专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP5642850B2 多孔性高分子膜の製造方法有权
标题翻译：一种生产多孔聚合物膜的方法
公开(公告)号：JP5642850B2
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：JP2013151540
申请日：2013-07-22
申请人：公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
发明人：秀樹益田 , 秀樹益田 , 崇柳下 , 崇柳下 , 和之西尾 , 和之西尾
IPC分类号： B29C59/02 , C08J9/00
CPC分类号： B81C99/0085 , B01D67/0065 , B01D71/025 , B01D2325/021 , B81C2201/034 , C25D11/045

2. 发明专利

JP5623763B2 電鋳用の型および電鋳用の型を製造する方法有权
标题翻译：制造模具和模具电铸为电铸的方法
公开(公告)号：JP5623763B2
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：JP2010057497
申请日：2010-03-15
IPC分类号： C25D1/00 , C25D1/10
CPC分类号： C25D1/10 , B29C33/3842 , B81C99/009 , B81C2201/034

6. 发明专利

JP2008503364A Supported, and imprint method of independent 3-D micro- or nanostructures 有权
公开(公告)号：JP2008503364A
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：JP2007514999
申请日：2005-05-24
申请人：エージェンシーフォーサイエンス,テクノロジーアンドリサーチ , ザ・リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミシガンThe Regents Of The University Of Michigan
发明人：アルバート・エフ・イェー , イェン・ペン・コン , ステラ・ダブリュー・パン , ホン・イェー・ロウ
IPC分类号： B29C59/04 , B28B11/08 , B29C59/02 , B29C69/02 , B81C1/00 , B81C99/00 , B82B1/00 , B82B3/00 , G02B1/10 , G03C5/00 , G03F7/00
CPC分类号： A61M25/00 , B27N3/08 , B28B3/06 , B81C99/0085 , B81C2201/034 , B81C2203/032 , B81C2203/038 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , Y10T428/24479 , Y10T428/254
摘要：本発明は、マイクロおよびナノスケールのインプリント方法、ならびにポリマ、セラミックおよび／または金属材料からなる支持されたおよび／または独立した３Ｄマイクロおよび／またはナノ構造体を作製するための上記方法の使用に関する。いくつかの実施形態において、これらの構造物を作製する際に、二重モールドアプローチが採用されている。この方法において、表面処理を用いて、異なるモールドおよび／またはモールドの異なる部分に、異なる界面エネルギを与えている。このように表面処理することにより、構造体をインプリントし、基板に移転させて、３次元（３Ｄ）構造体を形成することができる。いくつかの実施形態において、表面処理および用いられるポリマのガラス転移温度の差異により、独立したマイクロおよび／またはナノ構造体をフィルム状および／または個別に形成するために、３Ｄ構造体をモールドから分離しやすくすることができる。

7. 发明专利

JP2004525357A Accelerometer, which is protected by a cap which is provided at the wafer scale 审中-公开
公开(公告)号：JP2004525357A
公开(公告)日：2004-08-19
申请号：JP2002556235
申请日：2002-01-08
申请人：シルバーブルックリサーチピーティワイリミテッド
发明人：カイアシルバーブルック，
IPC分类号： B29C35/08 , B29C43/36 , B81B7/00 , B81C1/00 , G01P1/02 , G01P15/08 , H01L23/02 , H01L23/08 , H01L23/16 , H01L23/31
CPC分类号： H01L23/315 , B29C33/0022 , B29C43/36 , B29C2035/0822 , B29C2043/503 , B81B2201/0235 , B81B2207/056 , B81C1/00269 , B81C1/00333 , B81C1/00904 , B81C2201/034 , B81C2203/0127 , G01P1/023 , G01P15/0802 , H01L23/16 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2924/10253 , H01L2924/15747 , H01L2924/181 , H01L2924/3011 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
摘要： The present invention relates to a method for forming a protective cap for a device. Typically, the device would be formed on a silicon wafer and is, for example, a MEMS device. The method involves the steps of locating thermosplastic material between a first wafer including a first recess and a second wafer including two second recesses. The first and second wafers are positioned relative to one another so that the first recess is in register with the two second recesses and the thermoplastic material is heated. The first and second wafers are pressed together so that heated thermosplastic material enters the first and second recesses and thereby forms the cap. A method for forming a plurality of protective caps for devices is also provided.

8. 发明专利

JP2002370199A Miniature gear and manufacturing method therefor 审中-公开
标题翻译：微型齿轮及其制造方法
公开(公告)号：JP2002370199A
公开(公告)日：2002-12-24
申请号：JP2001217353
申请日：2001-06-13
申请人： Takashi Nishi , 孝西
发明人： NISHI TAKASHI
IPC分类号： G03F7/004 , B81B5/00 , B81C1/00 , F16H49/00 , F16H55/17 , G03F7/095
CPC分类号： B81C99/0085 , B81B2201/035 , B81C2201/034
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micron-sized and submicron-sized gear incorporated into a micro-machine.
SOLUTION: A gear having a projecting tooth on a peripheral surface, or a gear having a magnetic tooth on a peripheral surface, or a gear having a static electricity gear on a peripheral surface, and its manufacturing method form a gear such as a worm gear, a spur gear, and a bevel gear by applying the said either tooth, and a complicated-shaped gear by using a thin film forming technology such as deposition, sputtering, a plating technology, CVD, and an oxidation processing, and a fine processing technology such as photolithography and etching for collectively forming the tooth and the gear in the same process, and are characterized by particularly using an exposure quantity control exposure method and a transfer etching method.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO
摘要翻译：要解决的问题：提供结合到微型机器中的微米尺寸和亚微米尺寸的齿轮。解决方案：在外周表面具有突出齿的齿轮，或在外周表面具有磁齿的齿轮，或在外周表面具有静电齿轮的齿轮，其制造方法形成齿轮，例如蜗轮，正齿轮和锥齿轮，通过使用诸如沉积，溅射，电镀技术，CVD和氧化处理的薄膜形成技术施加所述两个齿和复杂形状的齿轮，以及精细加工特别是使用曝光量控制曝光方法和转印蚀刻方法，其特征在于，在相同的工艺中共同地形成齿和齿轮的光刻技术和蚀刻技术。

