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1. 发明申请

WO2015098372A1 圧電振動子及び圧電振動子の周波数調整方法审中-公开
标题翻译：用于压电振动器的压电振动器和频率调节方法
公开(公告)号：WO2015098372A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/JP2014/080641
申请日：2014-11-19
申请人：株式会社村田製作所
发明人：宇波　俊彦 , 亀田　英太郎
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/04
CPC分类号： H03H9/15 , H03H3/0077 , H03H3/04 , H03H9/215 , H03H9/2457 , H03H2003/0421 , H03H2003/0492
摘要：　残留物が生じ難く、高精度に周波数を調整でき、かつ強度の低下が小さい周波数調整方法を提供する。　本発明に係る圧電振動子１の周波数調整方法は、基部２と、前記基部２に連なっている連結部３ａと、前記連結部３ａから延びている複数の振動腕本体３ｂとを有し、かつ単結晶からなる振動腕部３と、前記振動腕部３上に形成されている下部電極５と、前記下部電極５上に形成されている圧電薄膜６と、前記圧電薄膜６上に形成されている上部電極７とを備える圧電振動子１を用意する工程と、前記連結部３ａに、レーザー光Ｂを照射して、変質部８を形成する工程とを備える。
摘要翻译：提供了一种频率调节方法，其中不容易发生残留，可以高精度地调节频率，并且强度降低很小。该压电振动器（1）的频率调节方法具备：制作设置有基部（2）的压电振动器（1）的步骤，包括连续部（3a）的振动臂部（3）与基部（2）和从连接部（3a）延伸的多个振动臂体（3b）形成，并由单晶体形成，下电极（5）形成在振动臂部（ 3），形成在下电极（5）上的压电薄膜（6）和形成在压电薄膜（6）上的上电极（7）; 以及通过用激光（B）照射连接部分（3a）来形成改变部分（8）的步骤。

2. 发明申请

WO2013041828A1 FILTER CIRCUIT WITH NEUTRALISED STRAY CAPACITANCE OF A PIEZO - CRYSTAL 审中-公开
标题翻译： PIEZO - 晶体中性平板电容滤波电路
公开(公告)号：WO2013041828A1
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：PCT/GB2012000735
申请日：2012-09-24
申请人： XTRA SENSE LTD , JONES PETER JOHN
发明人： JONES PETER JOHN
IPC分类号： H03H9/215 , H03H9/54 , H03H9/58
CPC分类号： H03H9/545 , H03H9/215 , H03H9/58 , H03H11/1208
摘要： The present invention relates to a filter circuit and more particularly to an improved technique for arranging electronic components in a filter. The invention is a filter which uses one or more piezo-crystal devices (680) linked to a differential amplifier (500). The transfer function of the filter is tuned by the arrangement of capacitors, resistors, and inductors, between the signal input (640) and the positive input (540) and the negative input (520) of the amplifier (500), as well as by the arrangement of the resistors, capacitors, and inductors in the negative feedback path. The resistors, capacitors, and inductors to achieve a desired transfer function can be determined by calculation utilizing the transfer function equation. The stray capacitance neutralizing filter circuit can be used in a communication or signaling system.
摘要翻译：滤波器电路技术领域本发明涉及滤波器电路，并且更具体地涉及用于将电子元件布置在滤波器中的改进技术。本发明是一种使用连接到差分放大器（500）的一个或多个压电晶体器件（680）的滤波器。滤波器的传递函数通过在放大器（500）的信号输入端（640）和正输入端（540）和负输入端（520）之间布置电容器，电阻器和电感器来调谐，以及通过在负反馈路径中布置电阻器，电容器和电感器。通过利用传递函数等式的计算可以确定实现所需传递函数的电阻器，电容器和电感器。杂散电容中和滤波器电路可用于通信或信号系统。

