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1. 发明申请

WO2011106675A1 MULTI-POSITION MICRO-FLUIDIC VALVE SYSTEM 审中-公开
标题翻译：多位置微流体阀系统
公开(公告)号：WO2011106675A1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/US2011/026285
申请日：2011-02-25
申请人： IDEX HEALTH & SCIENCE LLC , SERVIN, Carl, M.
发明人： SERVIN, Carl, M.
IPC分类号： F16K99/00 , B81B3/00
CPC分类号： F16K99/0001 , F16K99/0013 , Y10T137/2529 , Y10T137/86863
摘要： A micro-fluidic valve system (20) is provided which includes a micro-fluidic valve actuator apparatus (26), a fluid distribution manifold (22) and a micro-fluidic POD apparatus. The POD apparatus (27) includes a POD housing (29) that defines an interior central passage (45) extending from a distal mounting end (36) of the housing to a proximal portion thereof. The POD apparatus further includes a stator device (30) disposed in the interior central passage, and includes a distal stator face (37) that cooperates with an opening in the distal mounting end to define a gasket receptacle (47). A relatively thin, elastomeric gasket member (28) is disposed in the gasket receptacle of the housing in abutting contact between the stator and a communication face (21) of the manifold. A fluid- tight seal is then formed between each respective stator communication port (35) of the stator device and a corresponding manifold communication port (25) of the manifold.
摘要翻译：提供微流体阀系统（20），其包括微流体阀致动器装置（26），流体分配歧管（22）和微流体POD装置。 POD设备（27）包括POD壳体（29），其限定从壳体的远端安装端（36）延伸到其近端部分的内部中心通道（45）。 POD设备还包括设置在内部中央通道中的定子装置（30），并且包括远端定子面（37），其与远端安装端中的开口配合以限定垫圈容座（47）。相对薄的弹性体衬垫构件（28）设置在壳体的衬垫接收器中，在定子与歧管的连通面（21）之间邻接接触。然后在定子装置的每个相应的定子连通端口（35）和歧管的相应的歧管连通端口（25）之间形成流体密封。

2. 发明申请

WO03067355A2 PROGRAMMABLE TRACKING PRESSURE REGULATOR FOR CONTROL OF HIGHER PRESSURES IN MICROFLUIDIC CIRCUITS 审中-公开
标题翻译：用于控制微流控电路中较高压力的可编程跟踪压力调节器
公开(公告)号：WO03067355A2
公开(公告)日：2003-08-14
申请号：PCT/US0301878
申请日：2003-01-21
申请人： PERSEPTIVE BIOSYSTEMS INC
发明人： CARLTON H PAUL , PRARIA GUY B , STOKES JEFFREY H
IPC分类号： G01L9/00 , G01N30/36 , G05D16/20
CPC分类号： G01N30/36 , G01L9/0001 , G05D16/2026 , Y10T137/0396 , Y10T137/2076 , Y10T137/2514 , Y10T137/2529 , Y10T137/8326
摘要： Regulator for precision control of pressure based on a means of measuring pressure differentials. More specifically, the present invention provides a pressure control that tracks a relatively high background pressure, and applies a positive or negative offset to create the small pressure differentials that can be utilized to transport fluids within a capillary network. The present invention is also directed to a method of controlling microfluidic elements such as donut cavities with a high degree of precision. In high performance liquid chromatography applications, this is accomplished using tracking pressure regulators to measure and respond to the difference between the liquid pump pressure and the regulated pneumatic pressure.
摘要翻译：基于测量压力差的方法精确控制压力的调节器。更具体地说，本发明提供了一种跟踪相对高的背景压力的压力控制，并且施加正或负偏移以产生可用于输送毛细管网内的流体的小压力差。本发明还涉及以高精度控制诸如环形腔的微流体元件的方法。在高效液相色谱应用中，使用跟踪压力调节器来测量和响应液体泵压力和调节气压之间的差异。

