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1. 发明专利

JP2021189061A 顕微鏡システム及びこの顕微鏡システムを用いた試料の観察方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021189061A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020095546
申请日：2020-06-01
申请人：株式会社日立ハイテクサイエンス
发明人：小野田有吾 , 山本浩令 , 相蘇亨 , 汪子涵 , 佐藤栄広
IPC分类号： G01Q20/02 , G01Q30/02 , G01Q20/04 , G01B21/00 , G02B21/00 , G01Q10/02
摘要：【課題】カンチレバーが試料に衝突するようなトラブルを抑制する。【解決手段】顕微鏡システム100は、カンチレバー43を有するプローブユニット40と、カメラ15と、試料Sに対するカメラの位置を調整するため、当該カメラを駆動するカメラ位置微調整機構17と、カメラ15の焦点が、カンチレバー43の背面または試料Sの表面に合うように、カメラ位置微調整機構17を制御してカメラ15を動かすコンピュータ30と、を備える。コンピュータ30は、カメラ15の位置をカメラ15の焦点がカンチレバー43の背面に合致している位置から、試料Sの表面に合致する位置まで動かしたカメラ15の移動距離Δz’に基づき、カンチレバー43から試料Sの表面までの距離Δzを算出する。【選択図】図6

2. 发明专利

JP2015021746A 自己検知型カンチレバーを用いた走査型探針顕微鏡式プローバ有权
标题翻译：使用自检型CANILEVER扫描探头微型显示器
公开(公告)号：JP2015021746A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：JP2013147752
申请日：2013-07-16
申请人： Wafer Integration株式会社 , Wafer Integration株式会社 , Wafer Integration Inc
发明人： SHIODA TAKASHI , AMANO YOSHIYUKI
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q20/04 , G01Q60/40 , G01R31/28 , H01L21/66
CPC分类号： G01Q60/38 , G01Q20/04 , G01Q60/30 , G01Q70/06 , G01R19/00
摘要：【課題】被測定物の微細領域での測定は、走査型探針顕微鏡画像を作成し、その画像で探針を微細領域へコンタクトさせて行うが、pA以下の微小電流の測定のため、カンチレバーの変形を検出するセンサー回路をガード電極に流用する。【解決手段】自己検知型カンチレバーを用い、探針に電流を供給する第1配線と、カンチレバーの変形を検出するセンサー回路用の第2配線について、第2配線を第1配線のガード配線として用いるためのガード電位発生手段と、第2配線を、センサーとして使用する第1期間と、ガード電位に保つ第2期間と、を含む時分割で切換える第2配線切換え手段と、を備える。さらに、第1期間で2次元分布を得た後、第2期間に前記2次元分布基づく所定の位置に上記探針を移動し、第1配線の電流あるいは電圧を測定する。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：为了解决通过产生扫描探针显微镜图像并使探针与该图像与精细区域接触来进行被测量物体的微小区域中的测量的问题，而测量是针对精细电流为pA以下，因此用于检测悬臂变形的传感器电路被转移到保护电极。解决方案：使用自检型悬臂的扫描探针显微镜型探测器包括：第一布线，用于馈送使用自检型悬臂的电流; 保护电位产生装置，用于使用第二布线作为用于检测悬臂变形的传感器电路的第二布线的第一布线的保护布线; 以及第二布线开关装置，用于通过使用第二布线作为传感器的第一周期与用于将第二布线保持为保护电位的第二周期之间的时间共享进行切换。在第一时间段中获得二维分布之后，基于二维分布在第二时段中将证明移动到预定位置，并且测量第一布线的电流或电压。

3. 发明专利

JP5649138B2 表面応力センサ有权
标题翻译：表面应力传感器
公开(公告)号：JP5649138B2
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：JP2012517210
申请日：2011-05-09
申请人：独立行政法人物質・材料研究機構
发明人：元起吉川 , 元起吉川 , ローラーハインリッヒ , ローラーハインリッヒ , 照伸秋山 , 照伸秋山 , フェッティガーピーター , フェッティガーピーター
IPC分类号： G01L1/18 , G01N19/00 , G01Q20/04
CPC分类号： G01L1/18 , G01N29/022 , G01N2291/02466

4. 发明专利

JP5164743B2 Cantilever, the cantilever system and probe microscope as well as the adsorbed mass sensor 有权
公开(公告)号：JP5164743B2
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：JP2008218863
申请日：2008-08-27
申请人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人：雅次繁野
IPC分类号： G01Q20/04
CPC分类号： G01Q20/04

5. 发明专利

JP5148302B2 Micro-processing equipment for the probe and micro-processing equipment 有权
公开(公告)号：JP5148302B2
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：JP2008012628
申请日：2008-01-23
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：尚範濱尾 , 寛高橋
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , G01Q20/04 , G01Q80/00 , G03F1/72 , H01L21/027

