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1. 发明申请

WO2007023597A1 ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：垫片型式和压力型流量控制器使用相同
公开(公告)号：WO2007023597A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/JP2006/309368
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00 , F16L55/00 , G01F1/42
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：　本発明は、圧力式流量制御装置を分解、組立することなしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにすることにより、制御流量の切換を容易に行えるようにする。　本発明のオリフィス交換型圧力式流量制御装置は、流体供給用配管の接続部を備えた入口側取付用ブロック（３９）と流体取出用配管の接続部を備えた出口側取付用ブロック（４３）との間に圧力式流量制御装置（Ａ）のコントロール弁（２）のバルブボディ（２３）を配設し、当該バルブボディ（２３）の流体入口側と前記入口側取付用ブロック（３９）とを、並びに前記バルブボディ（２３）の流体出口側と前記出口側取付用ブロック（４３）とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁（２）を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ（２３）の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔（４２ｃ）と出口側取付用ブロック（４３）のガスケット型オリフィス挿入孔（４３ｂ）との間に、圧力式流量制御装置（Ａ）のガスケット型オリフィス（３８）を着脱自在に挿着する構成とする。
摘要翻译：一种孔口可变压力型流量控制器，其能够通过在不拆卸和组装流量控制器的情况下容易地改变孔口而容易地改变控制流程。在流量控制器（A）中，控制阀（2）的阀体（23）设置在具有用于流体供给管的连接部分的入口侧安装块（39）和出口侧安装块（43）之间，具有用于流体取出管的连接部分，并且阀体（23）的流体入口侧可气密地连接到入口侧安装块（39），并且阀体（23）的流体出口侧可释放地连接气密到出口侧安装块（43）以形成允许气体通过控制阀（2）流过其中的流动通道。流量控制器（A）的垫圈型孔口（38）可拆卸地插入形成在阀体（23）的出口侧上的垫圈型孔插入孔（42c）和垫圈型孔插入孔（43b）之间出口侧安装块（43）。

2. 发明申请

WO2005068886A1 流体通路のウォータハンマーレス開放方法及びこれを用いた薬液供給方法並びにウォータハンマーレス開放装置审中-公开
标题翻译：用于无水通道的无水开放方法，使用该方法的化学供应方法和无水开式装置
公开(公告)号：WO2005068886A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/JP2005/000264
申请日：2005-01-13
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
IPC分类号： F16K47/00
CPC分类号： F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
摘要：　極く簡単な装置や操作により、ウォータハンマーを生ずることなしに、しかも短時間内に、流体通路を急開放できるようにする。　流体通路に介設したアクチエータ作動式バルブと、アクチエータ作動式バルブへ二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを供給する電空変換装置と、前記アクチエータ作動式バルブの上流側管路に着脱自在に固着した振動センサと、振動センサにより検出した振動検出信号Ｐｒが入力されると共に、電空変換装置へ前記二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａのステップ作動圧Ｐｓ′の大きさを制御する制御信号Ｓｃを出力し、当該制御信号Ｓｃの調整により電空変換装置から振動検出信号Ｐｒがほぼ零となるステップ作動圧Ｐｓ′の二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを出力させるチューニングボックスと、からウォータハンマーレス開放装置を構成する。
摘要翻译：可以通过简单的装置和操作在短时间内快速打开流体通道而不引起水锤。无水锤打开装置包括：致动器操作阀，布置在流体通道上; 用于向致动器操作阀提供两级致动器操作压力Pa的电动气动转换装置; 可拆卸地固定在致动器操作阀的管的上游侧的振动传感器; 以及调谐箱，用于接收由振动传感器检测到的振动检测信号Pr，输出用于将两状态致动器操作压力Pa的阶跃操作压力Ps的值控制到电动气动转换装置的控制信号Sc，并输出通过调整控制信号Sc，来自电动气动转换装置的振动检测信号Pr的阶梯操作压力Ps'的两级致动器操作压力Pa变为几乎为零。

