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1. 发明申请

WO2013035232A1 原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置审中-公开
标题翻译：配备材料浓度检测机构的材料蒸发装置
公开(公告)号：WO2013035232A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/JP2012/004559
申请日：2012-07-17
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 平田薫 , 日高敦志 , 西野功二 , 池田信一 , 中村剛
发明人：永瀬　正明 , 平田　薫 , 日高　敦志 , 西野　功二 , 池田　信一 , 中村　剛
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： F17D3/00 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , G05D11/135 , Y10T137/8158
摘要：　本発明は、キャリアガスと原料ガスとの混合ガス内の原料濃度を正確に調整しつつ、しかも高精度な流量制御の下でプロセスチャンバへ安定供給できるようにすると共に、混合ガス内の原料ガス蒸気濃度を高価な濃度計等を使用することなしに簡単に高精度で検出し、リアルタイムで表示できるようにする。　本発明は、マスフローコントローラ３を通してキャリアガスＧＫをソースタンク５内へ供給し、ソースタンク５内よりキャリアガスＧＫを放出すると共に、ソースタンク５を恒温部により一定温度に保持して発生せしめた原料４の飽和蒸気Ｇと前記キャリアガスＧＫとの混合ガスＧＳをプロセスチャンバへ供給するようにした原料気化供給装置において、前記ソースタンク５からの混合ガスＧＳの流出通路に自動圧力調整装置８を設けると共にその下流側にマスフローメータ９を設け、前記自動圧力調整装置８のコントロールバルブ８ａを開閉制御することによりソースタンク５の内部圧力Ｐｏを所定値に制御し、前記マスフローコントローラ３によるキャリアガスＧＫの流量Ｑ１と前記タンク内圧Ｐｏと前記マスフローメータ９の混合ガスＧｓの流量Ｑ S の各検出値を原料濃度演算部１０へ入力し、当該原料濃度演算部１０に於いて原料の流量Ｑ２をＱ２＝ＱＳ ×ＰＭＯ／ＰＯとして演算し（但し、ＰＭＯはソースタンク内の温度ｔ℃に於ける原料蒸気Ｇの飽和蒸気圧）、当該原料流量Ｑ２を用いて前記プロセスチャンバへ供給する混合ガスＧＳの原料ガス蒸気濃度ＫをＫ＝Ｑ２／ＱＳとして演算、表示する。
摘要翻译：本发明的目的是精确地调节载气和原料气体的气体混合物中的材料浓度，同时使得可以在高度精确的流量控制下将气体混合物稳定地供应到处理室，以简单且精确地检测材料气体气体混合物中的蒸汽浓度，而不使用昂贵的浓度计等，并且实时显示浓度。本发明提供一种材料蒸发供给装置，其中通过质量流量控制器（3）将载气（GK）供应到源罐（5），并且载气（GK）从源罐（5）排出，同时通过用恒温部分和所述载气（GK）将源箱（5）保持在恒定温度而产生的材料（4）的饱和蒸气（G）的气体混合物（GS）被供应到处理室。在从所述源罐（5）流动的气体混合物（GS）的流出通道处设置有自动压力控制装置（8），同时在所述自动压力控制装置的下游侧设置质量流量计（9） 8）。控制所述自动压力控制装置（8）的控制阀（8a）的打开和关闭，以将源箱（5）中的内部压力（Po）保持在规定值。检测值包括通过所述质量流量控制器（3）的载气（GK）的流量（Q1），所述罐内压（Po）和通过所述质量流的气体混合物（Gs）的流量（Qs）仪表（9）被输入到材料浓度计算单元（10）中。材料浓度计算单元（10）计算出Q2 = Qs×PMO / PO（其中PMO是原料罐温度t℃下的材料蒸气的饱和蒸汽压力（G））的材料流量（Q2）。供给到处理室的气体混合物（Gs）中的原料气体蒸气浓度（K）使用材料流量（Q2）计算为K = Q2 / Qs并显示。