3. 发明申请

WO2010023728A1 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計审中-公开
标题翻译：制造压电振动器，压电振动器，振荡器，电子设备和波形时钟的方法
公开(公告)号：WO2010023728A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/JP2008/065247
申请日：2008-08-27
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 山口由美 , 須釜一義
发明人：山口由美 , 須釜一義
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02 , H03H9/19 , H03H9/215
CPC分类号： H03H3/04 , H03H9/1021 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0492
摘要：　本発明の圧電振動子の製造方法は、一対の振動腕部を備えた音叉型の圧電振動片と、前記圧電振動片を収容するパッケージと、前記一対の振動腕部のそれぞれに対応して、前記振動腕部の長手方向に沿って形成された一対の調整膜と、を備え、前記調整膜にレーザを照射して前記調整膜の一部を蒸発させることにより前記パッケージ内の真空度を一定レベル以上に調整することが可能な圧電振動子の製造方法において、前記一対の調整膜における前記一対の振動腕部の中心軸を介して対称な位置に前記レーザを照射するゲッタリング工程を有する。
摘要翻译：一种压电振动器，包括配备有一对振动臂部的音叉式压电振动片，容纳压电振动片的封装以及沿着振动臂部的长度方向形成的一对调整膜，一对振动臂部件，其中通过将激光照射到调节膜上来蒸发调整膜的一部分，可以将包装内的真空度调节至给定的水平或更高。制造压电振动器的方法具有吸气步骤，其中相对于一对振动臂部件的中心轴将激光照射在一对调节膜上的对称位置上。

4. 发明申请

WO2009031258A1 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法审中-公开
标题翻译：晶体装置和制造晶体装置的方法
公开(公告)号：WO2009031258A1
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：PCT/JP2008/001751
申请日：2008-07-03
申请人：日本電波工業株式会社 , 猪瀬直人 , 竹内敏晃
发明人：猪瀬直人 , 竹内敏晃
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/02 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/215 , H01L23/10 , H01L2924/0002 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , Y10T16/126 , Y10T16/381 , Y10T16/585 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908 , H01L2924/00
摘要：【課題】　リッド及びベースもすべて水晶から形成してそれぞれをシロキサン結合（Ｓｉ－Ｏ－Ｓｉ）により接合した水晶デバイスを提供する。【解決手段】水晶デバイス（１００）は、電極パターンを有する水晶振動片とこの水晶振動片を支える外枠（５１）とを有する水晶からなる水晶フレーム（５０）と、第１面に形成された接続電極と第１面の反対側の第２面に形成され接続電極に導通する外部電極とを有し水晶からなる水晶ベース（４０）と、を備え、水晶フレームと水晶ベースとを重ねて結合する際に、電極パターン（３３）に接続電極（４２）が接触し、外枠（５１）と水晶ベース（４０）とが接触していない。
摘要翻译： [问题]提供一种晶体装置，其中盖和基底完全由晶体形成并通过硅氧烷键（Si-O-Si）键合。解决问题的手段晶体装置（100）包括由晶体制成并具有电极图案的晶体振荡片的晶体框架（50）和用于支撑晶体振荡片的外框架（51）; 和由晶体制成并具有形成在第一表面上的连接电极的晶体基座（40）和形成在与第一表面相对的一侧上的第二表面上的外部电极，并且与连接电极导通。当晶体框架和晶体基底叠加并结合时，连接电极（42）与电极图案（33）接触，并且外框架（51）不与晶体基座（40）接触。