3. 发明申请

WO1998029154A1 GAS BLENDER 审中-公开
标题翻译：气体搅拌机
公开(公告)号：WO1998029154A1
公开(公告)日：1998-07-09
申请号：PCT/US1997023584
申请日：1997-12-30
申请人： THE UNIVERSITY OF FLORIDA
发明人： THE UNIVERSITY OF FLORIDA , SAMSUNG, Lampotang , MELKER, Richard, Joel , BLANCH, Paul, B. , RIJHWANI, Aneel
IPC分类号： A61M16/12
CPC分类号： A61M16/12 , A61M16/1015 , A61M2016/1025 , A61M2205/16 , Y10T137/2509 , Y10T137/2529
摘要： A gas blender comprising a plenum for mixing gases, at least one flow valve, an oxygen sensor, a microprocessor, and driver circuits. The inlet gas port is adapted to be in fluid communication with a supply of a desired gas and the flow valve is disposed between the supply of gas and the inlet of the plenum. At least one driver circuit adjusts the flow valves to change the gas flow rate therethrough and, accordingly, the rate at which gas enters into the plenum. The oxygen sensor measures the percentage composition of oxygen exiting from, or inside, the plenum and generates an output based on the measured percentage composition of oxygen. The microprocessor controls the percentage composition of oxygen exiting from the plenum and is electrically coupled to the output of the oxygen sensor. The microprocessor compares the output of the oxygen sensor to a predetermined level of oxygen and generates a response signal based on the comparison, which is communicated to the driver circuits. The driver circuits are electrically coupled to both the microprocessor and the flow valves and adjust the flow valve so that the percentage composition of oxygen exiting the plenum is maintained at the predetermined level. The blender of the present invention may also include a pressure sensor in fluid communication with the outlet of the plenum.
摘要翻译：一种气体混合器，包括用于混合气体的气室，至少一个流量阀，氧传感器，微处理器和驱动器电路。入口气体端口适于与所需气体的供应流体连通，并且流量阀设置在气体供应和增压室的入口之间。至少一个驱动器电路调节流量阀以改变通过其中的气体流速，并因此改变气体进入增压室的速率。氧气传感器测量从气室出来或在其内部排出的氧的百分比组成，并根据所测量的氧的百分比组成产生输出。微处理器控制从气室排出的氧的百分比组成，并且电耦合到氧传感器的输出。微处理器将氧传感器的输出与预定水平的氧气进行比较，并且基于比较产生响应信号，该响应信号被传送到驱动器电路。驱动器电路电耦合到微处理器和流量阀两者，并且调节流量阀，使得离开增压室的氧的百分比组成保持在预定水平。本发明的混合器还可以包括与气室的出口流体连通的压力传感器。

4. 发明申请

WO2013052364A1 METHOD OF AND APPARATUS FOR MULTIPLE CHANNEL FLOW RATIO CONTROLLER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：多通道流量比控制系统的设计方法
公开(公告)号：WO2013052364A1
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：PCT/US2012/057799
申请日：2012-09-28
申请人： MKS INSTRUMENTS, INC. , DING, Junhua
发明人： DING, Junhua
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/455 , G05D11/13 , H01L21/00
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45561 , G05D7/0664 , Y10T137/2524 , Y10T137/2529
摘要： A four channel gas delivery system comprising: an inlet channel; four outlet channels; four flow sensors; four control valves, each valve being arranged so as to control the flow from the inlet channel through a corresponding one of the outlet channels; a flow ratio control system configured so as to control the flow from the inlet channel through the corresponding outlet channels so that the following flow ratios are controlled: (a) a first ratio of flows between the outlet channels of a first pair; (b) a second ratio of flows between the outlet channels of a second pair; and (c) a third ratio of flows between the first pair of outlet channels relative to the second pair of outlet channels; wherein the third ratio is controlled by generating at least one bias signal respectively applied to at least one pair of valves, the bias signal being a function of a predetermined set point of the third ratio and measured values of the third ratio.
摘要翻译：一种四通道气体输送系统，包括：入口通道; 四个出口渠道; 四个流量传感器; 四个控制阀，每个阀布置成控制从入口通道流过对应的一个出口通道的流量; 流量比控制系统，被配置为控制从入口通道流过对应出口通道的流量，从而控制以下流量比：（a）第一对出口通道之间的第一流量比; （b）第二对的出口通道之间的第二流量比; 和（c）第一对出口通道之间相对于第二对出口通道的第三流量比; 其中通过产生分别施加到至少一对阀的至少一个偏置信号来控制第三比率，偏置信号是第三比率的预定设定点和第三比率的测量值的函数。