3. 发明申请

WO2004066048A1 クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置审中-公开
标题翻译：用于聚集流体的流量控制方法和用于聚集流体的流量控制装置
公开(公告)号：WO2004066048A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/JP2004/000346
申请日：2004-01-16
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：　圧力式流量制御装置を用いて、真空チャンバ等へ供給するＨＦガス等のクラスター化する流体を、３～３００ＳＣＣＭ程度の流量範囲について、高精度で流量制御できるようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側のガスの圧力Ｐ１　とオリフィス下流側のガスの圧力Ｐ２　との比Ｐ２　／Ｐ１　を気体の臨界圧力比以下に保持した状態でオリフィスを流通するガスの流量ＱをＱ＝ＫＰ１　（但しＫは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置を用いたクラスター化する流体の流量制御方法に於いて、前記圧力式流量制御装置を４０℃以上の温度に加温するか、或いはクラスター化する流体に希釈ガスを加えて分圧以下にすることにより、分子の会合を解離させ、その後単分状態にしたクラスター化する流体を前記オリフィスを通して流通させる。
摘要翻译：使用压力式流量控制装置，可以在大约3-300SCCM的流量范围内高精度地控制诸如HF气体的聚集流体的流量被提供给真空室等。具体而言，使用压力型流量控制装置控制流量的聚集流体的流量的方法，其中计算流过孔口的气体的流量Q为Q = KP1（K为常数），比例为P2 / 保持高达气体的临界压力比的孔 - 上游侧气体压力P1和下游侧气体压力P2之间的P1，其中压力型流量控制装置被加热至至少40℃，或聚集添加稀释气体至最高分压，从而允许通过解离分子缔合产生的聚集流体，然后使其保持在单分子状态，流过孔口。

4. 发明申请

WO2005013026A1 チャンバへのガス供給装置及びこれを用いたチャンバの内圧制御方法审中-公开
标题翻译：用于将气体送入室的装置和使用装置控制室内压力的方法
公开(公告)号：WO2005013026A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/JP2004/010708
申请日：2004-07-28
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 河南博 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 池田信一
发明人：河南博 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0652 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要：　流量の制御精度が小流量域で大幅に低下するのを防止し、全流量制御域に亘って高精度な流量制御を行なえるようにすると共に、高精度な流量制御によって広域なチャンバの圧力範囲を制御できるようにする。　具体的には、並列状に接続した複数基の圧力式流量制御装置と、前記複数基の圧力式流量制御装置の作動を制御する制御装置とから形成され、真空ポンプにより排気されたチャンバへ所望のガスを流量制御しつつ供給するチャンバへのガス供給装置に於いて、前記一基の圧力式流量制御装置をチャンバへ供給する最大流量の多くとも１０％までのガス流量域を制御する装置に、残余の圧力式流量制御装置を残りのガス流量域を制御する装置とする。
摘要翻译：用于将气体供给到室的装置防止流量控制精度在小流量区域中大大降低，在整个流量控制区域中执行高精度的流量控制，并且还通过高精度的流量控制。更具体地，用于将气体供给到室的装置由并联连接的压力型流量控制装置和用于控制流量控制装置的操作的控制装置构成。气体供给装置在控制气体的流量的同时将由真空泵排出的所需气体供给到腔室。压力式流量控制装置中的一个是将要供给到室的最大流量的最大值控制高达10％的气体流量范围的装置，并且剩余流量控制装置是控制剩余气体流量范围。

