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1. 发明申请

WO2011127394A8 IMPROVED ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：改进的离子源
公开(公告)号：WO2011127394A8
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/US2011031763
申请日：2011-04-08
申请人： E A FISCHIONE INSTR INC , MATESA JOSEPH M JR , FISCHIONE PAUL E
发明人： MATESA JOSEPH M JR , FISCHIONE PAUL E
IPC分类号： H01J37/08
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/04 , H01J37/3056 , H01J2237/061 , H01J2237/0815
摘要： An ion source utilizes independently powered electrodes isolated by a series of insulators. The ion source comprises an anode electrode with a hollow interior, where the anode is disposed between a cathode and an anti-cathode. A magnet imposes a magnetic field in an axial direction through the bore of the anode. The ion source includes a first voltage differential between the anode and cathode for the production of plasma and a second voltage differential between the anode and the anti-cathode for extraction of ions from the plasma, which ion beam is preferably of a narrow diameter at low beam energy. The voltage differential between the anti-cathode and anode is adjusted to control the initial beam divergence of extracted ions. An optional focus electrode with an independent power supply further focuses the ion beam.
摘要翻译：离子源利用由一系列绝缘体隔离的独立供电的电极。离子源包括具有中空内部的阳极电极，其中阳极设置在阴极和反阴极之间。磁体通过阳极的孔沿轴向施加磁场。离子源包括在用于产生等离子体的阳极和阴极之间的第一电压差和用于从等离子体提取离子的阳极和反阴极之间的第二电压差，该离子束优选地在低的低直径处光束能量。调整反阴极和阳极之间的电压差以控制提取的离子的初始光束发散。具有独立电源的可选聚焦电极进一步聚焦离子束。

2. 发明申请

WO02082489A2 ION SOURCE FILAMENT AND METHOD 审中-公开
标题翻译：离子源纤维和方法
公开(公告)号：WO02082489A2
公开(公告)日：2002-10-17
申请号：PCT/US0210113
申请日：2002-04-03
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
发明人： REYES JAIME M
IPC分类号： H01J27/04 , H01J27/08 , H01J27/14 , H01J37/08 , H01L21/265 , H01J3/00
CPC分类号： H01J27/04 , H01J27/08 , H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/31701 , H01L21/26506
摘要： Ion source filaments, as well as methods and apparatus associated with the same are provided. The source filaments have a design that includes a relatively small surface area from which electrons are emitted (i.e., active portion) as compared to certain conventional source filaments. Suitable designs include filaments that have a V-shape or U-shape active portion, rather than a coiled active portion as in certain conventional source filaments. The source filaments of the present invention can increase the efficiency of ion generation and, in particular, the generation of multiply charged ionic species. The increased ion generation efficiency may enable formation of ion beams having relatively high beam currents suitable for implantation.
摘要翻译：提供了离子源丝，以及与其相关的方法和装置。源极丝具有包括与某些常规源丝相比发射电子的相对小的表面积（即，活性部分）的设计。合适的设计包括具有V形或U形活性部分的长丝，而不是像某些常规的源长丝中的卷绕的活性部分。本发明的源丝可以提高离子产生的效率，特别是产生多电荷离子物质。增加的离子产生效率可以形成具有适合于植入的相对较高的束流的离子束。

3. 发明申请

WO99030348A1 ELECTRON SOURCES UTILIZING PATTERNED NEGATIVE ELECTRON AFFINITY PHOTOCATHODES 审中-公开
标题翻译：电子源利用图形负电子亲水光刻胶
公开(公告)号：WO99030348A1
公开(公告)日：1999-06-17
申请号：PCT/US1998/025820
申请日：1998-12-04
IPC分类号： H01J40/06 , G03F7/20 , H01J3/02 , H01J27/04 , H01J37/073 , H01J37/075 , H01J40/16
CPC分类号： G03F7/70375 , H01J3/021 , H01J27/04 , H01J37/073 , H01J37/075 , H01J40/16 , H01J2201/3423 , H01J2237/06333 , H01J2237/31779
摘要： An electron source includes a negative electron affinity photocathode (10) on a light-transmissive substrate (12) and a light beam generator (50) for directing a light beam (22) through the substrate (12) at the photocathode (10) for exciting electrons into the conduction band. The photocathode (10) has at least one active area for emission of electrons with dimensions of less than about two micrometers. The electrons source further includes electron optics (32, 66) for forming the electrons into an electron beam (30) and a vacuum enclosure (14, 62) for maintaining the photocathode (10) at high vacuum. The photocathode (10) is patterned to define emission areas. A patterned mask may be located on the emission surface of the active layer, may be buried within the active layer or may be located between the active layer and the substrate (12).
摘要翻译：电子源包括在透光基板（12）上的负电子亲和光电阴极（10）和用于在光电阴极（10）处引导光束（22）穿过基板（12）的光束发生器（50），用于激发电子进入导带。光电阴极（10）具有用于发射尺寸小于约两微米的电子的至少一个有效面积。电子源还包括用于将电子形成电子束（30）的电子光学器件（32,66）和用于将光电阴极（10）保持在高真空度的真空外壳（14,62）。图案化光电阴极（10）以限定发射区域。图案化掩模可以位于有源层的发射表面上，可以被掩埋在有源层内或者可以位于有源层和衬底（12）之间。