5. 发明申请

WO2011085064A2 N-CHANNEL FLOW RATIO CONTROLLER CALIBRATION 审中-公开
标题翻译： N通道流量比控制器校准
公开(公告)号：WO2011085064A2
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：PCT/US2011020316
申请日：2011-01-06
申请人： APPLIED MATERIALS INC , GREGOR MARIUSCH , LANE JOHN
发明人： GREGOR MARIUSCH , LANE JOHN
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： F17D3/00 , G01F25/003 , G01F25/0053 , Y10T137/0324 , Y10T137/0363 , Y10T137/0379 , Y10T137/0402 , Y10T137/2524 , Y10T137/2529
摘要： Embodiments of the present invention generally relate to methods of controlling gas flow in etching chambers. The methods generally include splitting a single process gas supply source into multiple inputs of separate process chambers, such that each chamber processes substrates under uniform processing conditions. The method generally includes using a mass flow controller as a reference for calibrating a flow ratio controller. A span correction factor may be determined to account for the difference between the actual flow and the measured flow through the flow ratio controller. The span correction factors may be used to determine corrected set points for each channel of the flow controller using equations provided herein. Furthermore, the set points of the flow ratio controller may be made gas-independent using additional equations provided herein.
摘要翻译：本发明的实施例一般涉及控制蚀刻室中的气体流动的方法。该方法通常包括将单个处理气体供应源分成多个独立处理室的输入，使得每个室在均匀处理条件下处理基板。该方法通常包括使用质量流量控制器作为用于校准流量比率控制器的参考。可以确定量程校正因子以解释实际流量和通过流量比率控制器的测量流量之间的差异。量程校正因子可以用于使用在此提供的等式来确定流量控制器的每个通道的经校正的设定点。此外，流量比控制器的设定点可以使用在此提供的附加等式而与气体无关。

6. 发明申请

WO2007044073A2 SYSTEM AND METHOD FOR BLENDING AND COMPRESSING GASES 审中-公开
标题翻译：用于混合和压缩气体的系统和方法
公开(公告)号：WO2007044073A2
公开(公告)日：2007-04-19
申请号：PCT/US2006/015663
申请日：2006-04-26
申请人： BREHON ENERGY PLC , EGAN, Gregory, J. , FULTON, Justin , MARMARO, Roger, W. , LYNCH, Franklin, Earl
发明人： EGAN, Gregory, J. , FULTON, Justin , MARMARO, Roger, W. , LYNCH, Franklin, Earl
IPC分类号： B65B1/04
CPC分类号： B01F3/026 , B01F5/0604 , G05D11/132 , Y10T137/2529 , Y10T137/8766
摘要： A gas blending and compressing system (30) includes a blender (10) having a blending chamber (16) configured to blend two or more separate gases into a blended gas, a compressor (60) configured to compress the blended gas to a selected pressure, and a control system (42) configured to sense operational parameters of the blender (10) and the compressor (60), to sense one or more properties of the blended gas and to control the operation of the blender (10) and the compressor (60) to maintain the quality of the blended gas. A method for blending and compressing two or more gases includes the steps of : blending the separate gases into a blended gas using the blender (10); compressing the blended gas using the compressor (60); and matching a constant flow through the compressor (60) to a selected minimum flow dependent on nominal operating parameters of the compressor (60). Alternate embodiment systems and methods blend separate gases at high pressure without using a compressor. Various principles are applied at high pressure including choked flow and partial pressure blending.
摘要翻译：气体混合和压缩系统（30）包括具有混合室（16）的混合器（10），其配置成将两个或更多个分离的气体混合成混合气体;压缩机（60），被配置为将混合气体压缩至选定的压力以及被配置为感测所述搅拌器（10）和所述压缩机（60）的操作参数的控制系统（42），以感测所述混合气体的一个或多个特性并且控制所述搅拌器（10）和所述压缩机（60）保持混合气体的质量。用于混合和压缩两种或更多种气体的方法包括以下步骤：使用搅拌器（10）将分离的气体混合成共混气体; 使用压缩机（60）压缩混合气体; 并且将通过压缩机（60）的恒定流量匹配到取决于压缩机（60）的标称操作参数的选定的最小流量。替代实施例系统和方法在不使用压缩机的情况下在高压下混合不同的气体。各种原理在高压下应用，包括阻流和分压混合。