5. 发明申请

WO2004092688A1 耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器审中-公开
标题翻译：耐腐蚀金属的热式流量传感器及其使用的流体供应设备
公开(公告)号：WO2004092688A1
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：PCT/JP2004/001519
申请日：2004-02-12
申请人：株式会社フジキン , 池田信一 , 平田薫 , 西野功二 , 土肥亮介
发明人：池田信一 , 平田薫 , 西野功二 , 土肥亮介
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6845
摘要：　熱式質量流量センサの耐食性を高めると共に、応答性の向上、パーティクルフリー及び製品品質のバラツキの防止等を可能にした耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器を提供するものである。　具体的には、熱式質量流量センサを、耐食性金属材料Ｗの裏面側に電解エッチングを施して薄板に形成した耐食性金属基板２及び当該耐食性金属基板２の裏面側に設けた温度センサ３と加熱用ヒータ４を形成する薄膜Ｆから成るセンサ部１と、取り付け溝１３ａ内へ嵌合した前記センサ部１の耐食性金属基板２の外周縁をレーザ溶接により気密状に固着したセンサベース１３とから構成する。
摘要翻译：由耐腐蚀金属制成的热式质量流量传感器，提高热式质量流量传感器的耐腐蚀性，提高响应性，并且使得可以免于颗粒，防止产品质量的变化等; 和使用其的流体供应设备。具体而言，热式质量流量传感器由通过电解蚀刻在耐蚀金属材料（W）的背面上形成为薄片的耐腐蚀金属基板（2）的传感器（1）构成，以及形成温度传感器（3）的薄膜（F）和设置在耐腐蚀金属基板（2）的背面上的加热器（4），以及通过激光焊接外壳安装在安装槽（13a）中的传感器（1）的耐腐蚀金属基板（2）的外周面。

6. 发明申请

WO2004057432A1 流体通路の閉鎖方法とこれに用いるウォータハンマーレスバルブ装置及びウォータハンマーレス閉鎖装置审中-公开
标题翻译：封闭流体通道，无水阀和水无缝闭合装置的方法
公开(公告)号：WO2004057432A1
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/JP2003/016287
申请日：2003-12-18
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 池田信一 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西村龍太郎
发明人：大見忠弘 , 池田信一 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西村龍太郎
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要：　極く簡単な装置や操作により、ウォータハンマーを生ずることなしに、しかも短時間内に、流体通路を緊急閉鎖できるようにする。　そのため、流体通路に介設したアクチエータ作動式バルブとアクチエータ作動式バルブへ二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを供給する電空変換装置と、前記アクチエータ作動式バルブの上流側管路に着脱自在に固着した振動センサと、振動センサにより検出した振動検出信号Ｐｒが入力されると共に電空変換装置へ前記二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａのステップ作動圧Ｐｓ′の大きさを制御する制御信号Ｓｃを出力し、当該制御信号Ｓｃの調整により電空変換装置から振動検出信号Ｐｒがほぼ零となるステップ作動圧Ｐｓ′の二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを出力させるチューニングボックスとから、ウォータハンマーレス閉鎖装置を構成する。
摘要翻译：流体通道在短时间内紧急关闭，而不会通过非常简单的装置或操作引起水锤。无水锤关闭装置包括设置在流体通道中的致动器操作阀和用于向致动器操作阀提供两步致动器工作压力Pa的电动气动转换器，可拆卸地固定到上游侧管道的振动传感器执行器操作动作阀的线以及从振动传感器接收振动检测信号Pr的调谐箱，并输送用于控制两步致动器工作压力Pa的阶梯式工作压力Ps'的大小的控制信号Sc 并且调节控制信号Sc以提供步进工作压力Ps'的两步致动器工作压力Pa，以使振动检测信号Pr从电动气动转换器基本上达到零。

7. 发明申请

WO2007001041A1 流量レンジ可変型流量制御装置审中-公开
标题翻译：可变流量范围流量控制装置
公开(公告)号：WO2007001041A1
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/JP2006/312952
申请日：2006-06-22
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/00 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00
CPC分类号： G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
摘要：　１基の流量制御装置によって、より広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図るようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側圧力Ｐ 1 及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ 2 を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ 1 （Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ 2 m （Ｐ 1 −Ｐ 2 ） n （Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。
摘要翻译：一种压力式流量控制装置，通过精确地控制在大流量范围内的流体的流动，能够减小尺寸和安装成本。具体地说，在孔口（8）中流动的流体的流量被计算为Qc = KP 1（K是比例因子）或Qc = KP <

