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1. 发明专利

JP5552654B2 Sharpened needles diamond, and a scanning probe microscope cantilevers, photomask corrected probe using the same, an electron beam source 有权
公开(公告)号：JP5552654B2
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：JP2009179208
申请日：2009-07-31
申请人：並木精密宝石株式会社 , Agdマテリアル株式会社
发明人：浩司小山 , 厚仁澤邊 , 豊安藤
IPC分类号： C30B29/62 , C01B31/06 , C30B29/04 , H01J37/28
CPC分类号： H01J9/025 , C01B32/25 , G01Q70/14 , G01Q70/16 , H01J1/3044

2. 发明专利

JP2012233845A Cantilever for a magnetic force microscope and manufacturing method of the same 有权
标题翻译：磁力显微镜及其制造方法的CANTILEVER
公开(公告)号：JP2012233845A
公开(公告)日：2012-11-29
申请号：JP2011104151
申请日：2011-05-09
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： CHANG KE-BONG , HIROSE TAKESHI , WATANABE MASAHIRO , MATSUI TETSUYA , NAKAGOME TSUNEO , TOKUTOMI TERUAKI
IPC分类号： G01Q60/54 , G01Q60/56 , G01Q70/12
CPC分类号： G01Q60/36 , G01Q60/42 , G01Q60/54 , G01Q60/56 , G01Q70/12 , G01Q70/14 , G01Q70/16
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a durable cantilever for a magnetic force microscope by depositing a protection film on a probe on which a magnetic film is added.SOLUTION: In the manufacturing method of a magnetic force microscope, a magnetic film 2 is deposited on the probe 401 at a tip end of the cantilever 1 of the magnetic force microscope. When depositing a non-magnetic hard protection film 3 at the periphery of the probe 401, the non-magnetic hard protection film 3 is deposited from two directions of an angle between (15° to -45°) from a front side of the probe 401 of the cantilever 1 of the magnetic force microscope, and an angle between (15° to -30°) from a rear side of the probe 401 of the cantilever 1 of the magnetic force microscope.
摘要翻译：要解决的问题：通过在添加有磁性膜的探针上沉积保护膜来制造用于磁力显微镜的耐用悬臂。解决方案：在磁力显微镜的制造方法中，磁性膜2沉积在磁力显微镜的悬臂1的前端的探针401上。当在探针401的周围沉积非磁性硬保护膜3时，非磁性硬保护膜3从探头的前侧（15°至-45°）之间的角度的两个方向沉积磁力显微镜的悬臂1的401，以及来自磁力显微镜的悬臂1的探针401的后侧的（15°〜-30°）之间的角度。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2007248289A Cantilever and method for manufacturing same 有权
标题翻译： CANTILEVER及其制造方法
公开(公告)号：JP2007248289A
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：JP2006072673
申请日：2006-03-16
申请人： Seiko Instruments Inc , セイコーインスツル株式会社
发明人： SHIGENO MASAJI , MATSUZAWA OSAMU , WATANABE NAOYA , NIHEI AMIKO , INOUE AKIRA , SHIRAKAWABE YOSHIHARU , MURAMATSU HIROSHI , YAMAMOTO YUJI
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/00
CPC分类号： G01R1/06738 , B33Y80/00 , G01Q70/10 , G01Q70/16 , G01R1/06727 , G01R1/07342 , G01R3/00 , Y10T29/49007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a probe section to be attached using no adhesive for a short time without any effort, enable even a minute probe section to be attached which is difficult to be observed by an optical microscope, and enable a modification to be carried out without being restricted by any material in order to improve the degree of freedom in design. SOLUTION: A cantilever 1 is equipped with: a lever section 2 with spring characteristics which extends from the proximal end side to the distal end side along one direction and has a plane opposite to a sample; a holder section 3 for supporting the proximal end side of the lever section; the probe section 4 which can contact with the sample under the state of being disposed at the distal end of the lever section and has an opposing surface 4a being opposite to at least the sample side and being made up in a spherical form having a predetermined radius; and a holding section 5 for holding the probe section in such the state that the opposing surface is exposed. The holding section has a contact surface in its inner surface for contacting with the outer surface of the probe section in such the state that the holding section is arranged on a position surrounding the perimeter of the probe section, and the probe section is held by a chemical bonding force interacting directly between the contact surface and the outer surface. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了使得探针部分在没有任何努力的情况下在短时间内不使用粘合剂附着，甚至能够安装由光学显微镜难以观察到的微小的探针部分，并且能够进行修改而不受任何材料的限制，以提高设计自由度。解决方案：悬臂1装备有：具有弹簧特性的杠杆部分2，其沿着一个方向从近端侧延伸到远端侧并且具有与样本相对的平面; 用于支撑杆部的近端侧的保持部3; 探针部分4，其可以在设置在杆部分的远端处的状态下与样品接触并且具有与至少样品侧相对的相对表面4a，并且具有预定半径的球形 ; 以及用于将探针部保持在相对面露出的状态的保持部5。保持部在其内表面具有与探针部的外表面接触的接触表面，使得保持部布置在围绕探头部的周边的位置的状态，并且探针部被保持在化学结合力直接在接触表面和外表面之间相互作用。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2007052911A Method of fabricating resistive probe having self-aligned metal shield 有权
标题翻译：制备具有自对准金属屏蔽的电阻式探针的方法
公开(公告)号：JP2007052911A
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：JP2006222691
申请日：2006-08-17
申请人： Samsung Electronics Co Ltd , 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd.
发明人： PARK HONG-SIK , JUNG JU-HWAN , KO HYOUNG-SOO , HONG SEUNG-BUM
IPC分类号： G11B9/14 , B81C1/00
CPC分类号： G11B9/1418 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G01Q70/16 , G01Q80/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of fabricating a resistive probe having a self-aligned metal shield. SOLUTION: The method includes sequentially forming a first insulating layer, a metal shield, and a second insulating layer on a resistive chip of a substrate; etching the second insulating layer to expose the metal shield on a resistive region; etching the exposed metal shield; and etching the first insulating layer to expose the resistive region. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种制造具有自对准金属屏蔽的电阻式探针的方法。解决方案：该方法包括在衬底的电阻芯片上顺序形成第一绝缘层，金属屏蔽层和第二绝缘层; 蚀刻第二绝缘层以在电阻区域上暴露金属屏蔽; 蚀刻暴露的金属屏蔽; 并蚀刻第一绝缘层以暴露电阻区域。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JPWO2005020243A1 走査型プローブ顕微鏡のプローブおよびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2005020243A1
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：JP2005513248
申请日：2004-07-12
申请人：独立行政法人科学技術振興機構
发明人：小林　大 , 大小林 , 川勝　英樹 , 英樹川勝
IPC分类号： G01Q70/08 , G01Q70/10 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10
摘要：カンチレバーの基部が測定対象物に接触することがなく、かつ測定対象物がカンチレバーの基部によって隠されることがなく、的確な測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡のプローブおよびその製造方法を提供する。走査型プローブ顕微鏡のプローブの基部(21,31)と、この基部(21,31)から水平方向に伸びた支持用カンチレバー(23,33)と、この支持用カンチレバー(23,33)の先端に長さ20マイクロメートル以下で、厚さ1マイクロメートル以下の測定用カンチレバー(24,34)が設置されるようにする。