2. 发明申请

WO2013018265A1 原料気化供給装置审中-公开
标题翻译：进料气化和供应装置
公开(公告)号：WO2013018265A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/JP2012/003783
申请日：2012-06-11
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 日高敦志 , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：永瀬　正明 , 日高　敦志 , 平田　薫 , 土肥　亮介 , 西野　功二 , 池田　信一
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4485
摘要：　本発明は、固体原料或いは液体原料を加熱して生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置を用いて流量制御しつつプロセスチャンバへ安定して供給できるようにすることにより、原料の気化供給装置の小型化と、半導体製品の品質向上を図ると共に、原料の残量管理を容易に出来るようにする。　本発明の原料気化供給装置は、原料を貯留したソースタンクと，ソースタンクの内部空間部から原料蒸気をプロセスチャンバへ供給する原料蒸気供給路と，当該原料蒸気供給路に介設されプロセスチャンバへ供給する原料蒸気流量を制御する圧力式流量制御装置と，前記ソースタンクと供給路と圧力式流量制御装置とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンクの内部空間部に生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置により流量制御しつつプロセスチャンバへ供給する。
摘要翻译：本发明的目的是使用压力式流量控制装置来控制通过加热固体原料或液体原料而产生的原料蒸汽的流量，同时为处理室提供一致的供应，从而使原料气化供应装置更紧凑，提高半导体产品的质量，便于残留原料的管理。该原料气化和供应装置包括：用于储存原料的源罐; 原料蒸汽供应路径，用于将原料蒸气从源罐的内部空间供给到处理室; 介于所述原料蒸气供给路径中的压力型流量控制装置，用于控制供给到所述处理室的原料蒸汽的流量; 以及用于将源箱，供给路径和压力型流量控制装置加热至设定温度的恒温加热部。在源罐的内部空间中产生的原料蒸气被供给到处理室，同时流量由压力型流量控制装置控制。

3. 发明申请

WO2012067055A1 手動弁用開度検知装置审中-公开
标题翻译：手动阀开启程度检测装置
公开(公告)号：WO2012067055A1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：PCT/JP2011/076143
申请日：2011-11-14
申请人：株式会社フジキン , 土肥亮介 , 富田厚男 , 西野功二 , 池田信一 , 宮川英行
发明人：土肥　亮介 , 富田　厚男 , 西野　功二 , 池田　信一 , 宮川　英行
IPC分类号： F16K37/00 , F16K31/60
CPC分类号： F16K37/0016 , F16K37/0041 , Y10T137/8275
摘要：　長期間にわたっての検知の信頼性が確保され、流体通路の開度の検知精度がよい手動弁用開度検知装置を提供する。　ハンドル13は、中空状とされている。変位センサ4は、ハンドル13の内面に固定されている。ターゲット5は、ハンドル13内の弁棒から所定距離離れた位置に配置されたターゲット本体22と、ターゲット本体22の変位センサ4に対向する面に形成された検知用傾斜面23と、ターゲット本体22から下方に突出する下方突出部25とを有している。ハンドル13の底壁14aに、ターゲット5の下方突出部25を上下移動可能に挿通させる貫通孔30が設けられている。ターゲット5は、その下方突出部25下面が弁本体11bで受けられることにより、ハンドル13とともに回転するが弁本体11bに対して上下移動しないようになされている。
摘要翻译：提供一种用于手动阀的开度检测装置，其能够长期执行可靠的检测并能够精确地检测流体流路的开度。把手（13）是中空的。位移传感器（4）固定在手柄（13）的内表面上。目标（5）具有：目标体（22），其设置在与手柄（13）内的阀杆隔开预定距离的位置; 形成在与所述位移传感器（4）相对的所述目标体（22）的表面上的用于检测的倾斜面（23）。以及从目标体（22）向下突出的向下突出部（25）。在手柄（13）的底壁（14a）中形成有通过所述目标（5）的向下突出部（25）插入的通孔（30），使得向下突出部（25）能够垂直移动，）。目标（5）的向下突出部分（25）的下表面被阀体（11b）接收，这使得靶（5）能够与手柄（13）一起旋转并且防止目标（5 ）相对于阀体（11b）垂直移动。