7. 发明专利

JP2012519299A Scanning probe microscope without interference or geometric constraints on single or multiple probe operation in the atmosphere or in a liquid 审中-公开
公开(公告)号：JP2012519299A
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：JP2011552991
申请日：2010-02-25
申请人：ナノニクス・イメージング・リミテッドNanonics Imaging, Ltd.
发明人：アーロン・ルイス , アナトリー・コミッサル , オレグ・フェドシェイェフ , ガリーナ・フィッシュ , ソフィア・ココトフ , デイビッド・ルイス , ミカエル・ココトフ , リマ・デクテル
IPC分类号： G01Q30/12 , G01Q20/04 , G01Q30/02
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q20/04 , G01Q30/025 , G01Q30/14 , G01Q70/06
摘要： A method and a device permit scanned probe microscopes with a non-optical feedback mechanism (1.2), such as a tuning fork, to be used in air or in liquid. The embodiments of the invention require geometric construction of the scanning device that can incorporate the non-optical feedback mechanism in a way that does not obstruct geometrically essentially any lens (1.3) from above or below and permits free access to the probe that is interacting with the sample. In one such embodiment, a scanner (1.1) in x, y and z can move the probe with a structure in which either the non-optical feedback mechanism is in the liquid or in the air and can use either a cantilevered or straight probe. The system can also be constructed with multiple independent scanned probe microscopy probes that can work in liquid and/or in air.

8. 发明专利

JP4931708B2 Microscope probe and a scanning probe microscope 有权
公开(公告)号：JP4931708B2
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：JP2007168471
申请日：2007-06-27
申请人：セイコーインスツル株式会社
发明人：尚範濱尾 , 寛高橋
IPC分类号： G01Q60/40 , G01Q20/04 , G01Q60/30 , G01Q60/38 , G01Q60/58

9. 发明专利

JP2012042286A High dynamic range probe 有权
标题翻译：高动态范围探测器
公开(公告)号：JP2012042286A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：JP2010182561
申请日：2010-08-17
申请人： Mitsutoyo Corp , 株式会社ミツトヨ
发明人： TOMINAGA ATSUSHI
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q20/04 , G01Q70/10
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To implement a probe capable of evaluating a material surface state with high precision and high dynamic range in a mesoscopic area.SOLUTION: The present invention relates to a high dynamic range probe in which a plurality of cantilevers 20, 30, 40 of different resonant frequencies with which chips 22, 32, 42 are formed downwardly in a beam distal end part and a beam proximal end part is supported through support members 12, 14, 16 to a lower surface of a base plate 10, are sequentially disposed from the first cantilever 20 of a bottom resonant frequency to the final cantilever 40 of a peak resonant frequency so as to match the chip distal end onto the same straight line C. The apparatus includes: displacement detecting means 24, 26 and the like for detecting the vertical displacement of each cantilever; and offset setting means 38, 48 for setting, for each cantilever after the second cantilever, a vertical offset on the basis of a measurement result by the cantilever of a resonant frequency lower than that of the cantilever.
摘要翻译：要解决的问题：实现能够在介观区域中以高精度和高动态范围评价材料表面状态的探针。解决方案：本发明涉及一种高动态范围探头，其中具有不同谐振频率的多个悬臂20,30,40，其中芯片22,32,42在梁远端部分向下形成，并且梁从底部共振频率的第一悬臂20顺序地将基端部支撑到基板10的下表面的支撑构件12,14,16支撑到峰值谐振频率的最终悬臂40，以便匹配该芯片的远端位于相同的直线C上。该装置包括：用于检测每个悬臂的垂直位移的位移检测装置24,26等; 以及偏移设定装置38,48，用于基于通过悬臂的悬臂的悬臂的低于悬臂的共振频率的测量结果，为第二悬臂之后的每个悬臂设置垂直偏移。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JPWO2009118887A1 走査型顕微鏡有权
公开(公告)号：JPWO2009118887A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：JP2009529440
申请日：2008-03-28
申请人：エンパイアテクノロジーディベロップメントエルエルシー , エンパイアテクノロジーディベロップメントエルエルシー
发明人：アダルシュサンドゥー , アダルシュサンドゥー
IPC分类号： G01Q60/50 , G01Q20/04 , G01Q60/54
CPC分类号： G01R33/12 , B82Y25/00 , B82Y35/00 , G01Q60/54
摘要：導電性材ばかりではなく非導電性材料に対する広い温度範囲での磁気測定を極めて簡便な構成で実現でき、高性能かつ信頼性に優れる磁気センサー及びそれを用いた走査型顕微鏡を提供することを目的とする。本発明による走査型顕微鏡は、片持ち梁状の可撓性部材の自由端部に磁気検知素子が設けられ、かつ、その可撓性部材上に歪みゲージが被着された磁気センサーと、可撓性部材又は測定試料を駆動する駆動手段と、歪みゲージからの出力信号に基づいて駆動手段の駆動を制御する制御手段を備える。

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