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1. 发明申请

WO2018008198A1 共振子及び共振装置审中-公开
公开(公告)号：WO2018008198A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/JP2017/011184
申请日：2017-03-21
申请人：株式会社村田製作所
发明人：後藤　雄一
IPC分类号： H03H9/10 , B81B3/00 , H01L41/113 , H03H9/24
CPC分类号： H03H9/10 , B81B3/0045 , B81B3/0097 , B81B2201/0271 , B81B2201/032 , B81B2203/0163 , H01L41/1138 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/15 , H03H9/2405 , H03H9/2489 , H03H2009/155 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要：保持部上の絶縁体層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。圧電膜と、当該圧電膜を間に挟んで対向するように設けられた下部電極及び上部電極とを有し、所定の振動モードで振動する振動部と、振動部における振動の変位が最大となる変位最大領域の周囲に少なくとも設けられ、絶縁膜を有する保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕と、保持部における少なくとも振動部の変位最大領域に対向する領域において、保持部の絶縁膜に接して形成された導電部と、を備え、導電部は、下部電極又は前記上部電極と電気的に接続されるか、又は、接地される。

2. 发明申请

WO2011010521A1 表面実装用水晶振動子审中-公开
标题翻译：表面安装水晶振荡器
公开(公告)号：WO2011010521A1
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：PCT/JP2010/060596
申请日：2010-06-16
申请人：日本電波工業株式会社 , 水沢周一
发明人：水沢　周一
IPC分类号： H03H9/02 , H01L23/02 , H03H9/10 , H03H9/19
CPC分类号： H03H9/1035 , H03H9/0595
摘要：　本発明は、周波数特性の経時変化を抑制できる表面実装振動子を提供することを目的とする。第１及び第２励振電極５ａ，５ｂを両主面に有する振動部６を枠部７が取り囲み、振動部６と枠部７とが連結部８ａ，８ｂによって接続した枠付き水晶板２と、ベース３及びカバー４とからなる表面実装用の水晶振動子１において、枠部７のベース３と対向する主面を枠部７の周方向の２箇所で分断してなる２つの領域の一領域に第１金属膜１７が形成され、また、他領域に第２金属膜１８が形成されて、第１金属膜１７が第１励振電極５ａと電気的に接続され、他方、第２金属膜１８が第２励振電極５ｂと電気的に接続されて、第１金属膜及び第２金属膜の表面に形成した封止材２０によって枠部７とベース３とが接合され、第１金属膜１７と第２金属膜１８との間の間隙領域１９がガラス２１で埋められて振動部６が密閉封入される構成とする。
摘要翻译：提供了能够抑制频率特性的时间变化的表面贴装晶体振荡器。表面安装晶体振荡器（1）包括具有框架的晶体板（2），其中在其相对的主表面上设置有振荡单元（6），其具有第一和第二激励电极（5a，5b），并被框架（7）和振动单元（6）和框架（7）通过连接部分（8a，8b）连接; 基地（3）; 和盖（4）。框架（7）的面向基座（3）的主表面在框架（7）的圆周方向上分成两部分以限定两个区域，并且第一金属膜（17）形成在一个和第二金属膜（18）形成在另一区域上。第一金属膜（17）与第一激励电极（5a）电连接，第二金属膜（18）与第二激励电极（5b）电连接。框架（7）和基座（3）通过形成在第一金属膜（17）和第二金属膜（18）的表面上的密封材料（20）连接。在第一金属膜（17）和第二膜（18）之间的间隙区域（19）内嵌有振动单元（6）被气密密封的玻璃（21）。