4. 发明申请

WO1998013851A1 ION SOURCE FOR GENERATING IONS OF A GAS OR VAPOUR 审中-公开
标题翻译：用于产生气体或蒸气的离子的离子源
公开(公告)号：WO1998013851A1
公开(公告)日：1998-04-02
申请号：PCT/HU1996000054
申请日：1996-09-27
申请人： BARNA, Arpád , SZIGETHY, Dezso"e;
IPC分类号： H01J27/06
CPC分类号： H01J27/04 , H01J2237/08 , H01J2237/3114
摘要： An ion source for generating ions of a gas or vapour, especially for thinning solid state samples, comprising a housing (28), means for introducing (31) said gas or vapour into said housing (28), an anode (3) positioned within said housing (28), said anode (3) having a rotationally symmetrical cavity (21) being open at both sides along the axis (30) of the source, first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) disposed along said axis (30) and defining therebetween a space within which said anode (3) is positioned, said first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) creating an electrostatic field so as to cause electrons to oscillate between them, wherein at least one of said first and second electrooptical mirror means (1, 2; 5, 4) being apertured for exit therethrough of a fraction of ions generated in said space. The ion source further comprises means for generating electrons (12) disposed at one of said sides of said cavity (21) and positioned outside said space, and means for causing said generated electrons to move into said cavity (21).
摘要翻译：用于产生气体或蒸汽离子的离子源，特别是用于稀释固体样品的离子源，包括壳体（28），用于将所述气体或蒸汽引入（31）到所述壳体（28）中的装置，阳极（3）所述壳体（28），所述阳极（3）具有旋转对称的空腔（21），沿着所述源极的轴线（30）在两侧敞开，所述第一和第二电光镜装置（1,2; 5,4）沿着所述轴线（30）并且在其间限定所述阳极（3）所在的空间，所述第一和第二电光镜装置（1,2; 5,4）产生静电场，以使电子在它们之间振荡，其中所述第一和第二电光镜装置（1,2; 5,4）中的至少一个用于在所述空间中产生的一部分离子穿过其中。离子源还包括用于产生设置在所述空腔（21）的所述侧面之一并且位于所述空间外部的电子（12）的装置，以及用于使所述产生的电子移动到所述空腔（21）中的装置。