5. 发明申请

WO2008117891A1 水晶振動子片およびその製造方法审中-公开
标题翻译：水晶振荡器及其制造方法
公开(公告)号：WO2008117891A1
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：PCT/JP2008/056537
申请日：2008-03-26
申请人：シチズンホールディングス株式会社 , 加藤晶子 , 森谷卓
发明人：加藤晶子 , 森谷卓
IPC分类号： H03H9/215 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H3/02 , H03H9/19 , H01L21/306
CPC分类号： G01C19/5607 , H03H3/04 , H03H9/02086 , H03H9/02149 , H03H9/215 , H03H2003/026 , Y10T29/42
摘要：本発明の目的は、漏れ振動の発生が抑制された水晶振動子片及びそのような製造方法を提供することである。本発明に係る水晶振動子片の製造方法は、水晶ウェハの表面に第１エッチングマスクを形成し且つ水晶ウェハの裏面に第２エッチングマスクを形成し、エッチング溶液によって浸漬して、第１エッチングマスクと第２エッチングマスクに覆われていない部分の水晶を溶解することによって振動脚を形成するステップを有し、第２エッチングマスクにおいて、第１エッチングマスクの第１端部に対応する位置から突出した第１突出部の長さが、第１エッチングマスクと第２エッチングマスクの位置ずれに拘らず、前記第１側面側に形成される前記第１残渣を一定にするように設定され、第１及び第２エッチングマスクは、振動脚の長手方向に直交する断面に力学的に直交する図心を通る２つの主軸の内の一方が水晶ウェハの表面又は裏面と略平行に形成されるように、第２側面側に形成される第２残渣を調整することを特徴とする。
摘要翻译：抑制了产生泄漏振荡的晶体振荡片及其制造方法。制造晶体振荡片的方法包括在晶片的表面上形成第一蚀刻掩模并在其背面形成第二蚀刻掩模的步骤，将晶片浸入蚀刻溶液中，并将晶体溶解在部分没有被第一蚀刻掩模和第二蚀刻掩模覆盖以形成摆动腿，并且其特征在于，在与第一蚀刻掩模的第一端对应的位置突出的第一突起的长度设定在第二蚀刻掩模使得形成在第一侧面侧的第一残留物与第一和第二蚀刻掩模的位置偏移无关，并且第一和第二蚀刻掩模调节形成在第二侧面侧上的第二残留物，使得两个主轴通过质心并且与动态和垂直的与振荡腿的纵向正交的横截面相交 d基本上与晶片的表面或背面平行。

6. 发明申请

WO00005812A1 PIEZO-OSCILLATOR AND PRODUCTION METHOD THEREOF 审中-公开
标题翻译： PIEZO振荡器及其制造方法
公开(公告)号：WO00005812A1
公开(公告)日：2000-02-03
申请号：PCT/JP1999/003977
申请日：1999-07-23
IPC分类号： B44C1/22 , C03C15/00 , C03C25/68 , C23F1/00 , H03H3/02 , H03H9/215 , H04R17/00 , H03H9/19
CPC分类号： H03H9/215 , H03H3/02 , Y10T29/42 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/49156
摘要： A piezo-oscillator which prevents an exciting electrode from being kept open between the upper surface and the lower surface of a piezo-oscillator piece even when a noble metal layer is partly removed in order to increase the adhesiveness of a surface protection layer; and a production method of the piezo-oscillator. An electrode pattern (40) of an exciting electrode (45) in the piezo-oscillator piece (2) of the piezo-oscillator (1) is formed of a base metal layer (41). An electrode pattern (40) of a conductive electrode (46) is formed of a base metal layer (41) except at portions where the side surfaces (271, 272) of the piezo-oscillator piece (2) have curved or bent shapes. The electrode pattern (40) at those portions is formed of a base material layer (41) and a gold electrode layer (42).
摘要翻译：即使在部分除去贵金属层的同时也能够抑制激发电极在压电振子片的上表面和下表面之间保持打开的压电振子，以增加表面保护层的粘合性; 以及压电振荡器的制造方法。压电振子（1）的压电振子片（2）中的激励电极（45）的电极图案（40）由基底金属层（41）形成。除了压电振子片（2）的侧面（271,272）具有弯曲或弯曲形状的部分之外，导电电极（46）的电极图案（40）由基底金属层（41）形成。这些部分处的电极图案（40）由基材层（41）和金电极层（42）形成。