7. 发明申请

WO2004114038A1 流量制御装置を備えたガス供給設備からチャンバーへのガス分流供給装置及びガス分流供給方法审中-公开
标题翻译：用于分配和进料气体流量的装置 - 调节装置的气体输送装置到室
公开(公告)号：WO2004114038A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/JP2004/008117
申请日：2004-06-10
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
发明人：杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要：　流量制御装置を備えたガス供給設備から所定流量Ｑの処理ガスを正確且つ迅速に、所望の流量比Ｑ 1 ／Ｑ 2 でもってチャンバー内へ分流供給できるようにしたものである。そのために、本発明では、流量制御装置ＱＣＳを備えたガス供給設備１から所定流量ＱのガスＧをチャンバーへ供給するための複数の分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 に、夫々開閉弁ＯＶ 1 、ＯＶ 2 を介設し、前記開閉弁ＯＶ 1 の下流側にあってＧＬ 1 から分岐したバイパスラインＢＬ 1 と、開閉弁ＯＶ 2 の下流側にあってＧＬ 2 から分岐したＢＬ 2 と、バイパスラインＢＬ 1 とバイパスラインＢＬ 2 に接続した圧力式分流量制御器ＦＶと、分流供給ラインＧＬ 1 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 1 と、分流供給ラインＧＬ 2 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 2 を用い、分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 の端末に固定したシャワープレート３、４を通して、所望の分流流量Ｑ 1 、Ｑ 2 でもって、チャンバーＣ内へ総量Ｑ＝Ｑ 1 ＋Ｑ 2 のガスを分流供給する。
摘要翻译：具有预定流量（Q）的处理气体被准确且快速地分离并从具有流量调节装置的气体供给设备进料到具有期望流量比（Q1 / Q2）的室中。开/关阀（OV1，OV2）设置在用于从具有流量的气体供给设备（1）向腔室供给具有预定流量（Q）的气体（G）的分支供给管线（GL1，GL2）调节装置（QCS）。还设置有位于阀（OV1）的下游侧并从位于阀（OV2）的下游侧的（GL1，BL2）分支并从（GL2）分支的旁路管线（BL1），压力型连接到旁路管线（BL1）和旁路管路（BL2）的分段流量调节器（FV），用于测量分支供给管线（GL1）中的压力的压力传感器（PS1）测量分支供给管线（GL2）中的压力。通过上述结构，将总量为Q = Q1 + Q2的气体通过固定到端子的喷淋板（3,4）以具有期望的分流流量（Q1，Q2）的分流供给到室（C）分支喂养线（GL1，GL2）。

8. 发明申请

WO0165182A3 PRESSURE PROVING GAS VALVE 审中-公开
标题翻译：压力保护气阀
公开(公告)号：WO0165182A3
公开(公告)日：2002-01-24
申请号：PCT/US0106372
申请日：2001-02-28
申请人： HONEYWELL INT INC
发明人： JOHN JOHN E
IPC分类号： F23N5/18 , F23N5/26
CPC分类号： F23N5/184 , F23N5/265 , F23N2005/181 , F23N2005/182 , F23N2025/04 , F23N2025/06 , F23N2033/08 , F23N2035/16 , Y10T137/0335 , Y10T137/0346 , Y10T137/0363 , Y10T137/2496 , Y10T137/2499 , Y10T137/2529 , Y10T137/7761
摘要： A pressure proving gas valve (10) insures safe and efficient operation of a fuel-burning appliance by monitoring combustion airflow and appropriately controlling the valve based (22) upon this airflow. An airflow sensor (26) is incorporated into a pressure proving valve housing (20) itself thus providing integrated solution for the control of the combustion process. Consequently, when heat is called for, no fuel is provided to the combustion chamber (12) unless appropriate combustion air is sensed. Further, by monitoring the actual airflow, additional control capability is provided. That is, a variable speed blower (60) associated with the combustion apparatus can be controlled to provide very precise fuel to air mixtures.
摘要翻译：压力证明气体阀（10）通过监测燃烧气流并在该气流上适当地控制阀（22）来确保燃料燃烧器具的安全和有效的操作。气流传感器（26）被并入到压力证明阀壳体（20）中，从而提供用于控制燃烧过程的综合解决方案。因此，当需要热量时，除非感测到适当的燃烧空气，否则不向燃烧室（12）提供燃料。此外，通过监视实际气流，提供附加的控制能力。也就是说，可以控制与燃烧装置相关联的变速鼓风机（60），以向空气混合物提供非常精确的燃料。

