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1. 发明专利

JP2015092174A 歪検知装置审中-公开
公开(公告)号：JP2015092174A
公开(公告)日：2015-05-14
申请号：JP2014256637
申请日：2014-12-18
申请人： TOSHIBA CORP
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , OGURO TATSUYA , KOJIMA AKIHIRO , SUGIZAKI YOSHIAKI , TAKAYANAGI MARIKO , FUJI YOSHIHIKO , HORI AKIO , HARA MICHIKO
IPC分类号： G01B7/24 , H01L43/08
摘要：【課題】微小領域で歪を高感度に検知することができる歪検知装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、半導体回路部と、検知部と、を含む歪検知装置が提供される。半導体回路部は、半導体基板と、半導体基板の上に設けられたトランジスタと、を有する。検知部は、半導体回路部の上に設けられる。検知部は、トランジスタの上方に設けられた空洞部と、空洞部と並置された非空洞部と、を有する。検知部は、可動梁と、歪検知素子部と、第1、第2配線と、を含む。可動梁は、非空洞部に固定された固定部分と、固定部分から空洞部に延びトランジスタと離間しトランジスタとの間の距離が可変の可動部分と、を有する。歪検知素子部は、可動部分に設けられ、第1、第2磁性層と、非磁性の中間層と、を含む。第1、第2配線は、それぞれ、非空洞部に設けられ、第1、第2磁性層と半導体回路部とを電気的に接続する。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2015059925A 慣性センサ有权
标题翻译：惯性传感器
公开(公告)号：JP2015059925A
公开(公告)日：2015-03-30
申请号：JP2013196056
申请日：2013-09-20
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , HARA MICHIKO , FUJI YOSHIHIKO , HIGASHI YOSHIHIRO , KAJI SHIORI , HORI AKIO , NAGATA TOMOHIKO , YUZAWA AKIKO , KIKITSU SATORU
IPC分类号： G01P15/105 , G01P15/18 , H01L43/08
CPC分类号： G01P15/105 , G01P15/0802 , G01P2015/0805
摘要：【課題】高感度に加速度や変位などを検知する慣性センサを提供する。【解決手段】実施形態によれば、基部と、錘部と、接続部と、第1検知素子部と、を含む慣性センサが提供される。前記接続部は、前記錘部と前記基部とを接続する。前記接続部は、前記錘部の前記基部に対する相対的な位置の変化に応じて変形可能である。前記第1検知素子部は、前記接続部の第1部分上に設けられる。前記第1検知素子部は、第1磁性層と、第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性の第1中間層と、を含む。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种以高灵敏度检测加速度，位移等的惯性传感器。解决方案：根据一个实施例，提供了一种惯性传感器，包括基座部分，重量部分，连接部分和第一检测元件部分。连接部将重量部与基部连接。响应于重量部件相对于基部的相对位置的变化，连接部分可变形。第一检测元件部分设置在连接部分的第一部分上。第一检测元件部分包括设置在第一磁性层和第二磁性层之间的第一磁性层，第二磁性层和非磁性的第一中间层。

3. 发明专利

JP2015052571A 歪検知装置及びその製造方法有权
标题翻译：失真检测装置及其制造方法
公开(公告)号：JP2015052571A
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：JP2013186705
申请日：2013-09-09
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： ASANO YUSAKU , HIGUCHI KAZUTO , MIYAGI TAKESHI , HIGASHI YOSHIHIRO , HARA MICHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , KII MASAYUKI , FUJISAWA EIZO
IPC分类号： G01B7/24 , H01L43/02 , H01L43/08
CPC分类号： G01L1/125
摘要：【課題】磁気シールド特性に優れた製品を生産性高く提供することができる歪検知装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】実施形態に係る歪検知装置は、基板と、蓋部と、枠部と、検知部と、を含む。基板は、第1面を有する。蓋部は、第1面の上に設けられる。枠部は、基板と蓋部との間に設けられ、磁性体を含み、非導通性である。検知部は、基板と蓋部との間であって枠部の内側に設けられ、磁気抵抗効果素子を有する。検知部は、固体部と、磁気抵抗効果素子が設けられた可動部と、を有する。磁気抵抗効果素子は、磁化の向きが第1面に沿った方向に固定された固定層と、磁化の向きが固定されていない自由層と、を有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够以高生产率提供具有优异的磁屏蔽性能的产品的失真检测装置及其制造方法。根据实施例的失真检测装置包括基板，盖部分，框架部分和检测部分。基板包括第一表面。盖部分设置在第一表面上。框架部分设置在基板和盖部分之间，包括磁性物质，并且是不导电的。检测部设置在基板和盖部之间以及框架部内部，并且包括磁阻效应元件。检测部分还包括实心部分和设置有磁阻效应元件的可移动部分。磁阻效应元件包括其中沿着第一表面的方向上固定磁化方向的固定层和其中磁化方向不固定的自由层。