4. 发明申请

WO2007023597A1 ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：垫片型式和压力型流量控制器使用相同
公开(公告)号：WO2007023597A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/JP2006/309368
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00 , F16L55/00 , G01F1/42
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：　本発明は、圧力式流量制御装置を分解、組立することなしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにすることにより、制御流量の切換を容易に行えるようにする。　本発明のオリフィス交換型圧力式流量制御装置は、流体供給用配管の接続部を備えた入口側取付用ブロック（３９）と流体取出用配管の接続部を備えた出口側取付用ブロック（４３）との間に圧力式流量制御装置（Ａ）のコントロール弁（２）のバルブボディ（２３）を配設し、当該バルブボディ（２３）の流体入口側と前記入口側取付用ブロック（３９）とを、並びに前記バルブボディ（２３）の流体出口側と前記出口側取付用ブロック（４３）とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁（２）を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ（２３）の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔（４２ｃ）と出口側取付用ブロック（４３）のガスケット型オリフィス挿入孔（４３ｂ）との間に、圧力式流量制御装置（Ａ）のガスケット型オリフィス（３８）を着脱自在に挿着する構成とする。
摘要翻译：一种孔口可变压力型流量控制器，其能够通过在不拆卸和组装流量控制器的情况下容易地改变孔口而容易地改变控制流程。在流量控制器（A）中，控制阀（2）的阀体（23）设置在具有用于流体供给管的连接部分的入口侧安装块（39）和出口侧安装块（43）之间，具有用于流体取出管的连接部分，并且阀体（23）的流体入口侧可气密地连接到入口侧安装块（39），并且阀体（23）的流体出口侧可释放地连接气密到出口侧安装块（43）以形成允许气体通过控制阀（2）流过其中的流动通道。流量控制器（A）的垫圈型孔口（38）可拆卸地插入形成在阀体（23）的出口侧上的垫圈型孔插入孔（42c）和垫圈型孔插入孔（43b）之间出口侧安装块（43）。

5. 发明申请

WO2005068886A1 流体通路のウォータハンマーレス開放方法及びこれを用いた薬液供給方法並びにウォータハンマーレス開放装置审中-公开
标题翻译：用于无水通道的无水开放方法，使用该方法的化学供应方法和无水开式装置
公开(公告)号：WO2005068886A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/JP2005/000264
申请日：2005-01-13
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
IPC分类号： F16K47/00
CPC分类号： F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
摘要：　極く簡単な装置や操作により、ウォータハンマーを生ずることなしに、しかも短時間内に、流体通路を急開放できるようにする。　流体通路に介設したアクチエータ作動式バルブと、アクチエータ作動式バルブへ二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを供給する電空変換装置と、前記アクチエータ作動式バルブの上流側管路に着脱自在に固着した振動センサと、振動センサにより検出した振動検出信号Ｐｒが入力されると共に、電空変換装置へ前記二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａのステップ作動圧Ｐｓ′の大きさを制御する制御信号Ｓｃを出力し、当該制御信号Ｓｃの調整により電空変換装置から振動検出信号Ｐｒがほぼ零となるステップ作動圧Ｐｓ′の二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを出力させるチューニングボックスと、からウォータハンマーレス開放装置を構成する。
摘要翻译：可以通过简单的装置和操作在短时间内快速打开流体通道而不引起水锤。无水锤打开装置包括：致动器操作阀，布置在流体通道上; 用于向致动器操作阀提供两级致动器操作压力Pa的电动气动转换装置; 可拆卸地固定在致动器操作阀的管的上游侧的振动传感器; 以及调谐箱，用于接收由振动传感器检测到的振动检测信号Pr，输出用于将两状态致动器操作压力Pa的阶跃操作压力Ps的值控制到电动气动转换装置的控制信号Sc，并输出通过调整控制信号Sc，来自电动气动转换装置的振动检测信号Pr的阶梯操作压力Ps'的两级致动器操作压力Pa变为几乎为零。

