会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 26. 发明专利
    • 寸法計測装置
    • JP2018028461A
    • 2018-02-22
    • JP2016159916
    • 2016-08-17
    • 株式会社IHI
    • 福冨 誠二
    • G01N21/3581G01N21/45G01B11/06
    • 【課題】従来よりも短い寸法を計測する。 【解決手段】TOF法に基づき所定の計測対象物の寸法を計測する寸法計測装置であり、所定の計測用波動を測定対象物に出射する波動出射手段と、計測用波動が測定対象物の第1面で反射して生成される第1の反射波動と計測用波動が測定対象物の第2面で反射して生成される第2の反射波動とを含む対象物波動の波形を対象物波形として検出する計測波形検出手段と、計測用波動が基準反射体の表面で反射して生成される基準反射波動の波形を基準波形として検出する基準波形検出手段と、対象物波形及び基準波形を用いた多変量解析により第1の反射波動に対応する第1の反射波形及び第2の反射波動に対応する第2の反射波形を推定することにより第1の反射波形と第2の反射波形の時間差を取得する時間差取得手段と、第1の反射波形と第2の反射波形の時間差に基づき第1面と第2面の間の寸法を演算する寸法演算手段とを備える。 【選択図】図1