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    • 1. 发明专利
    • 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
    • 应变检测元件,压力传感器,麦克风,血压传感器和触控面板
    • JP2015061057A
    • 2015-03-30
    • JP2013196059
    • 2013-09-20
    • 株式会社東芝Toshiba Corp
    • FUJI YOSHIHIKOFUKUZAWA HIDEAKINAGATA TOMOHIKOHORI AKIOHIGASHI YOSHIHIRO
    • H01L43/08G01L1/12G01L9/16H04R19/04
    • G06F3/0414A61B5/02141A61B5/6824A61B2562/0247G01L1/125G01L9/0041G01L9/16H04R19/005H04R19/04H04R31/00
    • 【課題】高感度の歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、膜部と、検知部と、を含む歪検知素子が提供される。前記膜部は、膜面を有し変形可能である。前記検知部は、第1検知素子と、第2検知素子と、を含む。前記第1検知素子は、前記膜部の一部と前記第2検知素子との間に設けられる。前記第1検知素子は、前記膜部の変形に応じて磁化が変化する第1磁性層と、前記膜面に対して交差する第1方向において前記第1磁性層と離間する第2磁性層と、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた第1中間層と、を含む。前記第2検知素子は、前記膜部の前記変形に応じて磁化が変化する第3磁性層と、前記第3磁性層と前記第1方向において離間する第4磁性層と、前記第3磁性層と前記第4磁性層との間に設けられた第2中間層と、を含む。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供高灵敏度的应变检测元件,压力传感器,麦克风,血压传感器和触摸面板。根据实施例,应变检测元件包括膜部分和 提供检测部件。 膜部分具有膜表面并且是可变形的。 检测部包括第一检测元件和第二检测元件。 第一检测元件设置在膜部分的一部分和第二检测元件之间。 第一检测元件包括第一磁性层,其磁化根据膜部分的变形而变化,与第一磁性层沿与膜表面相交的第一方向分离的第二磁性层和设置在第一磁性层之间的第一中间层 和第二磁性层。 第二检测元件包括第三磁性层,其磁化根据膜部分的变形而变化,第四磁性层在第一方向上与第三磁性层分离,第二中间层设置在第三磁性层和第四磁性层之间 层。
    • 3. 发明专利
    • 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
    • 压力传感器,麦克风,血压传感器和触控面板
    • JP2015059927A
    • 2015-03-30
    • JP2013196065
    • 2013-09-20
    • 株式会社東芝Toshiba Corp
    • FUJI YOSHIHIKOFUKUZAWA HIDEAKIHARA MICHIKONAGATA TOMOHIKOHORI AKIOKAJI SHIORIHIGASHI YOSHIHIROYUZAWA AKIKO
    • G01L9/16A61B5/022G01L1/12G01L5/00G06F3/041H04R15/00
    • G01L9/16A61B5/021A61B5/02141A61B5/6824A61B2562/0247G01L9/0001G06F3/0414H04R19/005H04R19/04H04R31/00
    • 【課題】高感度の圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、支持部と、支持部に支持され上面を有し変形可能な膜部と、上面上に設けられた検知素子と、を含む圧力センサが提供される。検知素子は、膜部の変形に応じて磁化が変化する第1磁性層と、第1磁性層と離間する第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた部分を含む中間層を含む中間部と、を含む。第1磁性層は、上面に対して平行な第1方向に延在し、第1方向の第1磁性層の第1長軸長は、上面に対して平行で第1方向と交差する方向の第1磁性層の第1短軸長よりも長い。第2磁性層は、上面に対して平行で第1方向と交差する第2方向に延在し、第2方向の第2磁性層の第2長軸長は、上面に対して平行で第2方向と交差する方向の第2磁性層の第2短軸長よりも長い。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有高灵敏度的压力传感器,麦克风,血压传感器和触摸面板。解决方案:根据实施例,提供一种压力传感器,包括:支撑部分; 由支撑部支撑的薄膜部分具有顶表面,并且是可变形的; 以及设置在上表面上的检测元件。 检测元件包括:其磁化改变对应于膜部分的变形的第一磁性层; 与第一磁性层分离的第二磁性层; 中间部分包括中间层,该中间层包括设置在第一磁性层和第二磁性层之间的区域。 第一磁性层在与顶面平行的第一方向上延伸,第一磁性层在第一方向上的第一长轴长度比第一磁性层的与第一磁性层平行的方向的第一短轴长度长 顶表面并穿过第一个方向。 第二磁性层在与顶表面平行且与第一方向平行的第二方向上延伸,并且第二磁性层在第二方向上的第二长轴长度比第二磁性层的第二短轴长度长 在与顶表面平行并与第二方向交叉的方向上。
    • 4. 发明专利
    • Pressure sensor, microphone, blood pressure sensor and touch panel
    • 压力传感器,麦克风,血压传感器和触控面板
    • JP2014102171A
    • 2014-06-05
    • JP2012254784
    • 2012-11-20
    • Toshiba Corp株式会社東芝
    • FUKUZAWA HIDEAKIHIGASHI YOSHIHIROFUJI YOSHIHIKOHARA MICHIKOHORI AKIOKAJI SHIORINAGATA TOMOHIKOYUZAWA AKIKO
    • G01L9/16H04R15/00
    • G01L1/125A61B5/021A61B2562/0247B81B3/0086B81B2201/0257G01L3/102H04R19/04
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor, a microphone, a blood pressure sensor and a touch panel which can attempt improvement of sensitivity.SOLUTION: The pressure sensor comprises a basement, a membranous part provided to the basement and having flexibility, and multiple sensing elements provided on the membranous part radially for a center of gravity of the membranous part. Each of the multiple sensing elements has a first magnetic layer which is a magnetization free layer, a second magnetic layer which is a magnetization free layer provided on the membranous part, and a center layer provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer. Each of the multiple sensing elements has shape anisotropy that a length of a first edge is longer than that of a second edge crossing with the first edge. Each of the multiple sensing elements is provided so that the first edge has an appointed angle with a radial line extending from the center of gravity.