7. 发明申请

WO2015072057A1 圧電ウェハ、圧電振動片、及び圧電振動子审中-公开
标题翻译：压电陶瓷，压电振动片，压电振动片
公开(公告)号：WO2015072057A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/JP2014/004784
申请日：2014-09-17
申请人：株式会社大真空
发明人：古賀　忠孝 , 藤井　智 , 澁谷　浩三 , 石野　悟 , 森本　賢周 , 大谷　和輝
IPC分类号： H03H9/19 , H03H3/02 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0595 , H01L41/0475 , H01L41/053 , H01L41/33 , H03H3/02 , H03H9/02393 , H03H9/10 , H03H9/21 , H03H9/215 , H03H2003/026 , H03H2003/0428
摘要：　圧電ウェハは、圧電振動片と、圧電振動片を支持する枠部と、圧電振動片を枠部に連結する連結部とを有する。圧電振動片に、一対の第１及び第２金属バンプが並設される。連結部に、その幅方向に延びるスリットが、連結部の幅方向の一部であるブリッジを除いて形成される。ブリッジの幅方向端は、連結部の幅方向に垂直な方向において、両金属バンプから離隔しており、かつ、両金属バンプと重なっていない。
摘要翻译：该压电晶片具有：压电振动片; 支撑压电振动片的框架部分; 以及将压电振动片与框架部连接的连接部。一对第一和第二金属凸块在压电振动片上彼此平行地设置。在连接部分中，除了连接部分的宽度方向上的桥接部分，即连接部分之外，形成沿着连接部分的宽度方向延伸的狭缝。在桥的宽度方向上的桥端在垂直于连接部的宽度方向的方向上与金属凸块间隔开，并且不与金属凸块重叠。

8. 发明申请

WO2014002892A1 音叉型水晶振動子审中-公开
标题翻译：冲击式水晶振荡器
公开(公告)号：WO2014002892A1
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：PCT/JP2013/067081
申请日：2013-06-21
申请人：株式会社村田製作所
发明人：西村　俊雄 , 開田　弘明 , 長谷　貴志
IPC分类号： H03H9/19 , H01L41/09 , H01L41/18 , H03H9/215
CPC分类号： H03H9/215
摘要：　振動特性の向上を図り得る音叉型水晶振動子を提供する。　基部３と、第１の端部４ａ，５ａと第２の端部４ｂ，５ｂとを有し、第１の端部４ａ，５ａが基部３に連ねられている振動アーム部４，５とを有し、かつ水晶からなる音叉型振動片２と、振動アーム部４，５に設けられている振動電極７，８とを備え、振動アーム部４，５には、貫通孔４ｃと、４個以上の桟６とが設けられており、振動アーム部４，５の第１の端部４ａ，５ａと第２の端部４ｂ，５ｂとを結ぶ方向を振動アーム部４，５の長さ方向とし、振動アーム部４，５の長さ方向と直交する方向を振動アーム部４，５の幅方向としたとき、貫通孔４ｃの長さ方向が振動アーム部４，５の長さ方向と同じ方向とされており、桟６の幅方向が振動アーム部４，５の長さ方向と同じ方向とされており、開口率＝｛（貫通孔４ｃの長さ方向の寸法－桟６の幅方向の寸法×桟６の数）／貫通孔４ｃの長さ方向の寸法｝が０．５０～０．９３の範囲にある、音叉型水晶振動子１。
摘要翻译：提供能够改善振动特性的音叉型晶体振荡器。音叉型晶体振荡器（1）具有：包括晶体的音叉式振动片（2），具有基部（3）和振动臂（4,5），所述振动臂具有第一端部（4a， 5a）和第二端（4b，5b），所述第一端（4a，5a）与所述基座（3）邻接; 以及设置在所述振动臂（4,5）上的振动电极（7,8）。振动臂（4,5）设置有通孔（4c）和至少四个横梁（6）。随着连接作为振动臂（4,5）的长度方向的第一端（4a，5a）和第二端（4b，5b）的振动臂（4,5）的方向，以及垂直于作为振动臂（4,5）的宽度方向的振动臂（4,5）的长度方向，通孔（4c）的长度方向与振动臂的长度方向相同（方向）横梁（6）的宽度方向与振动臂（4,5）的长度方向相同。通孔（4c）长度方向尺寸 - 横档（6）宽度方向尺寸×横档数量（6））/通孔（4c）长度方向尺寸}的开口率在0.50-0.93的范围内。

