュ, カート , ウィルソン, ジェイコブ , ピッツェラ, ミランダ , ブルック, トッド
IPC分类号： H01L21/683 , C04B37/00
摘要：【課題】2つ以上のセラミック部材の結合において、結合部とセラミック部材との十分な濡れ性および亀裂や層間剥離を抑制できるアセンブリを提供する。【解決手段】アセンブリ10は、第1の部材12、第1の部材に隣接する第2の部材14、およびアルミニウム材料16を含む。第1の部材と第2の部材とのうちの少なくとも一方が、少なくとも1つの溝を画定する。アルミニウム材料が溝内に配置され、第1の部材を第2の部材に、隣接する面18に沿って結合する。一形態では、隣接する面に沿った第1の部材と第2の部材との間の間隔は5μm未満である。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2021156228A 熱交換器及び改質器审中-公开
公开(公告)号：JP2021156228A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020058529
申请日：2020-03-27
申请人：イビデン株式会社
发明人：島田将平 , 早川修平 , 古賀祥啓
IPC分类号： F02M21/02 , F02M25/00 , B01J35/02 , B01J35/04 , C01B3/38 , C04B35/577 , C04B38/00 , C04B37/00 , F28F21/04 , F28D7/00 , F02M27/02
摘要：【課題】改質触媒として使用する際、触媒が担持された部分と排ガスが流通する部分との間に、大きな温度差が発生した場合であっても、破壊等が発生しにくく、熱交換効率の高い熱交換器を提供する。【解決手段】流体の第1流通路となる多数のセルが隔壁を隔てて長手方向に並設されたセラミック製のハニカムセグメントが接着層を介して複数結合された第1のハニカム構造体と、流体の第2流通路となる多数のセルが隔壁を隔てて長手方向に並設されたセラミック製のハニカムセグメントが接着層を介して複数結合された第2のハニカム構造体とが、前記第1流通路と前記第2流通路とが交差するように組み合わされてなることを特徴とする熱交換器。【選択図】図2

3. 发明专利

JP2021155293A 積層構造体および半導体製造装置部材审中-公开
公开(公告)号：JP2021155293A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020058647
申请日：2020-03-27
申请人：日本碍子株式会社
发明人：永井明日美 , 西村昇 , 山口浩文
IPC分类号： C04B35/582 , C04B35/597 , H01L21/683 , C04B37/00
摘要：【課題】積層構造体において熱応力に起因する接合部の損傷を抑制する。【解決手段】積層構造体10は、AlNおよびMgAl 2 O 4 を主相として含む複合焼結体により形成される第1構造体と、セラミックス焼結体により形成され、当該第1構造体に積層されて接合される第2構造体と、を備える。そして、当該第1構造体と当該第2構造体との線熱膨張係数の差は、0.3ppm/K以下である。これにより、熱応力に起因する第1構造体と第2構造体との接合部の損傷を抑制することができる。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2021147256A SiC被覆黒鉛部材の接合体审中-公开
公开(公告)号：JP2021147256A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2020046660
申请日：2020-03-17
申请人：イビデン株式会社
发明人：堀尾幸加 , 野村円香 , 樋口直貴
IPC分类号： C04B41/87 , C01B32/977 , C04B37/00
摘要：【課題】接合強度が高く、寸法精度に優れ、気密性の高いSiC被覆黒鉛材料の接合体を提供する。【解決手段】CVD−SiC層が、黒鉛からなる基材の表面を覆うととともに、前記基材が組み合わせ面を介して前記CVD−SiC層により複数個接合されているSiC被覆黒鉛部材の接合体であって、前記少なくとも一方の基材は、前記組み合わせ面の一端側に周囲よりも高い凸部と、他端側に、他の基材と組み合わせた際、外部に開口した凹部を有し、前記CVD-SiC層は、前記組み合わせ面の凸部の外側で前記基材を接合体の外表面に沿って接合する第一の接合部を有するとともに、前記組み合わせ面の凹部の外側で凹部に貫入し前記基材を対向する面同士接合する第二の接合部を有することを特徴とするSiC被覆黒鉛部材の接合体。【選択図】図3