5. 发明申请

WO2013116787A1 METHOD AND APPARATUS FOR LIFETIME EXTENSION OF COMPACT SURFACE PLASMA SOURCE (CSPS) 审中-公开
标题翻译：紧凑型表面等离子体源（CSPS）的寿命延长的方法和装置
公开(公告)号：WO2013116787A1
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：PCT/US2013/024516
申请日：2013-02-01
申请人： MUONS, INC. , DUDNIKOV, Vadim
发明人： DUDNIKOV, Vadim
IPC分类号： H01J27/02 , H05H1/24
CPC分类号： H01J27/02 , H01J27/04
摘要： In a particular embodiment, a device is disclosed that includes means for providing a negative ion source comprising a compact surface plasma source (CSPS) with a significantly increased average beam current, increased brightness, and an extended operation time. The device also includes means for operating the negative ion source comprising the CSPS with the significantly increased average beam current, increased brightness, and the extended operation time for high current, high brightness negative ion beam production. In another particular embodiment, a method is disclosed that includes steps for providing a negative ion source comprising a compact surface plasma source (CSPS) with a significantly increased average beam current, increased brightness, and an extended operation time. The method also includes steps for operating the negative ion source comprising the CSPS with the significantly increased average beam current, increased brightness, and the extended operation time for high current, high brightness negative ion beam production.
摘要翻译：在特定实施例中，公开了一种装置，其包括用于提供负离子源的装置，该负离子源包括具有显着增加的平均束电流，增加的亮度和延长的操作时间的紧凑的表面等离子体源（CSPS）。该装置还包括用于操作包括CSPS的负离子源的装置，其具有显着增加的平均束电流，增加的亮度以及用于高电流，高亮度负离子束产生的延长的操作时间。在另一个具体实施方案中，公开了一种方法，其包括用于提供负离子源的步骤，所述负离子源包括具有显着增加的平均束电流，增加的亮度和延长的操作时间的紧凑表面等离子体源（CSPS）。该方法还包括用于操作包括CSPS的负离子源的步骤，其具有显着增加的平均束电流，增加的亮度和用于高电流，高亮度负离子束产生的延长的操作时间。

6. 发明申请

WO2013045596A3 INORGANIC MATERIALS, METHODS AND APPARATUS FOR MAKING SAME, AND USES THEREOF 审中-公开
标题翻译：无机材料，制造方法和装置及其用途
公开(公告)号：WO2013045596A3
公开(公告)日：2013-08-08
申请号：PCT/EP2012069156
申请日：2012-09-27
申请人： MORGAN ADVANCED MATERIALS PLC , BRORS DANIEL , DEMARAY RICHARD ERNEST , SLUTZ DAVID
发明人： BRORS DANIEL , DEMARAY RICHARD ERNEST , SLUTZ DAVID
IPC分类号： H01J37/08 , C23C14/32 , C23C16/452 , H01J27/02 , H01J37/317
CPC分类号： H01L21/0262 , C23C14/0617 , C23C14/32 , C30B23/066 , C30B29/403 , F27B14/10 , F27B2014/104 , H01J27/022 , H01J27/04 , H01J37/08 , H01J37/3178 , H01L21/02444 , Y10T428/31504
摘要： PVD and HPHT methods and apparatus for producing materials, for example nitrides, are disclosed.
摘要翻译：公开了用于生产材料的PVD和HPHT方法和装置，例如氮化物。

7. 发明申请

WO2005081920A3 FLUID-COOLED ION SOURCE 审中-公开
标题翻译：流体冷却离子源
公开(公告)号：WO2005081920A3
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/US2005005537
申请日：2005-02-22
申请人： VEECO INSTR INC , BURTNER DAVID MATTHEW , TOWNSEND SCOTT A , SIEGFRIED DANIEL E , ZHURIN VIACHESLAV V
发明人： BURTNER DAVID MATTHEW , TOWNSEND SCOTT A , SIEGFRIED DANIEL E , ZHURIN VIACHESLAV V
IPC分类号： G01T1/18 , H01J7/24 , H01J47/02 , H01J47/06 , H01J47/08
CPC分类号： H01J27/04 , H01J2237/002 , H01J2237/08
摘要： An ion source (400) is cooled using a cooling plate (412) that is separate and independent of the anode (408). The coolin plate (412) forms a coolant cavity (414) through which a fluid coolant (e.g., liquid or gas) can flow to cool the anode. In such configurations, a magnet may be thermally protected by the cooling plate. A thermally conductive material in a thermal transfer interface component can enhance the cooling capacity of the cooling plate. Combining these structures into an anode subassembly and magnet subassembly can also facilitate assembly and maintenance of the ion source.
摘要翻译：使用与阳极（408）分离且独立的冷却板（412）来冷却离子源（400）。冷却板（412）形成冷却剂腔（414），流体冷却剂（例如，液体或气体）可以流过冷却剂腔以冷却阳极。在这种构造中，磁体可被冷却板热保护。传热介质部件中的导热材料可以提高冷却板的冷却能力。将这些结构组合成阳极子组件和磁体子组件也可以促进离子源的组装和维护。