4. 发明专利

JP2014074606A Pressure sensor, acoustic microphone, blood pressure sensor and touch panel 审中-公开
标题翻译：压力传感器，声音麦克风，血压传感器和触控面板
公开(公告)号：JP2014074606A
公开(公告)日：2014-04-24
申请号：JP2012221274
申请日：2012-10-03
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUJI YOSHIHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , HARA MICHIKO , HIGASHI YOSHIHIRO , HORI AKIO , NAGATA TOMOHIKO , KAJI SHIORI , YUZAWA AKIKO
IPC分类号： G01L9/16 , A61B5/022 , G01L1/12 , G01L5/00 , G01L9/00 , G06F3/041 , H04R15/00
CPC分类号： G01L1/12 , G01L9/0044 , G01L9/0048 , G01L9/16 , H04R1/00 , H04R15/00 , H04R2410/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor, an acoustic microphone, a blood pressure sensor and a touch panel that are highly sensitive.SOLUTION: According to an embodiment, the pressure sensor includes: a substrate; a first electrode; a second electrode; a first magnetic layer; a second magnetic layer; a spacer layer; and a third magnetic layer. The substrate includes a first area and a second area. The first electrode is provided in the first area. The second electrode is provided above the first electrode. The first magnetic layer is provided at a position between the first electrode and the second electrode. The second magnetic layer is provided at a position between either the first electrode and the first magnetic layer or the first magnetic layer and the second electrode. A direction of magnetization of the second magnetic layer is variable. The spacer layer is provided at a position between the first magnetic layer and the second magnetic layer in a lamination direction from the first electrode to the second electrode. The third magnetic layer is provided continuously with the second magnetic layer on the second area. Magnetization of the third magnetic layer varies in accordance with distortion generated in the second area.
摘要翻译：要解决的问题：提供高度敏感的压力传感器，声学传声器，血压传感器和触摸面板。解决方案：根据实施例，压力传感器包括：基板; 第一电极; 第二电极; 第一磁性层; 第二磁性层; 间隔层; 和第三磁性层。基板包括第一区域和第二区域。第一电极设置在第一区域中。第二电极设置在第一电极的上方。第一磁性层设置在第一电极和第二电极之间的位置。第二磁性层设置在第一电极和第一磁性层或第一磁性层和第二电极之间的位置。第二磁性层的磁化方向是可变的。间隔层设置在从第一电极到第二电极的层叠方向的第一磁性层和第二磁性层之间的位置。第二磁性层与第二磁性层连续地设置在第二区域上。第三磁性层的磁化根据在第二区域中产生的失真而变化。

5. 发明专利

JP2013214753A Strain sensor, pressure sensor, blood pressure sensor, and structural health monitor sensor 有权
标题翻译：应变传感器，压力传感器，血压传感器和结构健康监测传感器
公开(公告)号：JP2013214753A
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：JP2013096808
申请日：2013-05-02
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： DEVIN GIDDINGS , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , YUASA HIROMI
IPC分类号： H01L43/08 , G01B7/16 , G11B5/39 , H01L29/84 , H01L43/10
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-sensitive strain sensor, a high-sensitive pressure sensor, a high-sensitive blood pressure sensor, and a high-sensitive structural health monitor sensor.SOLUTION: A strain sensor includes: a substrate; a stack fixed on the substrate and having a first magnetic layer containing one kind or more metals selected from the group composed of iron, cobalt, and nickel, a second magnetic layer stacked on the first magnetic layer and having a different composition from that of the first magnetic layer, and a spacer layer disposed between the first magnetic layer and the second magnetic layer; and a pair of electrodes passing a current to the stack. By external strain applied to the stack, the first magnetic layer and the second magnetic layer are both rotated by magnetization, and the external strain is detected by a resistance change between the electrodes associated with the magnetization rotation of the first magnetic layer and the second magnetic layer.
摘要翻译：要解决的问题：提供高灵敏度应变传感器，高灵敏度压力传感器，高灵敏度血压传感器和高灵敏度结构健康监测传感器。解决方案：应变传感器包括：基板; 固定在所述基板上并且具有包含选自铁，钴和镍中的一种以上的金属的第一磁性层的堆叠，堆叠在所述第一磁性层上并具有与所述第二磁性层不同的组成的第二磁性层第一磁性层和设置在第一磁性层和第二磁性层之间的间隔层; 以及将电流传递到堆叠的一对电极。通过施加到堆叠的外部应变，第一磁性层和第二磁性层都被磁化转动，并且通过与第一磁性层和第二磁性层的磁化旋转相关联的电极之间的电阻变化来检测外部应变层。