3. 发明申请

WO2010074127A1 PIEZOELECTRIC OSCILLATION DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING A PIEZOELECTRIC OSCILLATION DEVICE, AND ETCHING METHOD OF STRUCTURAL COMPONENTS FORMING A PIEZOELECTRIC OSCILLATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：压电振荡器件，制造压电振荡器件的方法和形成压电振荡器件的结构元件的蚀刻方法
公开(公告)号：WO2010074127A1
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：PCT/JP2009071401
申请日：2009-12-24
申请人： DAISHINKU CORP , KOHDA NAOKI , YOSHIOKA HIROKI
发明人： KOHDA NAOKI , YOSHIOKA HIROKI
IPC分类号： H03H9/02 , H01L23/02 , H03H3/02
CPC分类号： H01L41/332 , B01D2325/02 , C23C8/40 , C23C12/00 , H01L23/3731 , H01L23/3732 , H01L23/3733 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L41/23 , H01L41/25 , H01L41/29 , H01L41/33 , H01L2924/0002 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/0552 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/045 , H03H2003/0457 , Y10T29/42 , H01L2924/00
摘要： A piezoelectric oscillation device is provided with a piezoelectric oscillating plate forming an excitation electrode, and an upper cover and a lower cover for hermetically sealing the excitation electrode, and has a bonding region for each of the upper cover and the lower cover on the front and back main surfaces of the piezoelectric oscillating plate, a region for bonding the piezoelectric oscillating plate to a primary surface of the upper cover, and a region for bonding the piezoelectric oscillating plate to a primary surface of the lower cover. Bonding material is formed in each of the bonding region of the piezoelectric oscillating plate, the bonding region of the upper cover, and the bonding region of the lower cover. The bonding region of the piezoelectric oscillating plate and the bonding region of the upper cover are bonded by the bonding material. The bonding region of the piezoelectric oscillating plate and the bonding region of the lower cover are bonded by the bonding material. In addition, at least one of the base of the bonding region of the piezoelectric oscillating plate, the base of the bonding region of the upper cover, and the base of the bonding region of the lower cover is roughened.
摘要翻译：压电振荡装置设置有形成激励电极的压电振荡板，以及用于气密地密封激发电极的上盖和下盖，并且具有用于前盖和下盖的每一个的接合区域，以及压电振荡板的背面主表面，用于将压电振荡板接合到上盖的主表面的区域，以及用于将压电振荡板接合到下盖的主表面的区域。在压电振荡板的接合区域，上盖的接合区域和下盖的接合区域中的每一个中形成接合材料。压电振荡板的接合区域和上盖的接合区域通过接合材料接合。压电振荡板的接合区域和下盖的接合区域通过接合材料接合。此外，压电振荡板的接合区域的基底，上盖的接合区域的底部和下盖的接合区域的基底中的至少一个被粗糙化。

4. 发明申请

WO2009031258A1 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法审中-公开
标题翻译：晶体装置和制造晶体装置的方法
公开(公告)号：WO2009031258A1
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：PCT/JP2008/001751
申请日：2008-07-03
申请人：日本電波工業株式会社 , 猪瀬直人 , 竹内敏晃
发明人：猪瀬直人 , 竹内敏晃
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/02 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/215 , H01L23/10 , H01L2924/0002 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , Y10T16/126 , Y10T16/381 , Y10T16/585 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908 , H01L2924/00
摘要：【課題】　リッド及びベースもすべて水晶から形成してそれぞれをシロキサン結合（Ｓｉ－Ｏ－Ｓｉ）により接合した水晶デバイスを提供する。【解決手段】水晶デバイス（１００）は、電極パターンを有する水晶振動片とこの水晶振動片を支える外枠（５１）とを有する水晶からなる水晶フレーム（５０）と、第１面に形成された接続電極と第１面の反対側の第２面に形成され接続電極に導通する外部電極とを有し水晶からなる水晶ベース（４０）と、を備え、水晶フレームと水晶ベースとを重ねて結合する際に、電極パターン（３３）に接続電極（４２）が接触し、外枠（５１）と水晶ベース（４０）とが接触していない。
摘要翻译： [问题]提供一种晶体装置，其中盖和基底完全由晶体形成并通过硅氧烷键（Si-O-Si）键合。解决问题的手段晶体装置（100）包括由晶体制成并具有电极图案的晶体振荡片的晶体框架（50）和用于支撑晶体振荡片的外框架（51）; 和由晶体制成并具有形成在第一表面上的连接电极的晶体基座（40）和形成在与第一表面相对的一侧上的第二表面上的外部电极，并且与连接电极导通。当晶体框架和晶体基底叠加并结合时，连接电极（42）与电极图案（33）接触，并且外框架（51）不与晶体基座（40）接触。