8. 发明申请

WO2004114038A1 流量制御装置を備えたガス供給設備からチャンバーへのガス分流供給装置及びガス分流供給方法审中-公开
标题翻译：用于分配和进料气体流量的装置 - 调节装置的气体输送装置到室
公开(公告)号：WO2004114038A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/JP2004/008117
申请日：2004-06-10
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
发明人：杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要：　流量制御装置を備えたガス供給設備から所定流量Ｑの処理ガスを正確且つ迅速に、所望の流量比Ｑ 1 ／Ｑ 2 でもってチャンバー内へ分流供給できるようにしたものである。そのために、本発明では、流量制御装置ＱＣＳを備えたガス供給設備１から所定流量ＱのガスＧをチャンバーへ供給するための複数の分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 に、夫々開閉弁ＯＶ 1 、ＯＶ 2 を介設し、前記開閉弁ＯＶ 1 の下流側にあってＧＬ 1 から分岐したバイパスラインＢＬ 1 と、開閉弁ＯＶ 2 の下流側にあってＧＬ 2 から分岐したＢＬ 2 と、バイパスラインＢＬ 1 とバイパスラインＢＬ 2 に接続した圧力式分流量制御器ＦＶと、分流供給ラインＧＬ 1 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 1 と、分流供給ラインＧＬ 2 内の圧力を測定する圧力センサーＰＳ 2 を用い、分岐供給ラインＧＬ 1 、ＧＬ 2 の端末に固定したシャワープレート３、４を通して、所望の分流流量Ｑ 1 、Ｑ 2 でもって、チャンバーＣ内へ総量Ｑ＝Ｑ 1 ＋Ｑ 2 のガスを分流供給する。
摘要翻译：具有预定流量（Q）的处理气体被准确且快速地分离并从具有流量调节装置的气体供给设备进料到具有期望流量比（Q1 / Q2）的室中。开/关阀（OV1，OV2）设置在用于从具有流量的气体供给设备（1）向腔室供给具有预定流量（Q）的气体（G）的分支供给管线（GL1，GL2）调节装置（QCS）。还设置有位于阀（OV1）的下游侧并从位于阀（OV2）的下游侧的（GL1，BL2）分支并从（GL2）分支的旁路管线（BL1），压力型连接到旁路管线（BL1）和旁路管路（BL2）的分段流量调节器（FV），用于测量分支供给管线（GL1）中的压力的压力传感器（PS1）测量分支供给管线（GL2）中的压力。通过上述结构，将总量为Q = Q1 + Q2的气体通过固定到端子的喷淋板（3,4）以具有期望的分流流量（Q1，Q2）的分流供给到室（C）分支喂养线（GL1，GL2）。