5. 发明专利

JP2021141230A 熱遮蔽効果を有するセラミック製ヒーターとセラミック製ヒーター付き静電チャックおよびそれらの製造方法有权
公开(公告)号：JP2021141230A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020038670
申请日：2020-03-06
申请人： ▲らん▼海精研股▲ふん▼有限公司 ,
发明人：松原学
IPC分类号： C04B37/00 , H01L21/683
摘要：【課題】熱遮蔽効果を有する低熱伝導セラミックと一体化した、ヒーター線内設セラミック製ヒーターまたはセラミック製ヒーター付き静電チャックおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】ヒータの製造方法において、ヒーター線内設セラミック層2と低熱伝導セラミック層5の表面に、接合のための活性化接合層4−a、4−bを形成する工程と、接合層同士を接合する工程と、を含む。セラミック製ヒーター付き静電チャックの場合は、金属電極を形成したセラミック誘電体層とセラミック絶縁体層の表面に、接合のための活性化接合層を形成する工程と、接合層同士を接合し一体化したセラミック製静電チャックと、低熱伝導セラミック層が接合されたヒーター線内設セラミック層を同様に接合する工程と、を含む。【選択図】図1

6. 发明专利

JP2021137995A イオン液体を用いた平滑材料の固定方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021137995A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020035825
申请日：2020-03-03
申请人：日清紡ホールディングス株式会社
发明人：増田現
IPC分类号： B32B37/12 , C09J5/00 , C04B37/00 , C03C27/10 , B32B7/12
摘要：【課題】水貼り法を利用した簡便で汎用性の高い平滑材料の固定方法を提供する。【解決手段】イオン液体を含浸しない、ガラスや樹脂等の平滑材料同士の間にイオン液体を介在させ、これらの平滑材料同士を固定化することを特徴とする平滑材料の固定方法。【選択図】なし

7. 发明专利

JP2021133283A ハニカムフィルタ审中-公开
公开(公告)号：JP2021133283A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2020029808
申请日：2020-02-25
申请人：日本碍子株式会社
发明人：昆野由規
IPC分类号： B01D39/20 , C04B37/00 , C04B38/00 , B01J35/04 , B01J32/00 , B01D46/00
摘要：【課題】複数のハニカムセグメントを接合して構成したハニカムフィルタにおいて、粒子状物質の燃焼の際に、クラックの発生を良好に抑制することが可能であり、且つ、圧力損失が良好に抑制されたハニカムフィルタを提供すること。【解決手段】柱状のハニカムセグメントが、接合材層を介して複数個接合して構成されている柱状のハニカムフィルタであって、複数個のハニカムセグメントは、それぞれ、一方の端面から他方の端面まで延びる複数のセルを区画形成する隔壁を有し、複数個のハニカムセグメントのうち、少なくとも1つは、中心軸側に位置する中心部と、ハニカムセグメントの最外周に位置する外周部とで構成されており、ハニカムセグメントの外周部における隔壁は、ハニカムセグメントにおける隔壁の平均厚みに対して、101〜150%の厚みを有しており、セルの延伸方向に垂直な断面において、外周部における隔壁の総面積が、ハニカムセグメントにおける隔壁の総面積に対して、5〜35%であるハニカムフィルタ。【選択図】図3

8. 发明专利

JP2021116216A 半導体製造装置用部品审中-公开
公开(公告)号：JP2021116216A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020012287
申请日：2020-01-29
申请人：日本特殊陶業株式会社
发明人：三矢耕平 , 丹下秀夫 , 堀田元樹 , 小川貴道
IPC分类号： H01L21/683 , C04B37/00
摘要：【課題】プラズマによる接合部の劣化を抑制する。【解決手段】半導体製造装置用部品は、AlNを主成分とする材料により形成された第1のセラミックス部材と、AlNを主成分とする材料により形成された第2のセラミックス部材と、第1のセラミックス部材と第2のセラミックス部材との間に配置され、第1のセラミックス部材と第2のセラミックス部材とを接合する接合部と、を備える。接合部は、化学式A (0.8〜1) B (11〜12) O (18〜19) (但し、Aは希土類元素であり、BはAlである以下同じ)で表され、かつ、六方晶の複合酸化物と、化学式A 3 B 5 O 12 で表され、かつ、立方晶の複合酸化物と、化学式A 4 B 2 O 9 で表され、かつ、単斜晶の複合酸化物と、の少なくとも1種のAl−希土類の複合酸化物を含み、Al 2 O 3 を含まない。【選択図】図4

10. 发明专利

JP6886905B2 セラミックス部材の製造方法有权
公开(公告)号：JP6886905B2
公开(公告)日：2021-06-16
申请号：JP2017183853
申请日：2017-09-25
申请人：日本特殊陶業株式会社
发明人：畑山聡 , 佐藤敬輔
IPC分类号： C04B35/64 , C04B37/00

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