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1. 发明授权

EP2765591B1 Sample preparation stage 有权
标题翻译：样品制备架
公开(公告)号：EP2765591B1
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：EP13154537.8
申请日：2013-02-08
申请人： FEI Company
发明人： Persoon, Johannes , Van den Boogaard, Ron , Engelen, Andreas , Schampers, Ruud , Hayles, Michael
IPC分类号： H01J37/20 , G01N1/06 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/20 , G01N2001/2873 , H01J37/3056 , H01J2237/2001 , H01J2237/202 , H01J2237/204 , H01J2237/206 , H01J2237/208 , H01J2237/31745

2. 发明授权

EP2073250B1 Transmission electron microscope 有权
标题翻译：透射型电子显微镜
公开(公告)号：EP2073250B1
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：EP08254110.3
申请日：2008-12-22
申请人： JEOL Ltd.
发明人： Fukushima, Kurio
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/18 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/0451 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/206 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2605 , H01J2237/2614

3. 发明授权

EP2541583B1 ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE HOLDER 有权
标题翻译：电镜，样品架
公开(公告)号：EP2541583B1
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：EP10846469.4
申请日：2010-12-01
申请人： Hitachi High-Technologies Corporation
发明人： YAGUCHI, Toshie , NAGAKUBO, Yasuhira , WATABE, Akira
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/20 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/206 , H01J2237/2065

4. 发明授权

EP2681756B1 MICROTOME UTILIZING A MOVABLE KNIFE IN A RETARDATION FIELD SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND A RETARDATION FIELD SCANNING ELECTRON MICROSCOPE INCLUDING THE SAME 失效
标题翻译：具有移动刀片与此类切片机DELAY和镜头电子显微镜的电子显微镜切片机
公开(公告)号：EP2681756B1
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：EP12712166.3
申请日：2012-03-01
申请人： Gatan, Inc.
发明人： GALLOWAY, Simon, Andrew
IPC分类号： H01J37/20 , G01N1/06
CPC分类号： H01J37/20 , G01N1/06 , H01J2237/206 , H01J2237/226 , H01J2237/24495 , H01J2237/24578 , Y10T83/8748 , Y10T83/8749

5. 发明公开

EP2629079A2 Verfahren und Vorrichtungen zur Präparation mikroskopischer Proben mit Hilfe von gepulstem Licht 有权
标题翻译： Verfahren und Vorrichtungen zurPräparationmikroskopischer Proben mit Hilfe von gepulstem Licht
公开(公告)号：EP2629079A2
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：EP13155360.4
申请日：2013-02-15
申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： Stegmann, Heiko
IPC分类号： G01N1/28
CPC分类号： G01N23/04 , G01N1/286 , G01N1/32 , G01N2001/045 , G01N2001/2886 , H01J37/00 , H01J37/317 , H01J2237/206 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： Verfahren und Vorrichtungen zur Präparation mikroskopischer Proben mittels Lichtpulsen, wobei Volumen abgetragen werden, die größer als 100 µm 3 sind. Das Verfahren umfasst folgende Schritte:
- Inspizieren eines Objekts mittels eines Rasterelektronenmikroskops (REM) oder eines fokussierten Ionenstrahls (FIB), wobei ein Bild des Objekts aufgenommen wird
- Festlegen eines zu untersuchenden Bereichs des Objekts
- Festlegen eines Laser-Bearbeitungsweges anhand des Bilds des Objekts derart, dass eine Probe aus dem Objekt herauspräpariert werden kann.
- Entfernen eines abzutragenden Volumens durch Laserbearbeitung entlang des festgelegten Laser-Bearbeitungswegs
- Inspizieren des Objekts mittels Rasterelektronenmikroskop (REM) oder fokussiertem Ionenstrahl (FIB).
摘要翻译：该方法包括基于对象的图像来确定要处理的对象的路径，使得从对象准备样本。使用扫描电子显微镜（SEM）或聚焦离子束（FIB）测定图像。该路径暴露于激光脉冲以从物体移除体积，其中体积大于100立方微米。用SEM或FIB对物体进行检查（201），在暴露于激光脉冲的过程中物体不被观察。物体从一个处理室转移到另一个处理室。还包括用于通过使用脉冲光制备显微镜样品的方法的独立权利要求。

6. 发明公开

EP2541583A1 ELECTRON MICROSCOPE AND SAMPLE HOLDER 有权
标题翻译： ELEKTRONENMIKROSKOP UND PROBENHALTER
公开(公告)号：EP2541583A1
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：EP10846469.4
申请日：2010-12-01
申请人： Hitachi High-Technologies Corporation
发明人： YAGUCHI, Toshie , NAGAKUBO, Yasuhira , WATABE, Akira
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/20 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/206 , H01J2237/2065
摘要： An object of the present invention is to provide a sample holding unit for an electron beam apparatus which allows observation of a reaction between a sample and gas. In order to solve one of the above-stated problems, the present invention includes: electron beam apparatus sample holding means in which a diaphragm is placed on upper and lower sides of a sample to form a cell for separating a gas atmosphere and a vacuum atmosphere of a sample chamber and sealing an ambient atmosphere of the sample; a gas supply means for supplying gas to an inside of the cell; and exhaust means for exhausting gas. The exhaust means includes a gas exhaust pipe provided in the inside of the cell and an openable/closable exhaust hole provided in a sidewall of the sample holding means so as to pass through the cell. The diaphragm is an amorphous film made of light elements which can transmit an electron beam, such as carbon films, oxide films, and nitride films.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种能够观察样品和气体之间的反应的电子束装置的样品保持单元。为了解决上述问题之一，本发明包括：电子束装置样品保持装置，其中将膜片放置在样品的上侧和下侧以形成用于分离气体气氛的气室和真空气氛的样品室并密封样品的环境气氛; 气体供应装置，用于将气体供应到电池内部; 以及用于排出气体的排气装置。排气装置包括设置在电池内部的排气管和设置在样品保持装置的侧壁中以便通过电池的可开启/关闭的排气孔。隔膜是由透光电子束如碳膜，氧化膜和氮化物膜的轻元素制成的非晶膜。