5. 发明申请

WO2007035004A1 双音叉型圧電振動素子、及び圧力センサ审中-公开
标题翻译：调谐双压电振荡元件和压力传感器
公开(公告)号：WO2007035004A1
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：PCT/JP2006/319629
申请日：2006-09-25
申请人：エプソントヨコム株式会社 , 石井修
发明人：石井修
IPC分类号： G01L9/00 , H01L41/08 , H03H9/19
CPC分类号： G01L1/162 , G01L9/0022 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/21
摘要：並行に配置された二本のアーム部、及び該各アーム部の両端を支持する第１及び第２の支持部を備えた圧電素子と、該各アーム部の表面に形成した励振用電極と、を備えた双音叉型圧電振動素子であって、感圧素子として圧力センサに組み込むに適した構造を備えたものを提供する。並行して離間配置された二本のアーム部４、及び各アーム部の両端を夫々支持する第１及び第２の支持部５，６を備えた圧電素子３と、各アーム部の表面に形成した励振用電極７と、を備えた双音叉型圧電振動素子であって、第１及び第２の支持部間を環状連設片８により連設することにより、二本のアーム部を環状連設片の内部空間内に配置した。
摘要翻译：一种调谐双叉压电振荡元件，其包括配置有平行布置的两个臂的压电元件和用于支撑每个臂的相对端的第一和第二支撑部分，以及形成在每个臂的表面上的激励电极，适用于将压力传感器作为压敏元件结合的结构。调谐双叉压电振荡元件包括：压电元件（3），其配备有彼此间隔开的平行布置的两个臂（4），以及用于支撑每个臂的相对端部的第一和第二支撑部分（5,6）以及形成在每个臂的表面上的激励电极（7），其中通过环形连接件（8）连接第一和第二支撑部分，两个臂布置在环形连续件的内部空间中。

6. 发明申请

WO2018008480A1 共振子及び共振装置审中-公开
标题翻译：谐振器和谐振器装置
公开(公告)号：WO2018008480A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/JP2017/023622
申请日：2017-06-27
申请人：株式会社村田製作所
发明人：後藤　雄一 , 福光　政和
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/10 , B81B3/0045 , B81B3/0097 , B81B2201/0271 , B81B2201/032 , B81B2203/0163 , H01L41/1138 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/15 , H03H9/2405 , H03H9/2489 , H03H2009/155 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要：保持部上の絶縁体層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制する。圧電膜と、当該圧電膜を間に挟んで対向するように設けられた下部電極及び上部電極とを有し、所定の振動モードで振動する振動部と、振動部における振動の変位が最大となる変位最大領域の周囲に少なくとも設けられ、絶縁膜を有する保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕と、保持部における少なくとも振動部の変位最大領域に対向する領域において、保持部の絶縁膜に接して形成された導電部と、を備え、導電部は、下部電極又は前記上部電極と電気的に接続されるか、又は、接地される。
摘要翻译：
抑制在谐振频率上保持部分上的绝缘层中充电的电荷的影响。一种压电膜，和一个下部电极和设置成面对所述压电膜和振动以规定的振动模式中的振动部之间彼此的上电极，在所述振动部的振动的位移是最大提供至少围绕所述最大位移区域，和具有绝缘膜，和一个保持臂用于连接所述夹持部分和在相对至少所述保持部的振动部，所述保持部分的最大位移区域的区域中的振动部的保持部并且导电部分形成为与绝缘膜接触，其中导电部分电连接到下电极或上电极，或者接地。