6. 发明专利

JP2013205403A Pressure sensor and microphone 有权
标题翻译：压力传感器和麦克风
公开(公告)号：JP2013205403A
公开(公告)日：2013-10-07
申请号：JP2012078361
申请日：2012-03-29
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , EBATO AKIHIKO , NISHIMURA OSAMU , HARA MICHIKO , YUASA HIROMI , FUJI YOSHIHIKO , KII MASAYUKI , FUJISAWA EIZO
IPC分类号： G01L9/16 , H04R15/00
CPC分类号： G01L1/12 , G01L1/125 , G01L9/005 , G01L9/008 , G01L9/16
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor and a microphone, having high sensitivity.SOLUTION: The pressure sensor includes a substrate and a sensor part provided on the substrate. The sensor part includes a transducing thin film, and first and second strain sensor elements. The transducing thin film has a film surface and is flexible. The first strain sensor element is provided at a position different from the center of gravity of the film surface on the film surface. The first strain sensor element includes first and second magnetic layers, and a first nonmagnetic interlayer provided therebetween. The second strain sensor element is provided at a position separated from the first strain sensor element and different from the center of gravity on the film surface. The second strain sensor element includes third and fourth magnetic layers and a second nonmagnetic interlayer provided therebetween. A straight line passing through the first and second strain sensor elements passes the center of gravity.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高灵敏度的压力传感器和麦克风。解决方案：压力传感器包括基板和设置在基板上的传感器部分。传感器部分包括传感薄膜以及第一和第二应变传感器元件。换能薄膜具有膜表面并且是柔性的。第一应变传感器元件设置在与膜表面上的膜表面的重心不同的位置。第一应变传感器元件包括第一和第二磁性层以及设置在它们之间的第一非磁性中间层。第二应变传感器元件设置在与第一应变传感器元件分离并且不同于膜表面上的重心的位置处。第二应变传感器元件包括第三和第四磁性层以及设置在它们之间的第二非磁性中间层。穿过第一和第二应变传感器元件的直线通过重心。