8. 发明申请

WO2002082492A1 HELIUM ION GENERATION METHOD AND APPARATUS 审中-公开
标题翻译： HELIUM离子发生方法和装置
公开(公告)号：WO2002082492A1
公开(公告)日：2002-10-17
申请号：PCT/US2002/010242
申请日：2002-04-03
申请人： VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人： REYES, Jaime, M , PRILLAMAN, Charles
IPC分类号： H01J27/08
CPC分类号： H01J27/04 , H01J27/08 , H01J27/14 , H01J37/08 , H01J2237/31701 , H01L21/26506 , H01L21/2658
摘要： The invention provides method and apparatus for generating helium ions. The methods involve providing a mixture of helium gas with a second gas in an ion source. The second gas has a lower ionization potential and larger molecules than that of helium. The helium gas is ionized by generating an arc discharge within the ion source. The presence of the second gas enhances the ionization of the helium gas. The increased helium ionization enables formation of helium ion beams having a high beam currents suitable for implantation.
摘要翻译：本发明提供了用于产生氦离子的方法和装置。该方法包括在离子源中提供氦气与第二气体的混合物。第二气体具有比氦气更低的电离电位和更大的分子。通过在离子源内产生电弧放电来使氦气离子化。第二气体的存在增强了氦气的电离。增加的氦离子化能够形成具有适合于植入的高束流的氦离子束。

9. 发明申请

WO2016189614A1 イオンミリング装置、及びイオンミリング方法审中-公开
标题翻译：离子切割装置和离子切割方法
公开(公告)号：WO2016189614A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：PCT/JP2015/064884
申请日：2015-05-25
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：谷　友樹 , 高須　久幸 , 竹内　秀一
IPC分类号： H01J37/30 , H01J27/04 , H01J37/08 , H01J37/305
CPC分类号： H01J27/04 , H01J37/08 , H01J37/243 , H01J37/30 , H01J37/302 , H01J37/305 , H01J2237/08
摘要：本発明は、イオンガン（１）に付着した堆積物の処理が可能なイオンミリング装置（１００）、及びイオンガン（１）に付着した堆積物の処理が可能なイオンミリング方法を提供することを課題とし、イオンミリング装置（１００）が、イオンガン（１）に向けてガスを噴射するガス噴射手段（２）を備えること、また、イオンミリング装置（１００）が備えるガス噴射手段（２）により前記イオンガン（１）の内部に向けてガスを噴射して、前記イオンガン（１）に付着した付着物を移動させることに関する。
摘要翻译：本发明解决了提供一种能够处理附着在离子枪（1）上的沉积材料的离子研磨装置（100）的问题。以及能够处理附着在离子枪（1）上的沉积材料的离子研磨方法。本发明涉及以下特征：其中：离子铣削装置（100）设置有朝向离子枪（1）喷射气体的气体喷射装置（2）; 并且使用设置在离子铣削装置（100）上的气体喷射装置（2）将气体喷射到离子枪（1）的内部，使附着在离子枪（1）上的材料移动。

10. 发明申请

WO2007016432A3 APPARATUS AND METHOD FOR COUPLING MICROFLUIDIC SYSTEMS WITH A MASS SPECTROMETER UTILIZING RAPID VOLTAGE SWITCHING 审中-公开
标题翻译：使用快速电压开关的质谱仪耦合微流体系统的装置和方法
公开(公告)号：WO2007016432A3
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/US2006029600
申请日：2006-07-28
申请人： UNIV WEST VIRGINIA , TIMPERMAN AARON T , LENKE JAMES , RAZUNGUZWA TRUST
发明人： TIMPERMAN AARON T , LENKE JAMES , RAZUNGUZWA TRUST
IPC分类号： B01D59/44 , H01J49/00
CPC分类号： H01J49/165 , B01L3/5027 , C07K1/26 , H01J27/04 , H01J49/0018
摘要： The invention relates to an apparatus for coupling microfluidic systems with electrospray ionization mass spectrometry utilizing a hydrodynamic flow. The invention also relates to a method of preventing a sample in a main channel (25) of a microfluidic device (11) from migrating down either a first side channel (31) or a second side channel (33) by rapidly alternating a voltage being applied to the first side channel (31) and the second side channel (33).
摘要翻译：本发明涉及一种利用流体动力学流动的电喷雾质谱联用微流体系统的装置。本发明还涉及一种防止微流体装置（11）的主通道（25）中的样品沿着第一侧通道（31）或第二侧通道（33）向下移动的方法，通过快速交替地将电压施加到第一侧通道（31）和第二侧通道（33）。

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