6. 发明申请

WO2004066048A1 クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置审中-公开
标题翻译：用于聚集流体的流量控制方法和用于聚集流体的流量控制装置
公开(公告)号：WO2004066048A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/JP2004/000346
申请日：2004-01-16
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：　圧力式流量制御装置を用いて、真空チャンバ等へ供給するＨＦガス等のクラスター化する流体を、３～３００ＳＣＣＭ程度の流量範囲について、高精度で流量制御できるようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側のガスの圧力Ｐ１　とオリフィス下流側のガスの圧力Ｐ２　との比Ｐ２　／Ｐ１　を気体の臨界圧力比以下に保持した状態でオリフィスを流通するガスの流量ＱをＱ＝ＫＰ１　（但しＫは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置を用いたクラスター化する流体の流量制御方法に於いて、前記圧力式流量制御装置を４０℃以上の温度に加温するか、或いはクラスター化する流体に希釈ガスを加えて分圧以下にすることにより、分子の会合を解離させ、その後単分状態にしたクラスター化する流体を前記オリフィスを通して流通させる。
摘要翻译：使用压力式流量控制装置，可以在大约3-300SCCM的流量范围内高精度地控制诸如HF气体的聚集流体的流量被提供给真空室等。具体而言，使用压力型流量控制装置控制流量的聚集流体的流量的方法，其中计算流过孔口的气体的流量Q为Q = KP1（K为常数），比例为P2 / 保持高达气体的临界压力比的孔 - 上游侧气体压力P1和下游侧气体压力P2之间的P1，其中压力型流量控制装置被加热至至少40℃，或聚集添加稀释气体至最高分压，从而允许通过解离分子缔合产生的聚集流体，然后使其保持在单分子状态，流过孔口。

7. 发明申请

WO2012153455A1 流量モニタ付圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：基于压力的流量控制装置与流量监视器
公开(公告)号：WO2012153455A1
公开(公告)日：2012-11-15
申请号：PCT/JP2012/002395
申请日：2012-04-05
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 杉田勝幸
发明人：平田　薫 , 土肥　亮介 , 西野　功二 , 池田　信一 , 杉田　勝幸
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：　流体の入口側通路（８）と、入口側通路（８）の下流側に接続した圧力式流量制御部（１ａ）を構成するコントロール弁（３）と、コントロール弁（３）の下流側に接続した熱式流量センサ（２）と、熱式流量センサ（２）の下流側に連通する流体通路（１０）に介設したオリフィス（６）と、コントロール弁（３）とオリフィス（６）の間の流体通路（１０）の近傍に設けた温度センサ（４）と、コントロール弁（３）とオリフィス（６）の間の流体通路（１０）に設けた圧力センサ（５）と、オリフィス（６）に連通する出口側通路（９）と、圧力センサ（５）からの圧力信号及び温度センサ（４）からの温度信号が入力され、オリフィス（６）を流通する流体の流量値Ｑを演算すると共に演算した流量値と設定流量値との差が減少する方向にコントロール弁（３）を開閉作動させる制御信号Ｐｄを弁駆動部（３ａ）へ出力する圧力式流量演算制御部（７ａ）及び熱式流量センサ（２）からの流量信号（２ｃ）が入力され当該流量信号（２ｃ）からオリフィス（６）を流通する流体流量を演算表示する流量センサ制御部（７ｂ）とからなる制御部（７）と、から構成した流量モニタ付圧力式流量制御装置。
摘要翻译：一种具有流量监测器的基于压力的流量控制装置，所述装置包括：流体输入通道（8）; 构成基于压力的流量控制单元（1a）并连接到流体输入通道（8）的下游端的控制阀（3）; 连接到所述控制阀（3）的下游端的热基流量传感器（2）; 设置有与热基流量传感器（2）的下游端连接的流体通道（10）的孔口（6）设置在所述控制阀（3）和所述孔（6）之间的所述流体通道（10）附近的温度传感器（4）; 设置在控制阀（3）和孔（6）之间的流体通道（10）上的压力传感器（5）; 连接到孔口（6）的输出通道（9）; 以及控制单元（7），其包括基于压力的流量计算控制单元（7a），来自压力传感器（5）的压力信号和来自温度传感器（4）的温度信号被输入到该压力基流量计算控制单元传感器控制单元（7b），从热基流量传感器（2）输入流量信号（2c）。基于压力的流量计算控制单元（7a）计算流过孔口（6）的流体的流量（Q），并向阀驱动单元（3a）输出调节程度的控制信号（Pd）控制阀（3）打开，以便减小所计算的流量与设定流量之间的差。流量传感器控制单元（7b）使用上述流量信号（2c）来计算并显示流过孔口（6）的流体的流量。

