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1. 发明申请

WO2009107696A1 カーボンナノチューブ支持体及びその製造方法审中-公开
标题翻译：碳纳米管支持和生产碳纳米管支持的方法
公开(公告)号：WO2009107696A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/JP2009/053496
申请日：2009-02-26
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 中山喜萬 , 平原佳織 , 千賀亮典
发明人：中山喜萬 , 平原佳織 , 千賀亮典
IPC分类号： G01N13/10
CPC分类号： G01Q70/12
摘要：　雰囲気中の残留炭化水素が極めて少ない高真空状態下において、強固なＣＮＴ固定処理を可能にして、単層又は２層などの細径ＣＮＴを用いたＣＮＴナノデバイスや、その製作過程に必要なＣＮＴ担持体などのＣＮＴ支持体及びその製造方法を提供する。　支持体１８には支持部１８ａが形成されている。ＣＮＴ１５の基端部１５ａを支持部１８ａに転移させて、ＣＮＴ１５の基端部１５ａに向けて電子ビーム１７又はイオンビームを照射する。基端部１５ａ及び支持部１８ａを被覆する炭素物質層１９が、前記ビームにより、アモルファス炭素層及びグラファイト層に変化する。このグラファイト層により、ＣＮＴ１５を、支持体１８に固定して、ＣＮＴ支持体を製造する。このビーム照射はＴＥＭ内の高真空下で行われる。
摘要翻译：公开了一种使用具有单层，两层或其它结构的小直径CNT的CNT纳米器件，其通过在具有非常低的残余烃含量的气氛的高真空下由于强的CNT固定处理而产生。还公开了CNT载体，例如CNT纳米器件的制造过程所需的CNT载体，以及CNT载体的制造方法。支撑部分（18a）设置在支撑件（18）上。 CNT（15）中的后锚定部分（15a）被转移到支撑部分（18a），并且电子束（17）或离子束被施加到CNT（15）中的后锚定部分（15a）。覆盖后锚固部（15a）和支撑部（18a）的碳物质层（19）通过施加梁而转变为无定形碳层和石墨层。通过石墨层将CNT（15）固定在载体（18）上，以产生CNT载体。梁的应用在TEM内的高真空下进行。

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