7. 发明申请

WO2010035457A1 圧電デバイスとその製造方法审中-公开
标题翻译：压电元件及其制造方法
公开(公告)号：WO2010035457A1
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/JP2009/004789
申请日：2009-09-24
申请人：日本電波工業株式会社 , 川原浩
发明人：川原浩
IPC分类号： H03H9/02 , H01L23/02 , H01L23/08 , H01L23/10 , H03H3/02 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/1035 , H01L23/10 , H01L2924/0002 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H03H9/0595 , H01L2924/00
摘要：【課題】　スルーホールを封止材で密封後、封止材を覆うように外部電極層を形成することで、ハンダ付けの接合が良好で導通もよい圧電デバイスを提供することである。【解決手段】　圧電デバイス（１００）は、リッド（１０）と、励振電極が形成された圧電振動片と引出電極とを含む圧電プレート（２０）と、スルーホール（ＴＨ）を有するベース（４０）とが結合された圧電デバイスである。そして、ベースは、圧電プレート側で引出電極と接続される接続電極（４２，４４）と、接続電極に導通しスルーホールに形成されたスルーホール電極（１５）と、スルーホール電極に導通し圧電プレートの反対面に形成された第１外部電極層（５０）と、スルーホール電極を封止する封止材（７０）と、第１外部電極層（５０）と封止材（７０）とを覆うように形成された第２外部電極層(５０ａ)と、を備える。
摘要翻译：压电装置通过形成外部电极层，通过使用焊料具有良好的接合性和优异的导电性，以便在用密封材料密封通孔之后覆盖密封材料。在压电装置（100）中，包括具有在其上形成有振动电极的压电振动片和抽出电极的盖（10），压电板（20）和具有通孔（TH）的基座（40）被连接。基座设置有：连接电极（42,44），其连接到压电板侧的引出电极; 通孔电极（15），其与所述连接电极电连接并形成在所述通孔中; 第一外部电极层（50），其与所述通孔电极电连接并形成在与所述压电板相反的表面上; 密封所述通孔电极的密封材料（70）; 和形成为覆盖第一外部电极层（50）和密封材料（70）的第二外部电极层（50a）。

8. 发明申请

WO2008102900A1 パッケージ型圧電振動子及びパッケージ型圧電振動子の製造方法审中-公开
标题翻译：包装式压电振动器及制造包装式压电振动器的方法
公开(公告)号：WO2008102900A1
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/JP2008/053126
申请日：2008-02-19
申请人：日本電波工業株式会社 , 高橋岳寛
发明人：高橋岳寛
IPC分类号： H03H9/02 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H3/02 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/1035 , H01L2924/16195 , H03H9/0595 , Y10T29/42
摘要：　本発明の目的はウエハの段階でパッケージングを行うことができ、量産に適したパッケージ型圧電振動子を提供することである。本発明のパッケージ型水晶振動子は、圧電基板の下面側にべ一ス体を接合した時に、段差面と圧電基板の枠部の下面との間に引出電極が密着した状態で介在し、べ一ス体の凹部の空間が気密にシールされる構造となっている。従って、圧電基板の上面側に蓋体を接合し、圧電基板の下面側にべ一ス体を接合するだけで、圧電基板を容易に気密封止することができ、製造エ程の複雑化が避けられる。
摘要翻译：提供一种能够在晶片级封装并适合批量生产的封装型压电振动器。封装型结晶振子具有这样的结构，其中当基体接合在压电基板的下表面侧时，通过使引出电极粘附在压电基板的框架部分的台阶表面和下表面之间来存在引出电极并且基体的凹部的空间被气密地密封。因此，压电基板能够容易地气密密封，并且通过将压电基板的上表面侧的壳体接合并将基体接合在电介质基板的下表面侧，防止制造工艺复杂化。