8. 发明申请

WO2012147251A1 原料の気化供給装置审中-公开
标题翻译：材料蒸发供应装置
公开(公告)号：WO2012147251A1
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：PCT/JP2012/001117
申请日：2012-02-20
申请人：株式会社フジキン , 日高敦志 , 平田薫 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一
发明人：日高　敦志 , 平田　薫 , 永瀬　正明 , 土肥　亮介 , 西野　功二 , 池田　信一
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45512 , C23C16/4481 , C23C16/45557 , C23C16/52 , Y10T137/7837
摘要：本願発明は、固体原料であっても液体原料であっても、キャリアガスを原料ガスとの混合ガス内の原料濃度を正確に調整しつつ、しかも高精度な流量制御下にプロセスチャンバへ安定して供給できるようにすると共に、原料の残量管理を容易に出来るようにする気化供給装置であって、キャリアガス供給源からのキャリアガスをソースタンクの内部上方空間部へ供給する流路Ｌ１と、当該流路Ｌ１に介設され、ソースタンクの内部上方空間部の圧力を設定圧力に制御する自動圧力調整装置と、前記空間部で生成した原料蒸気とキャリアガスとの混合ガスをプロセスチャンバへ供給する流路Ｌ２と、当該流路Ｌ２に介設され、混合ガスの流量を設定流量に自動調整する流量制御装置と、ソースタンクと流路Ｌ１及び流路Ｌ２とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、前記空間部の内圧を所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバへ混合ガスを供給する構成とする。
摘要翻译：本发明涉及一种汽化供应装置，其中载气和材料气体的混合气体中的材料浓度与固体或液体材料无关地精确调节，载气可以在精确流动下稳定地供应到处理室材料的控制和残渣可以轻松管理。本发明包括：流路（L1），其将载气从载气供应源供应到源罐的上内部空间; 设置在所述流路（L1）处的流路（L2），以将所述源罐的上部内部空间中的混合气体供给到所述处理室; 流量控制单元，设置在所述流路（L2）处，以自动调节所述混合气体到预定流量的流量; 以及将源罐，流路（L1）和流路（L2）加热到规定温度的恒温加热单元。将空气的内部压力控制在保持在期望范围内，同时将混合气体供应到处理室。