9. 发明申请

WO2003102707A1 流量制御装置を備えたガス供給設備からのチャンバーへのガス分流供給方法审中-公开
标题翻译：从配有流量控制器的气体供应设备供应到气室的气体供应方法
公开(公告)号：WO2003102707A1
公开(公告)日：2003-12-11
申请号：PCT/JP2003/000437
申请日：2003-01-20
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
发明人：杉山一彦 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： A method for supplying a specified quantity Q of processing gas while dividing at a desired flow rate ratio Q1/Q2 accurately and quickly from a gas supply facility equipped with a flow controller into a chamber. When a specified quantity Q of gas is supplied while being divided at a desired flow rate ratio Q1/Q2 from a gas supply facility equipped with a flow controller into a pressure reduced chamber C through a plurality of branch supply lines and shower plates fixed to the ends thereof, pressure type division quantity controllers FV1 and FV2 are provided in the plurality of branch supply lines GL1 and GL2. Opening control of both division quantity controllers FV1 and FV2 is started by an initial flow rate set signal from a division quantity control board FRC for fully opening the control valve CV of the pressure type division quantity controller having a higher flow rate and pressures P3' and P3" on the downstream side of the control valve CV are regulated thus supplying a total quantity Q=Q1+Q2 of gas while dividing into the chamber C through orifice holes (3a, 4a) made in shower plates (3, 4) at desired division quantities Q1 and Q2 represented by formulas Q1=C1P3' and Q2=C2P3" (where, C1 and C2 are constants dependent on the cross-sectional area of the orifice hole or the gas temperature on the upstream side thereof).
摘要翻译：一种用于在从配备有流量控制器的气体供给设备进入腔室的情况下，以期望的流量比Q1 / Q2精确而快速地分配处理气体的规定量Q的方法。当通过多个分支供应管线和固定到所述流体控制器的喷淋板以预期的流量比Q1 / Q2从装备有流量控制器的气体供应设备分配到减压室C中时供应指定数量的气体在多个分支供给线GL1和GL2中设置有压力分离量控制器FV1和FV2。通过来自分割量控制板FRC的初始流量设定信号来开始分控数量控制器FV1和FV2的打开控制，以完全打开具有较高流量和压力P3'的压力型分配量控制器的控制阀CV，并且调节控制阀CV的下游侧的P3“被调节，从而通过在喷淋板（3,4）中制造的孔口（3a，4a）分成腔室C，从而提供气体的总量Q = Q1 + Q2，由公式Q1 = C1P3'和Q2 = C2P3“表示的分割量Q1和Q2（其中C1和C2是取决于孔口的横截面积或其上游侧的气体温度的常数）。

10. 发明申请

WO2007083439A1 ノーマルオープン型の圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁审中-公开
标题翻译：由压电元件驱动的正常开启的金属膜片控制阀
公开(公告)号：WO2007083439A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/JP2006/323050
申请日：2006-11-13
申请人：株式会社フジキン , 松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/14
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要： A normal-open metal diaphragm control valve driven by a piezoelectric element, capable of accurate and stable flow rate control even under high temperature environments and enabling adjustment of a compressive force applied to the piezoelectric element to be made without disassembling the control valve. Specifically, the control valve has a body (7) in which a valve chamber (7a') and a valve seat (7c) are formed, a metal diaphragm (8) disposed in the valve chamber (7a') and abutted to and separated from the valve seat (7c), an actuator box (10) secured to the body (7), the piezoelectric element (13) disposed in the actuator box (10) and extended downward by application of a voltage thereto to press the metal diaphragm (8) through a metal diaphragm retainer (12), a disc spring mechanism (14) for absorbing the extension of the piezoelectric element (13) when the metal diaphragm (8) abuts to the valve seat (7c) and applying a predetermined pressure to the valve seat (7c), and a preload mechanism (21) always applying an upward compressive force to the piezoelectric element (13) and capable of adjusting the compressive force applied to the piezoelectric element (13) from the outside.
摘要翻译：一种由压电元件驱动的常开金属隔膜控制阀，即使在高温环境下也能够精确稳定的流量控制，并且能够调节施加到压电元件上的压缩力而不拆卸控制阀。具体而言，控制阀具有形成有阀室（7a'）和阀座（7c）的主体（7），配置在阀室（7a'）内的金属隔膜（8）从所述阀座（7c），固定到所述主体（7）的致动器箱（10），设置在所述致动器箱（10）中的所述压电元件（13）并且通过施加电压向下延伸以将所述金属隔膜（8）通过金属隔膜保持器（12），盘弹簧机构（14），用于当金属隔膜（8）抵靠阀座（7c）并且施加预定压力时吸收压电元件（13）的延伸到阀座（7c），并且预压机构（21）总是向压电元件（13）施加向上的压缩力，并且能够调节从外部施加到压电元件（13）的压缩力。

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