9. 发明申请

WO2010018191A1 METHOD FOR CONTROLLING A GAS FLOW BETWEEN A PLURALITY OF GAS STREAMS 审中-公开
标题翻译：控制气体流量大气之间气体流动的方法
公开(公告)号：WO2010018191A1
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/EP2009/060432
申请日：2009-08-12
申请人： SHELL INTERNATIONALE RESEARCH MAATSCHAPPIJ B.V. , BEEBY, Clive , HUPKES, Willem
发明人： BEEBY, Clive , HUPKES, Willem
IPC分类号： G05D11/13 , G05D16/20
CPC分类号： F25J1/023 , F25J1/0242 , F25J1/0244 , F25J3/0295 , F25J2210/02 , F25J2210/06 , F25J2240/70 , F25J2280/02 , F25J2290/60 , Y10T137/0363 , Y10T137/0379 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529
摘要： The present invention relates to a method and apparatus for controlling a gas flow through a conjunction between one or more incoming streams and one or more outgoing streams through a conjunction. The method uses a biased mass flow imbalance value obtained by comparing the aggregate of incoming mass flow measurement value(s) with the aggregate of outgoing mass flow measurement value (s) and adding a bias component to provide the biased mass flow imbalance value. The flow of at least one of the incoming and outgoing streams (12, 14, 16, 18, 20) is adjusted to move the biased mass flow imbalance value towards zero. In addition, a conjunction pressure measurement (PC) is provided, which is used to adjust the bias component in response to a change in the conjunction pressure measurement (PC) relative to a pressure set point (PSP), to mitigate the change in the conjunction pressure measurement (PC) relative to the pressure set point (PSP).
摘要翻译：本发明涉及一种用于控制通过一个或多个输入流与通过连接的一个或多个输出流之间的连接的气流的方法和装置。该方法使用通过将进入质量流量测量值的总和与出口质量流量测量值的总和进行比较而获得的偏置质量流量不平衡值，并且添加偏置分量以提供偏置质量流量不平衡值。调节进入流和流出流（12,14,16,18,20）中的至少一个流的流动，以将偏置的质量流量不平衡值向零移动。此外，提供了一种连接压力测量（PC），其用于响应于相对于压力设定点（PSP）的连接压力测量（PC）的变化来调节偏压分量，以减轻连接压力测量（PC）相对于压力设定点（PSP）。

10. 发明申请

WO2009010696A2 DISPOSITIF DESTINE A L'INJECTION D'UN ADDITIF DANS UNE CANALISATION 审中-公开
标题翻译：用于注射添加剂到装置中的装置
公开(公告)号：WO2009010696A2
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/FR2008/051288
申请日：2008-07-10
申请人： ISSARTEL, Eric
发明人： ISSARTEL, Eric
IPC分类号： G05D11/00 , G05D16/02 , G05D11/08
CPC分类号： G05D11/006 , Y10T29/49716 , Y10T137/2529
摘要： La présente invention concerne un dispositif de stockage et de dosage destiné à l'injection d'un additif (E) dans une canalisation (15) traversée par un liquide dont le débit est variable, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comporte : un réservoir (53) destiné à contenir de l'additif et pourvu d'une sortie d'additif (56) destinée à être connectée à la canalisation, éventuellement par l'intermédiaire d'un système d'injection (22); et un régulateur de pression différentielle (54) comportant une entrée de gaz (70) destinée à être connectée à une source de gaz (71), une sortie de gaz (74) connectée à une entrée de pressurisation (75) du réservoir (53) de manière à pouvoir le pressuriser à une pression de pressurisation (P G ), et une entrée de pilotage (78) destinée à être connectée à la canalisation (15).
摘要翻译：本发明涉及一种旨在用作储存和定量装置的储存和定量装置。＆Agrave; 将添加剂（E）注入被流速可变的液体横穿的管道（15）中，该装置是本发明的特征; 其中它包括：用于使用的罐（53）＆Agrave; 含有添加剂并具有用作添加剂的添加剂出口（56）; ＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp; 该管道可能经由注射系统（22）; 和具有用于其中的气体入口（70）的差压调节器（54）＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp; 一个气源（71），一个与其连接的气体出口（74）罐（53）的加压入口（75）以这种方式能够加压它加压压力（P G）和打算使用的驱动输入（78）＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp;＆nbsp; 管道（15）。

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