9. 发明申请

WO2008102481A1 圧電共振子の製造方法及び圧電共振子审中-公开
标题翻译：制造压电谐振器的方法和压电谐振器
公开(公告)号：WO2008102481A1
公开(公告)日：2008-08-28
申请号：PCT/JP2007/071104
申请日：2007-10-30
申请人：株式会社村田製作所 , 森村哲也
发明人：森村哲也
IPC分类号： H03H3/02 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22 , H03H9/17
CPC分类号： H03H3/04 , H03H9/1035 , H03H9/132 , H03H9/177
摘要：　製造工程の煩雑さを招くことなく、特性ばらつきが少なく、圧電振動部への振動の閉じ込め性が良好であり、良好な周波数特性を得ることを可能とする圧電共振子の製造方法を得る。　圧電基板１の第１の主面１ａ上に第１の励振電極２を形成し、第２の主面１ｂ上に第２の励振電極３を形成し、第１の主面１ａ上に圧電振動部と隔てられて、圧電振動部の周囲の領域内に第１の分極電極４，５を形成し、第２の主面１ｂにおいて、圧電振動部と隔てられて圧電振動部の周囲の領域内に第２の分極電極６，７を形成し、第１，２の励振電極２，３間、及び第１の分極電極４，５と第２の分極電極６，７との間にそれぞれ直流電圧を印加して分極する、各工程を備える、圧電共振子１の製造方法。
摘要翻译：制造压电谐振器的方法，其中抑制了特性的变化而不会使制造过程复杂化，从而提高了对压电振动部分的振动的限制，并获得了良好的频率特性。制造压电谐振器（1）的方法包括在压电基板（1）的第一主表面（1a）上形成第一激励电极（2）的步骤，用于形成第二激励电极（3）的步骤第二主表面（1b），在第一主表面（1a）周围的压电振动部分周围的区域中形成第一极化电极（4,5），同时将第一极化电极与压电振动部分隔开的步骤，用于在第二主表面（1b）周围的压电振动部分周围的区域中形成第二极化电极（6,7）的步骤，同时将第二极化电极与压电振动部分隔开，并且通过施加DC 电压分别在第一和第二激励电极（2,3）之间以及第一极化电极（4,5）和第二极化电极（6,7）之间。

10. 发明申请

WO2006080341A1 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品审中-公开
标题翻译：压电振动元件和压电振荡元件
公开(公告)号：WO2006080341A1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：PCT/JP2006/301131
申请日：2006-01-25
申请人：京セラ株式会社 , 中井泰広 , 山川健二
发明人：中井泰広 , 山川健二
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/17 , H03H9/19 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H03B5/32
CPC分类号： H03H9/177 , H03H9/0538 , H03H9/1035
摘要：　この圧電発振素子１は、圧電基板１０と、圧電基板１０の一方の主面に形成された第一の導体膜２１と、他方の主面に形成された第二の導体膜２２と、圧電基板１０の側面に形成された接地端子３１ａ，３１ｂとを有する。圧電基板１０の主面に形成された第一、第二の導体膜２１、２２と、その側面に形成された接地端子３１ａ，３１ｂとの間に、それぞれ所定の容量を形成している。同一主面上に電極同士を近接配置して容量を形成した場合に比べて、より大きな容量を形成することができ、第一、第二の導体膜２１、２２の間に発生する厚み振動に悪影響を与えない。
摘要翻译：一种压电振动元件（1），包括压电基板（10），形成在压电基板（10）的一个主表面上的第一导体膜（21），形成在另一主表面上的第二导体膜（22）形成在压电基板（10）的侧面上的接地端子（31a，31b）。分别在形成在压电基板（10）的主表面上的第一和第二导体膜（21,22）和形成在其侧表面上的接地端子（31a，31b）之间形成指定电容。可以形成比在彼此靠近的电极设置在同一主表面上以形成电容的电容更大的电容，从而不会对在第一和第二导体膜（21,22）之间产生的厚度振动产生不利影响。

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