6. 发明专利

JP2005535137A Component parts produced by the method and such a method for making at least one small opening in a layer on the substrate 审中-公开
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2005535137A
公开(公告)日：2005-11-17
申请号：JP2004526631
申请日：2003-08-04
申请人：ユニバーシタットカッセル
发明人：オステルシュルツエグバート , ゲオルギエフゲオルギ , カッシングレイナー
IPC分类号： H01L21/3065 , B81B1/00 , B81C1/00 , G01Q40/02 , G01Q60/18 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q70/16 , B81B2201/047 , B81C1/00087 , B81C2201/0132 , G01Q40/02 , G01Q60/22 , Y10T428/24273 , Y10T428/24479
摘要：基板（１）、特に半導体基板上の層に少なくとも１つの小開口（１０）を作るための方法が開示されている。基板（１）は、先端部（４）と側壁（５）をもつ少なくとも１つのテーパ状くぼみ（６）がその上面側に設けられ、基板（１）の上面側（２）は、少なくともくぼみ（６）の領域において、エッチング可能材料でなる層（７）で被覆されている。本発明によれば、開口（１０）は、層（７）の材料に適合した異方性プラズマエッチング法によって層（７）を選択的に開口することによって上面側（２）から作られ、材料、エッチングガスおよびエッチングパラメータは、その先端部（９）が基板（１）の先端部（４）上に置かれている層（７）の先端部（９）の領域においては、基板（１）の側壁（５）上に置かれている層（７）の側壁（８）の領域におけるよりも大きなエッチングレートが得られるように選択されている。さらに、較正標準、屈曲ビームおよび本方法に従って製造される他のコンポーネントパーツが開示されている。
摘要翻译：该方法在施加到半导体衬底（1）上的层（7）中形成有至少一个开口（10），所述开口（10）通过在施加衬底之前在衬底的表面（2）中设置V形凹部（6）以可蚀刻的材料层进行各向异性等离子体蚀刻，以比凹槽的蚀刻速率更高的蚀刻速率从V形凹部的基底（9）去除材料。还包括以下独立权利要求：（a）扫描显微镜的校准标准; （b）具有弯曲梁的微机械传感器; （c）用于信号的电/光传输的部件

