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    • 8. 发明专利
    • 膜厚測定方法および膜厚測定装置
    • 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置
    • JP2015075356A
    • 2015-04-20
    • JP2013210298
    • 2013-10-07
    • 関西ペイント株式会社
    • 森 健二中岡 豊人
    • G01N21/17G01B11/06
    • 【課題】光輝材層を間に挟む複層塗膜の膜厚を高精度で測定可能な方法を提供する。 【解決手段】複層塗膜は基材層とベース塗膜層と光輝材層とクリア層とを順に積層した塗膜であり、ベース塗膜層内の顔料物質により光の多重散乱が生じる。複層塗膜に光源からの光を照射して、複層塗膜内のそれぞれの層または層間の界面からの反射光を含む干渉光の強度を検出して、複数の強度信号の干渉波形を取得し、複層塗膜上の複数箇所において干渉波形の取得を繰り返し実行して、複数の干渉波形を取得し、複数の干渉波形を積算し、積算された干渉波形において、光輝材層とベース塗膜層との界面cに対応するピークの位置51を特定し、積算された干渉波形において、複層塗膜の周囲の空気の層とクリア層との界面aに対応するピークの位置を特定し、これらピーク位置間の間隔から、クリア層の膜厚と光輝材層の膜厚との和に相当する膜厚(CC+アルミBC)を計算する。 【選択図】図6
    • 要解决的问题:提供一种使得能够以高精度测量具有介于其它层之间的发光材料层的多层涂膜的膜厚的方法。解决方案:提供了用于测量膜厚度的膜厚度测量方法 的多层涂膜,其具有依次层叠的基材层,基底涂膜层,发光体层和透明层,并且在基底涂膜中产生由颜料引起的光的多次散射 层。 膜厚测量方法包括:用光源照射多层涂膜,并且在多层涂膜中检测包括来自各层或层间界面的反射光的干涉光的强度,从而获得干涉波形 的多个强度信号; 重复获得多层涂膜上的多个点处的干涉波形,从而获得多个干涉波形; 积分多个干扰波形; 在积分干涉波形中识别与发光材料层和基底涂膜层之间的界面c相对应的峰的位置51; 识别与积层干涉波形中的多层膜层周围的空气层与透明层之间的界面a相对应的峰的位置; 并且使用这些峰位置之间的间隔来计算与透明层的膜厚度和发光体层的膜厚度之和的膜厚度(透明层CC和发光材料(铝)层BC的厚度) 。