9. 发明申请

WO2012014375A1 ガス供給装置用流量制御器の校正方法及び流量計測方法审中-公开
标题翻译：气体供应装置流量控制器的校准方法和流速测量方法
公开(公告)号：WO2012014375A1
公开(公告)日：2012-02-02
申请号：PCT/JP2011/003679
申请日：2011-06-28
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 池田信一 , 澤田洋平 , 平井暢 , 森崎和之 , 西野功二 , 土肥亮介
发明人：永瀬　正明 , 池田　信一 , 澤田　洋平 , 平井　暢 , 森崎　和之 , 西野　功二 , 土肥　亮介
IPC分类号： G05D7/06 , G01F3/38 , G01F25/00
CPC分类号： G01F7/005 , G01F1/34 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F25/0053 , G05D7/0652 , Y10T137/0324
摘要：　被校正流量制御器の出口側開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット（５）へ流入させ、タンク内ガス圧力及びガス温度が安定した時刻ｔ０に於いて第１回のタンク内のガス温度Ｔ０及びガス圧力Ｐ０を計測し、その後校正ユニット（５）の出口側開閉弁Ｖ２を閉鎖してタンクＢＴ内へのガスのビルドアップを行い、時刻ｔ１に於いて入口側開閉弁Ｖ１を閉鎖すると共に、当該入口側開閉弁Ｖ１の閉鎖の後の時刻ｔ２において第２回のガス温度Ｔ２及びガス圧力Ｐ２を計測し、各計測値からガス流量ＱをＱ＝（２２．４Ｖ／Ｒ・Δｔ）×（Ｐ２／Ｔ２－Ｐ０／Ｔ０）（但し、ＶはタンクＢＴの内容積、Ｒはガス定数、Δｔはビルドアップ時間ｔ１－ｔ０である）として演算し、設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。
摘要翻译：通过仅打开待校准的流量控制器的出口侧打开/关闭阀，并使具有设定流量的气体流入校准单元（5），在时间（ t0）当罐内（BT）中的气体温度和气体压力稳定时，罐内（BT）中的气体温度（T0）和气体压力（P0）第一次，然后关闭出口侧打开/关闭校准单元（5）的阀（V2），以在罐（BT）内建立气体，在时间（t1）关闭校准单元（5）的入口侧开/关阀（V1）并测量气体温度（T2）和储罐内的气体压力（P2）在第二次在入口侧开/关阀（V1）的关闭之后的时间（t2）处，计算气体流量（ Q（22.4V / R°×t）×（P2 / T2-P0 / T0）（其中V为罐内部容积（BT）），R为气体常数，Δt为t （t1-t0）），比较设定的气体流量与计算出的气体流量（Q）。

10. 发明申请

WO2007083439A1 ノーマルオープン型の圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁审中-公开
标题翻译：由压电元件驱动的正常开启的金属膜片控制阀
公开(公告)号：WO2007083439A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/JP2006/323050
申请日：2006-11-13
申请人：株式会社フジキン , 松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/14
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要： A normal-open metal diaphragm control valve driven by a piezoelectric element, capable of accurate and stable flow rate control even under high temperature environments and enabling adjustment of a compressive force applied to the piezoelectric element to be made without disassembling the control valve. Specifically, the control valve has a body (7) in which a valve chamber (7a') and a valve seat (7c) are formed, a metal diaphragm (8) disposed in the valve chamber (7a') and abutted to and separated from the valve seat (7c), an actuator box (10) secured to the body (7), the piezoelectric element (13) disposed in the actuator box (10) and extended downward by application of a voltage thereto to press the metal diaphragm (8) through a metal diaphragm retainer (12), a disc spring mechanism (14) for absorbing the extension of the piezoelectric element (13) when the metal diaphragm (8) abuts to the valve seat (7c) and applying a predetermined pressure to the valve seat (7c), and a preload mechanism (21) always applying an upward compressive force to the piezoelectric element (13) and capable of adjusting the compressive force applied to the piezoelectric element (13) from the outside.
摘要翻译：一种由压电元件驱动的常开金属隔膜控制阀，即使在高温环境下也能够精确稳定的流量控制，并且能够调节施加到压电元件上的压缩力而不拆卸控制阀。具体而言，控制阀具有形成有阀室（7a'）和阀座（7c）的主体（7），配置在阀室（7a'）内的金属隔膜（8）从所述阀座（7c），固定到所述主体（7）的致动器箱（10），设置在所述致动器箱（10）中的所述压电元件（13）并且通过施加电压向下延伸以将所述金属隔膜（8）通过金属隔膜保持器（12），盘弹簧机构（14），用于当金属隔膜（8）抵靠阀座（7c）并且施加预定压力时吸收压电元件（13）的延伸到阀座（7c），并且预压机构（21）总是向压电元件（13）施加向上的压缩力，并且能够调节从外部施加到压电元件（13）的压缩力。

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