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41. 发明专利

JP3599880B2 Cantilever chip 失效
公开(公告)号：JP3599880B2
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：JP5479996
申请日：1996-03-12
申请人：オリンパス株式会社
发明人：克宏松山
IPC分类号： G01B21/30 , G01N37/00 , G01Q20/04 , G01Q60/16 , G01Q60/38 , G01Q70/16 , H01J37/28 , G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10 , Y10S977/873

42. 发明专利

JP3524326B2 Method of manufacturing a female mold substrate and the female-type substrate used for manufacturing of micro-hour hand and minute hour hand and the manufacturing method of the probe with the female substrate 失效
公开(公告)号：JP3524326B2
公开(公告)日：2004-05-10
申请号：JP13288297
申请日：1997-05-07
申请人：キヤノン株式会社
发明人：隆行八木 , 康弘島田 , 勉池田
IPC分类号： G01N37/00 , B29C33/38 , G01Q60/16 , G01Q60/38 , G01N13/16 , G01N13/12 , G12B21/04 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q70/16 , Y10S977/875
摘要： A female mold substrate used for the production of a microprobe tip or probe detecting a tunneling current or weak force includes a substrate provided with a recess section and a heat-flowable layer having flowability by heat treatment formed on the substrate and covering the recess. The female mold substrate is made by forming a recess section on the top surface of a substrate and forming a heat-flowable layer on the top surface of the substrate including the recess section. A microprobe tip detecting a tunneling current or weak force is made by forming a tip material layer on the female mold substrate and transferring the tip of material layer onto another substrate.

43. 发明专利

JP2003329567A Method of producing spm sensor 有权
标题翻译：生产SPM传感器的方法
公开(公告)号：JP2003329567A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：JP2003077605
申请日：2003-03-20
申请人： Nanoworld Ag , ナノワールドアーゲー
发明人： LUTTER STEFAN
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01N13/16 , G01N13/12
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of producing an SPM sensor being composed of a holding section 4, a cantilever 18 and a sensor tip 21 so that the sensor tip 21 projects from the surface of the cantilever 18 and is defined its boundary by three facets. SOLUTION: In the producing method, a silicon wafer 1 with the crystal orientation (100) is used as a starting material, and a process of forming a pattern is chiefly carried out on the back of the wafer 1, and a process of single batch run is carried out by chiefly using a wet chemical etching process, and thereby producing the SPM sensor 22 at a low cost. COPYRIGHT: (C)2004,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供一种由保持部分4，悬臂18和传感器末端21组成的SPM传感器的方法，以便传感器尖端21从悬臂18的表面伸出并被限定其边界由三个方面。解决方案：在制造方法中，使用具有晶体取向（100）的硅晶片1作为起始材料，并且主要在晶片1的背面进行形成图案的工艺，以及工艺通过主要使用湿化学蚀刻工艺进行单批次运行，从而以低成本生产SPM传感器22。版权所有（C）2004，JPO

44. 发明专利

JP5849049B2 走査型プローブ用の金属探針およびその製造方法有权
标题翻译：金属探针和用于扫描探针及其制造方法
公开(公告)号：JP5849049B2
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：JP2012523249
申请日：2010-08-02
申请人：スペックスサーフェスナノアナリシスゲーエムベーハー
发明人：レーグスガールド, エリク
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10
CPC分类号： G01Q70/10 , B82Y35/00 , G01Q10/045 , G01Q10/06 , G01Q70/16

46. 发明专利

JP2011523047A Piezoresistors height detection cantilever 审中-公开
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2011523047A
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：JP2011509676
申请日：2009-05-13
申请人：ナノインクインコーポレーティッド
发明人：レイモンドロジャーシール , ジョセフエス．フラガーラ , アルバートケイ．ヘニング
IPC分类号： G01Q20/04 , G01Q60/38 , G01Q80/00
CPC分类号： G03F7/0002 , G01Q20/04 , G01Q40/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01Q80/00
摘要：カンチレバーが窒化ケイ素または炭化ケイ素を含み、かつピエゾ抵抗器がドープ（doped）ケイ素を含む、少なくとも一つの該ピエゾ抵抗器を備える少なくとも一つの該カンチレバーを備える装置が記載される。そのような装置を製造および使用するための方法も提供される。
摘要翻译：公开了一种用于扫描探针外延的双尖端探针和形成双尖端探针的方法。双尖头探针包括设置在悬臂上的第一和第二尖端。第一和第二提示可以分别是读取器尖端和合成尖端。第一尖端可以在书写期间保持与基底接触，并且提供衬底和/或结构的原位表征，而第二尖端可以以非接触模式执行以写入和合成纳米结构。该功能可以允许双尖端探针使用第一个尖端检测印刷图案中的错误，并使用第二个尖端校正错误。