9. 发明专利

JP2014205237A ＭＥＭＳ製造のためのエアロゲルベースの型およびその形成方法审中-公开
标题翻译：用于MEMS制造的基于AIRGEL的模具及其形成方法
公开(公告)号：JP2014205237A
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：JP2014126143
申请日：2014-06-19
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド , Honeywell Internatl Inc
发明人： CARLSON ROBERT J
IPC分类号： B81C1/00 , B81C99/00
CPC分类号： B29C33/3842 , B29C41/00 , B29C59/14 , B29C59/16 , B29K2909/00 , B29K2995/0037 , B81B7/00 , B81B2201/05 , B81B2201/058 , B81B2203/0127 , B81C99/009 , B81C2201/0132 , B81C2201/0143 , B81C2201/034 , C23F1/02 , H01L21/30604 , H05K999/00 , Y10T428/24496
摘要：【課題】微小電気機械システム(MEMS)においてパターン形成された材料層を形成するために必要とされる時間を削減する。【解決手段】基板30上のエアロゲルベース層31にパターン形成する。エアロゲルベース層は、微小電気機械特徴の少なくとも一部の型として機能する。エアロゲルベース層に形成された微小電気機械特徴の少なくとも一部の外形上に、重い材料層34を直接堆積し、重い材料の層を残すように基板からエアロゲルベース層を取り除くことで微小電気機械構造を形成する。エアロゲルの密度は、ポリシリコン、酸化シリコン、単結晶シリコン、金属、合金等のMEMS製造に用いられる典型的な材料よりも小さい。それゆえ、重い材料で構造的特徴を形成する場合の速度よりも、エアロゲルベース層で構造的特徴を有意に高い速度で形成することができる。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：减少在微机电系统（MEMS）中形成图案化材料层所需的时间。解决方案：将气凝胶基层31沉积到基底30上。气凝胶基层至少用作模具部分微机电特征。致密材料层34直接沉积在已经形成在气凝胶基层中的微机电特征的至少一部分的轮廓上，并且气相凝胶基材料从基底去除以留下致密材料层，从而制造微机电结构。气凝胶的密度小于MEMS制造中使用的典型材料的密度，例如多晶硅，氧化硅，单晶硅，金属，金属合金等。因此，气凝胶层中的结构特征可以以比在更致密的材料中形成结构特征的速率显着更高的速率形成。

10. 发明专利

JP2014144529A Forming of micro fluid array 审中-公开
标题翻译：微流体阵列的形成
公开(公告)号：JP2014144529A
公开(公告)日：2014-08-14
申请号：JP2013267160
申请日：2013-12-25
申请人： Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives , コミサリアアレネルジィアトミークエオゼネルジイアルテアナティーフCommissariat A L’Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives
发明人： RAPHAEL RENAUDOT , VINCENT AGACHE , YVES FOUILLET
IPC分类号： B81C1/00 , B01J19/00 , C09J4/00 , C09J163/00 , C09J183/04 , G01N37/00
CPC分类号： C25D1/12 , B81C99/009 , B81C2201/034
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for efficiently manufacturing a micro fluid channel having a semicircular cross-section by a program-controllable and reconfigurable method.SOLUTION: There is provided a method for forming a micro fluid array which comprises at least one channel of a semicircular cross-section, which includes: a step of allowing first liquid to contact an array of electrodes of a micro fluid chip 1 provided with at least one pair of electrodes 3a, 3b, which are arranged on a substrate, substantially parallel and on the same plane; a step of activating the first liquid by liquid dielectrophoresis (LDEP), and driving the electrode array so as to form a fluid structure including at least one fluid finger; and a step of using the fluid structure as a mold, and forming the micro fluid array by solidification or curing of second liquid (11) accumulated on the micro fluid chip while the liquid is tightly fitted to the shape of the fluid structure.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种通过程序可控和可重新配置的方法有效地制造具有半圆形横截面的微流体通道的方法。解决方案：提供了一种用于形成微流体阵列的方法，该方法包括至少一个通道其包括：允许第一液体接触设置有至少一对电极3a，3b的微流体芯片1的电极阵列的步骤，所述至少一对电极3a，3b布置在基板上，基本上平行，在同一架飞机上通过液体介电电泳（LDEP）激活第一液体的步骤，以及驱动电极阵列以形成包括至少一个流体手指的流体结构; 以及使用流体结构作为模具的步骤，以及当液体紧密地配合到流体结构的形状时，通过使积聚在微流体芯片上的第二液体（11）的固化或固化来形成微流体阵列。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式