7. 发明公开

EP1817557A4 APPARATUS AND METHOD OF DETECTING PROBE TIP CONTACT WITH A SURFACE 审中-公开
标题翻译：装置和方法检测之间探针和表面接触的
公开(公告)号：EP1817557A4
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：EP05851362
申请日：2005-11-03
申请人： OMNIPROBE INC
发明人： MOORE THOMAS M , ZAYKOVA-FELDMAN LYUDMILA
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/22 , B82Y35/00 , H01J37/20 , H01J37/3056 , H01J2237/20 , H01J2237/202 , H01J2237/204 , H01J2237/206 , H01J2237/208 , H01J2237/2482 , H01J2237/28 , H01J2237/31745

8. 发明公开

EP2073250A2 Transmission electron microscope 有权
标题翻译： Transmissionselektronenmikroskop
公开(公告)号：EP2073250A2
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：EP08254110.3
申请日：2008-12-22
申请人： JEOL Ltd.
发明人： Fukushima, Kurio
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/0451 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/206 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2605 , H01J2237/2614
摘要： Apparatus for high-angle annular dark-field (HAADF) imaging without limiting the maximum tolerable pressure of gas introduced into the specimen chamber (7). The apparatus has an electron gun (2), a specimen chamber in which a specimen (5) is set, a gas cylinder (37) for supplying environmental gas to around the specimen surface through both a gas flow rate controller (39) and a gas nozzle (40), a vacuum pump (36) for evacuating the inside of the specimen chamber, an objective lens including upper and lower polepieces (8',9'), a detector (21,22,14,15) for detecting electrons transmitted through the specimen, a display device (19) for displaying a transmission image of the specimen based on the output signal from the detector, orifice plates (50) having minute holes (A-E), holders (51) supporting the orifice plates, a drive mechanism (52) for driving the holders, and a motion controller (53). The specimen is set between the upper and lower polepieces. The beam from the electron gun is transmitted through the objective lens. The orifice plates can be moved in a direction crossing the optical axis of the beam on the upper and lower surfaces of the upper and lower polepieces of the objective lens.
摘要翻译：用于大角度环形暗场（HAADF）成像的设备，而不限制引入样品室（7）的气体的最大可承受压力。该装置具有电子枪（2），设有试样（5）的试样室，用于通过气体流量控制器（39）和气体流量控制器（39）向样品表面周围供给环境气体的气瓶（37）气体喷嘴（40），用于抽空试样室内部的真空泵（36），包括上下杆（8'，9'）的物镜，检测器（21,22,14,15）通过试样透射的电子，用于基于来自检测器的输出信号显示样本的透射图像的显示装置（19），具有微孔（AE）的孔板（50），支撑孔板的支架（51）用于驱动保持器的驱动机构（52）和运动控制器（53）。试样设置在上下杆之间。来自电子枪的光束通过物镜透射。孔板可以在与物镜的上下极的上表面和下表面上的光束的光轴交叉的方向上移动。

9. 发明授权

EP2001038B1 Teilchenstrahlgerät und Verfahren zur Anwendung bei einem Teilchenstrahlgerät 有权转让
标题翻译：粒子束装置和用于粒子束装置的方法
公开(公告)号：EP2001038B1
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：EP08157672.0
申请日：2008-06-05
申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： Zeile, Ulrike , Schertel, Andreas
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/305
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/3056 , H01J2237/201 , H01J2237/20207 , H01J2237/206 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749

10. 发明公开

EP2598857A1 IN SITU HOLDER ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：原位HOLD安排
公开(公告)号：EP2598857A1
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：EP11813193.7
申请日：2011-07-28
申请人： E.A. Fischione Instruments, Inc.
发明人： DESHMUKH, Pushkarraj, V. , GRONSKY, Jeffrey, J. , FISCHIONE, Paul, E.
IPC分类号： G01N1/44
CPC分类号： G01N21/0303 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/206 , H01J2237/2065
摘要： An in situ optical specimen holder is disclosed which may be utilized for imaging and analysis during dynamic experimentation. This holder assembly includes a set of focusing and reflection optics along with an environmental cell. Electromagnetic radiation can be used to optically excite the specimen in the presence or absence of fluid. A highly reflective mirror may be used to focus the radiation on to the specimen without the presence of any heating components within the cell. The spot size of the irradiation at the specimen surface can be varied, thus exciting only a specific region on the specimen. The window type cell provides a variable fluid path length ranging from the specimen thickness to 500 μm. The holder has the provision to continuously circulate fluids over the specimen. The pressure within the cell can be regulated by controlling the flow rate of the fluids and the speed of the pumps.

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