47. 发明专利

JP2011511270A Method for fabricating a three-dimensional nanostructure having a nanosubstructure structure, and an insulating pyramid having a metallic tip can be obtained by this method, a pyramid having nano openings, and, pyramid having a horizontal and / or vertical nanowires 有权
公开(公告)号：JP2011511270A
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：JP2010541027
申请日：2008-12-22
申请人：ユニフェルジテイト・トウェンテ
发明人：タス，ニールス・ルーロフ , ベレンスコット，ヨハン・ウィレム
IPC分类号： G01Q70/16 , B82B1/00 , B82B3/00 , G01Q70/10
CPC分类号： B81C1/00111 , B33Y10/00 , B33Y80/00 , B81C2201/034 , B82Y35/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , Y10T428/2913 , Y10T428/2982
摘要：本発明は、ナノサブ構造を有する３次元ナノ構造を製作するための方法に関し、この方法は、ｉ）少なくとも１つの鋭い凹形コーナーを有する金型を提供するステップと、ｉｉ）少なくとも１つの構造材料を鋭い凹形コーナーに共形的に成膜するステップと、ｉｉｉ）構造材料を等方的に除去するステップと、ｉｖ）少なくとも１つのさらなる構造材料を成膜するステップと、ｖ）以前に成膜された構造材料を除去するステップと、ｖｉ）ナノサブ構造を形成するステップと、ｖｉｉ）金型を除去し、ナノサブ構造を有する３次元ナノ構造を提供するステップとを備える。
【選択図】図１

48. 发明专利

JP4660726B2 Method of manufacturing a cantilever and cantilever 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4660726B2
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：JP2006072673
申请日：2006-03-16
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：亜三子二瓶 , 明井上 , 裕二山本 , 宏村松 , 修松澤 , 直哉渡邉 , 喜春白川部 , 雅次繁野
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/00
CPC分类号： G01R1/06738 , B33Y80/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01R1/06727 , G01R1/07342 , G01R3/00 , Y10T29/49007

49. 发明专利

JP2010517055A Probe that enables video rate for atomic force microscopy 有权
公开(公告)号：JP2010517055A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：JP2009548316
申请日：2008-01-31
申请人：チャンフンリー
发明人：チャンフンリー
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/00 , G01Q70/08 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q70/10 , G01N23/00 , G01Q60/38 , G01Q70/14 , G01Q70/16
摘要：高速AFMイメージングを対象とした高い共振周波数および低バネ定数を備える、窒化シリコンカンチレバーおよび一体化された四面体の単結晶シリコン先端を備える原子間力顕微鏡法用のプローブを製造する方法。

50. 发明专利

JP2009300440A Cost-effective method for manufacturing diamond tip for ultrahigh-resolution electrical measuring, and device obtained by it 有权
标题翻译：用于制造用于超分辨率电气测量的金刚石触头的成本有效的方法以及由其获得的装置
公开(公告)号：JP2009300440A
公开(公告)日：2009-12-24
申请号：JP2009140201
申请日：2009-06-11
申请人： Imec , アイメックImec
发明人： HANTSCHEL THOMAS , VANDERVORST WILFRIED , ARSTILA KAI
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/38
CPC分类号： G01Q60/40 , G01Q60/30 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G01Q70/16
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an atomic force microscope probe structure which is cost-effectively manufactured to achieve ultrahigh resolution and high yield. SOLUTION: This atomic force microscope (AFM) probe structure includes a cantilever (8) and a planar type tip (19) mounted on the cantilever (8) extending along its longitudinal direction (x). The planar type tip (19) includes at least one corner on a position far from the cantilever (8), this corner (8) is a two-dimensional shape so as to contact scanning surface (18) when used. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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