9. 发明申请

WO2013092920A3 METHOD OF PRODUCING A RESONATOR 审中-公开
标题翻译：生产谐振器的方法
公开(公告)号：WO2013092920A3
公开(公告)日：2013-10-03
申请号：PCT/EP2012076498
申请日：2012-12-20
申请人： SWATCH GROUP RES & DEV LTD
发明人： HESSLER THIERRY , DALLA PIAZZA SILVIO
IPC分类号： G04F5/06 , B23K26/00 , B81C1/00 , G02B6/12 , G04B17/06 , G04B17/34 , G04C3/12 , G04G17/02
CPC分类号： H03H9/19 , B23K26/0057 , B81B2201/0271 , B81B2203/0118 , B81C1/00595 , B81C2201/0143 , F21V17/02 , G04B17/066 , G04B17/345 , G04C3/12 , G04F5/063 , G04G17/02 , H01L41/0475 , H01L41/332 , H03H9/215
摘要： The present invention relates to a method of fabricating a resonator in a substrate, characterized in that it comprises the following steps: a) modifying the structure of at least one zone of the substrate so as to render said at least one zone more selective; b) etching said at least zone so as to selectively fabricate said resonator.
摘要翻译：本发明涉及一种在衬底中制造谐振器的方法，其特征在于它包括以下步骤：a）改变衬底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具选择性; b）蚀刻所述至少一个区域以选择性地制造所述谐振器。

10. 发明申请

WO2010097907A1 パッケージの製造方法、並びにパッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計审中-公开
标题翻译：封装制造方法，封装，压电振荡器，振荡器，电子器件和无线电控制手表
公开(公告)号：WO2010097907A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2009/053336
申请日：2009-02-25
申请人：セイコーインスツル株式会社 , 須釜一義
发明人：須釜一義
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02 , H03H9/19 , H03H9/21 , H03H9/215
CPC分类号： H03H9/215 , H03H3/02 , H03H9/1021 , H03H9/21 , H03H2003/022 , Y10T29/42
摘要：　このパッケージの製造方法は、互いに接合された複数の基板と；被収納物を気密封止した状態で収納するキャビティと；ベース基板を貫通する貫通孔内に配置され被収納物と外部とを電気的に接続する芯材部と；貫通孔と芯材部との間に充填されると共に焼成され両者間を封止するガラスフリットと；を備えるパッケージを、平板状の頭部と頭部の裏面から突出する芯材部とを有する鋲体を用いて製造する方法であって、頭部の裏面がベース基板の第１面に接触するまで貫通孔内に芯材部を挿入する鋲体配置工程と；貫通孔と芯材部との間にペースト状のガラスフリットを充填するガラスフリット充填工程と；充填されたガラスフリットを焼成して貫通孔と鋲体とガラスフリットとを一体的に固定させ貫通孔と芯材部との間を封止する焼成工程と；を備え、鋲体の頭部の裏面には、芯材部の基端から頭部の側面または表面に連通するガス逃げ流路が形成されている。
摘要翻译：提供一种通过使用具有从头部的后部突出的平坦头部和芯部的铆钉来制造包装的包装制造方法。该包装包括彼此连接的多个基板，用于容纳气密状态的物体的空腔，布置在穿过基底基板的通孔中的芯部，用于将物体和外部电连接，以及玻璃玻璃料填充在通孔和芯部之间并烧结以密封两者。包装制造方法包括铆钉布置步骤，用于将芯部插入到通孔中，使得头部的背面接触基底基板的第一面;玻璃料填充步骤，用于将糊状玻璃料填充在通孔和芯部，以及烧结步骤，用于烧结填充的玻璃料，使得通孔，铆钉和玻璃料一体地固定以密封通孔和芯部。在铆钉的头部的后部，形成有从芯部的基端引导到头部的侧面或表面的气体释放通道。

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