    • 要解决的问题:提供可以尝试提高灵敏度的压力传感器,麦克风,血压传感器和触摸面板。解决方案:压力传感器包括基底,提供给基底并具有柔性的膜部分,以及 多个感测元件径向设置在膜部分上用于膜部分的重心。 多个感测元件中的每一个具有作为磁化自由层的第一磁性层,设置在膜部上的无磁化层的第二磁性层和设置在第一磁性层和第二磁性层之间的中心层。 多个感测元件中的每一个具有形状各向异性,第一边缘的长度比与第一边缘交叉的第二边缘的长度长。 多个感测元件中的每一个设置成使得第一边缘具有与重心延伸的径向线的指定角度。
    • 8. 发明专利
    • MANUFACTURE OF THIN FILM MAGNETIC HEAD AND MANUFACTURE OF ELECTRONIC DEVICE
    • JPH11265502A
    • 1999-09-28
    • JP6520698
    • 1998-03-16
    • TOSHIBA CORP
    • HARA MICHIKOYODA HIROAKIOSAWA YUICHIHORI AKIO
    • G11B5/31G11B5/33
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To highly accurately form the magnetic gap having a narrow gap width almost perpendicular to a substrate surface without being limited by stepper accuracy or the like with respect to the magnetic head of a yoke type. SOLUTION: On a soft magnetic material layer 31, a first masking layer 32 corresponding to the shape of a first plane yoke 12 is formed. On it, a material layer provided with a film thickness equivalent to the magnetic gap and a second masking layer 34 are successively laminated and formed. After working is performed so as to allow the surfaces of the masking layers 32 and 34 to be a continuous flat surface, the material layer provided with the film thickness equivalent to the magnetic gap is selectively etched and removed. The soft magnetic material layer 31 is etched by using the remaining first and second masking layers 32 and 34, a recessed part 36 is formed and first and second plane yokes are formed. The magnetic gap 15 is buried and formed inside the recessed part 36. Or, after a projection part provided with a width equivalent to the magnetic gap is formed, the soft magnetic material layer is formed on both sides and the first and second plane yokes are formed.
    • 10. 发明专利
    • THIN-FILM MAGNETIC HEAD AND MAGNETIC RECORDER
    • JPH10154315A
    • 1998-06-09
    • JP26736397
    • 1997-09-30
    • TOSHIBA CORP
    • YODA HIROAKIHORI AKIOOSAWA YUICHIMORI MIKIYOSHIKAWA MASAHISASAHASHI MASASHI
    • G11B5/31G11B5/39G11B21/21
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance the heat radiation characteristic near an electromagnetic conversion part in order to suppress the occurrence of the thermal asperity of a thin-film magnetic head and the deterioration in the characteristics of the electromagnetic conversion part with an increase in temp. and to suppress the wear near the electromagnetic conversion part in order to suppress the deterioration of recording and reproducing resolution and the wear of the lubricating layer on a recording medium side. SOLUTION: This thin-film magnetic head has the electromagnetic conversion part 22 which is positioned in approximately the central part in a track width direction by being held by a first ceramic substrate 25 and a second ceramic substrate 26 from the film thickness direction thereof. The electromagnetic conversion part 22 is held by the first and second ceramic substrates 25, 26 from, for example, approximately the track width direction. The electromagnetic conversion part 22 has a yoke type reproducing section having at least a pair of magnetic cores intervened with a magnetic gap on the side of the surface facing the medium and a magneto-resistive element to which signal magnetic fluxes are lead from the magnetic recording medium via a pair of these magnetic cores.