7. 发明专利

JP2012176294A Blood pressure sensor 有权
标题翻译：血压传感器
公开(公告)号：JP2012176294A
公开(公告)日：2012-09-13
申请号：JP2012138181
申请日：2012-06-19
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： YUASA HIROMI , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , DEVIN GIDDINGS , HARA MICHIKO , MURAKAMI SHUICHI
IPC分类号： A61B5/022
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blood pressure sensor for measuring a blood pressure with high sensitivity and continuous way.SOLUTION: A blood pressure sensor includes: a substrate mounted on a blood pressure measurement part of a subject and bent to generate a tensile stress at least in one direction; a first electrode provided on the substrate; a fixed magnetic layer provided on the first electrode and having magnetization facing in one direction; a nonmagnetic layer provided on the fixed magnetic layer; a magnetic free layer provided on the nonmagnetic layer and having variable magnetization; and a second electrode provided on the magnetic free layer. The magnetization direction of the magnetic free layer faces different from the first direction in which the tensile stress is generated and from a direction perpendicular to the first direction.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于以高灵敏度和连续的方式测量血压的血压传感器。解决方案：血压传感器包括：安装在受试者的血压测量部分上并弯曲以至少在一个方向产生拉伸应力的基底; 设置在所述基板上的第一电极; 固定磁性层，设置在所述第一电极上并具有朝向一个方向的磁化; 设置在固定磁性层上的非磁性层; 设置在非磁性层上并具有可变磁化强度的无磁性层; 以及设置在无磁层上的第二电极。磁性自由层的磁化方向与产生拉伸应力的第一方向和垂直于第一方向的方向不同。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2012169448A Magnetoresistance effect element, magnetic head assembly, and magnetic recording/reproducing device 有权
标题翻译：磁阻效应元件，磁头组件和磁记录/再现装置
公开(公告)号：JP2012169448A
公开(公告)日：2012-09-06
申请号：JP2011029021
申请日：2011-02-14
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , YUASA HIROMI , MURAKAMI SHUICHI
IPC分类号： H01L43/10 , G11B5/39 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L43/08
CPC分类号： H01L43/08 , G01R33/093 , G11B5/3906 , H01F10/3259 , H01F10/3272 , H01F41/325
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetoresistance effect element which has a sufficient MR ratio, and a method for manufacturing the same.SOLUTION: A magnetoresistance effect element of the present invention comprises: a laminate provided with a first magnetic layer 14, a second magnetic layer 18, and a spacer layer 16 provided between the first magnetic layer 14 and the second magnetic layer 18; and a pair of electrodes 11 and 20 for making a current flow perpendicularly to a film surface of the laminate. The spacer layer 16 includes an oxide layer 21 containing at least one element selected from Zn, In, Sn, and Cd, and at least one element selected from Fe, Co, and Ni.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有足够的MR比的磁阻效应元件及其制造方法。解决方案：本发明的磁阻效应元件包括：设置有设置在第一磁性层14和第二磁性层18之间的第一磁性层14，第二磁性层18和间隔层16的层压体; 以及用于使电流垂直于层叠体的膜表面的一对电极11和20。间隔层16包括含有选自Zn，In，Sn和Cd中的至少一种元素的氧化物层21和选自Fe，Co和Ni中的至少一种元素。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2008244112A Magnetoresistive effect element, magnetic head, magnetic memory device, and magnetic memory 有权
标题翻译：磁感应元件，磁头，磁记忆装置和磁记忆
公开(公告)号：JP2008244112A
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：JP2007082013
申请日：2007-03-27
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： ITO JUNICHI , FUKUZAWA HIDEAKI , YUASA HIROMI , FUJI YOSHIHIKO
IPC分类号： H01L43/08 , G11B5/39 , H01L21/8246 , H01L27/105
CPC分类号： G01R33/093 , B82Y25/00 , G11B5/3932 , G11C11/16 , H01F10/3254 , H01F10/3272 , H01L43/08
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetoresistive effect element which avoids the employment of a laminated structure of a pin layer, a spacer layer and a free layer unlike a prior art magnetoresistive effect element, and also to provide a magnetic head and a magnetic memory using the element. SOLUTION: In the magnetoresistive effect element including first and second magnetic layers formed to vertically sandwich a spacer formed of at least one of an oxide, nitrogen, an oxinitride and metal therebetween, magnetic domain control is carried out by a bias magnetic field from a current bias generator located adjacent to a spacer layer or by exchange coupling from an exchange coupling layer formed contacting with both ends of the spacer layer on its main surface other than a reproduction magnetism-sensitive part, to thereby suppress the generation of magnetic noise. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种磁阻效应元件，其避免采用与现有技术的磁阻效应元件不同的针层，间隔层和自由层的叠层结构，并且还提供磁头和使用该元件的磁记忆体。解决方案：在包括形成为垂直夹持由氧化物，氮，氮氧化物和金属中的至少一种形成的间隔物的第一和第二磁性层的磁阻效应元件中，磁畴控制通过偏置磁场来自与间隔层相邻的电流偏置发生器，或者通过与形成在与再生磁敏感部分以外的主表面上的间隔层的两端接触形成的交换耦合层的交换耦合，从而抑制磁噪声的产生。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP2007173476A Magnetoresistive effect element and its manufacturing method 有权
标题翻译：磁电效应元件及其制造方法
公开(公告)号：JP2007173476A
公开(公告)日：2007-07-05
申请号：JP2005368463
申请日：2005-12-21
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , YUASA HIROMI , FUJI YOSHIHIKO , IWASAKI HITOSHI
IPC分类号： H01L43/12 , G01R33/09 , G11B5/39 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L43/08
CPC分类号： H01F41/305 , B82Y25/00 , B82Y40/00 , G11B5/3163 , G11B5/3166 , G11B5/398 , G11B5/3983 , G11B2005/3996 , G11C11/161 , H01F10/3254 , H01F10/3259 , H01F10/3272 , H01L43/08 , H01L43/12 , Y10T428/1121
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetoresistive effect element improved in reliability, and to provide its manufacturing method. SOLUTION: Layers are formed in the order of a first magnetic layer 14, a spacer layer 16, and a second magnetic layer 18 having a layer treated by ion, plasma, or heat. The second magnetic layer is treated by stress adjustment with the ion, etc., so that film residue stress is reduced in an electric current constrictor. Thus, reliability is improved in the magnetoresistive effect element. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

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