7. 发明专利

JP5889510B2 原子間力顕微鏡プローブ構成の製造方法有权
标题翻译：原子力显微镜探针结构的制造方法的
公开(公告)号：JP5889510B2
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：JP2009140201
申请日：2009-06-11
申请人：アイメック , IMEC
发明人：トーマス・ハンチェル , ウィルフリート・ファンデルフォルスト , カイ・アルスティラ
IPC分类号： G01Q10/00
CPC分类号： G01Q60/40 , G01Q60/30 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G01Q70/16

8. 发明专利

JP2015526743A 走査型プローブ顕微鏡検査法用の小型カンチレバー・プローブ、及びその製造方法审中-公开
标题翻译：小悬臂探针，用于扫描探针显微镜，以及它们的制造方法
公开(公告)号：JP2015526743A
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：JP2015529931
申请日：2013-08-27
申请人：ブルカーナノインコーポレイテッドBruker Nano,Inc. , ブルカーナノインコーポレイテッドBruker Nano,Inc.
发明人：ワン、ウィジエ , ス、シャンミン
IPC分类号： G01Q70/16
CPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/00 , G01Q70/02 , G01Q70/08 , G01Q70/14 , G01Q70/16 , G01R1/06727
摘要：カンチレバー・プローブは、上基板、下基板、内側層、第1の分離層、及び第2の分離層からなる多層構造から形成されており、第1の分離層は上基板と内側層の間に位置し、第2の分離層は下基板と内側層の間に位置し、第1の分離層及び第2の分離層は、第1の基板及び第2の基板、内側層に対して差別的にエッチング可能である。上基板は、プローブ先端が形成される第1のデバイス層である。内側層は、カンチレバー・アームが形成される第2のデバイス層である。下基板は、ハンドル又はベース部が形成されるハンドル層である。任意の層のパターン形成及びエッチング処理は、分離層により他の層から隔絶される。
摘要翻译：悬臂探针，上基板，下基板，内层，第1分离层，并且选自所述第二分离层，在上基板和内层之间的第一隔离层的多层结构形成位置，并且位于下基板和内层，所述第一隔离层和第二隔离层之间的第二隔离层是歧视性第一基板和第二基板，所述内层它是在蚀刻。上基板是形成第一器件层探针尖端。内层是形成第二器件层悬臂。下基板是处理层手柄或基座部分。图案化和蚀刻该可选层从通过分离层以外的层中分离。

9. 发明专利

JP2014526784A Method for producing a nanotip having a control profile 有权
公开(公告)号：JP2014526784A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：JP2014531053
申请日：2012-09-26
申请人：ナショナルリサーチカウンシルオブカナダ , ザ・ガバナーズ・オブ・ザ・ユニバーシティー・オブ・アルバータ
发明人：ジェイソン・エル・ピッターズ , ラドヴァン・アーバン , ロバート・エー・ウォルコー
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/06 , H01J37/08
CPC分类号： B44C1/227 , B82Y10/00 , B82Y35/00 , G01Q70/16 , H01J2237/2818 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749 , Y10S977/888
摘要：電界アシストエッチングを行うように反応ガスの存在下において電界を印加することで、頂点及び胴部を有する前駆体ナノチップを変更し（原子は、反応ガスとの化学的相互作用によって胴部から優先的に除去される）、ナノチップの製造中における頂点原子の電界蒸発を促進するように電界を変更するために、反応ガスの圧力及び／又はチップ電圧を制御することによって、結果物のナノチップの全体的なプロファイルを制御することによって、ナノチップが製造される。

10. 发明专利

JP4860362B2 Probe design support system, probe design support methods and probe design support program 有权
公开(公告)号：JP4860362B2
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：JP2006166587
申请日：2006-06-15
申请人：国立大学法人東北大学
发明人：捷塚田 , 尚貴渡辺
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q40/00 , G01Q60/38 , G01Q90/00
CPC分类号： G01Q30/04 , G01Q70/16
摘要： A control means (20) arranges virtual atoms in a crystal structure set in a virtual 3-D space, and stores the coordinate of each atom in an atom configuration list storage section (220). The control means (20) specifies an out-of-border virtual atom to be eliminated from the atom configuration list storage section (220) based on a mirror index acquired from a mirror index setting section (211) and boundary conditions dependent on the cutting position of a cut section face acquired from a cutting position setting section (212). The control means (20) counts the number of bonds of each virtual atom located on the surface of a probe after cutting, specifies an unstable virtual atom based on the number of bonds and alters display of the unstable virtual atom.

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