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1. 发明申请

WO2016147118A1 PROCESS FOR MANUFACTURING A VACUUM AND RADIO-FREQUENCY METAL GASKET AND STRUCTURE INCORPORATING IT 审中-公开
标题翻译：制造真空和无线电频率金属垫片的方法和结合起来
公开(公告)号：WO2016147118A1
公开(公告)日：2016-09-22
申请号：PCT/IB2016/051464
申请日：2016-03-15
申请人： ISTITUTO NAZIONALE DI FISICA NUCLEARE
发明人： ALESINI, David , LOLLO, Valerio , BATTISTI, Antonio
IPC分类号： F16J15/08 , F16L23/20
CPC分类号： F16J15/0887 , F16J15/0806 , H01J37/065 , H01J2237/166
摘要： A process for manufacturing a metal gasket allowing a ultra high vacuum sealing, without air bags trapped between the gasket and the connected portions, and at the same time implementing an electric continuity at the joint which does not produce any stress or discharges if subjected to radio-frequencies even with high intensity, comprises the steps of: providing a metal gasket (1) the cross-section thereof has a sealing head (2) with conical shape, with a flat base (4) constituting an inner face of the gasket and a conical body the upper and lower edges thereof (5, 6), adjacent to the base, are intended to be tightened between two metal portions therebetween a gasket compartment is formed (10) having a pre-fixed depth, and a centering tail (3) with an extension to be corresponded to said prefixed depth; arranging the gasket (1) in said compartment (10) by resting the distal end (7) of said tail (3) onto the bottom (16) of the compartment (10); and tightening the two metal portions one against the other one by implementing the required sealing and by interrupting the tightening before deforming the inner face of the gasket (1) by creating a discontinuity between the connected surfaces.
摘要翻译：一种用于制造金属垫片的方法，其允许超高真空密封，而没有密封垫和连接部分之间的空气袋，并且同时在接头处实施电连续性，如果经受无线电，则不产生任何应力或放电 - 即使具有高强度的频率，包括以下步骤：提供金属衬垫（1），其横截面具有圆锥形的密封头（2），其中构成衬垫内表面的平底座（4）和一个圆锥体，其上下边缘（5,6），邻近底座，旨在被紧固在两个金属部分之间，形成具有预定深度的垫圈隔间（10）和定中心 3）具有对应于所述预定深度的延伸部分; 通过将所述尾部（3）的远端（7）放置在隔室（10）的底部（16）上来将垫圈（1）布置在所述隔室（10）中; 并且通过实现所需的密封并且通过在连接的表面之间产生不连续性而使垫片（1）的内表面变形之前中断紧固，将两个金属部分一个压靠另一个。

2. 发明申请

WO2013042425A1 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の調整方法、および試料の検査若しくは試料の観察方法审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置，用于调整充电颗粒光束装置的方法以及观察样品或检查样品的方法
公开(公告)号：WO2013042425A1
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：PCT/JP2012/067035
申请日：2012-07-04
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 大南祐介 , 大瀧智久 , 伊東祐博
发明人：大南　祐介 , 大瀧　智久 , 伊東　祐博
IPC分类号： H01J37/28 , G21K5/00 , G21K5/04 , H01J37/18 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
摘要：　大気圧空間と減圧空間とを分離するための薄膜周辺部の構成を最適化することによって、試料（６）を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置を提供する。第一の筐体（７）を排気する真空排気ポンプ（４）と、第一の筐体（７）内で、照射により得られる荷電粒子線を検出する検出器（３）と、少なくとも第一の筐体（７）若しくは第二の筐体（８）のいずれかの一部か、若しくは別体として構成され、第一の筐体（７）内と第二の筐体（８）内との間の少なくとも一部を隔てる隔壁部と、隔壁部に設けられ、荷電粒子照射部側の開口面積が試料（６）側の開口面積よりも大きい開口部（１０ａ）と、開口部（１０ａ）の試料（６）側を覆い、一次荷電粒子線及び荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜（１３）と、を備える荷電粒子線装置を提供する。
摘要翻译：提供了一种带电粒子束装置，其可以通过优化用于分离大气压力空间和减压空间的薄膜周边部分的构造来观察大气环境或气体环境中的样品（6）。提供一种带电粒子束装置，其具有：排空第一壳体（7）的真空抽气泵（4）; 检测器（3），其位于所述第一壳体（7）中并且检测通过照射获得的带电粒子束; 被构造为第一壳体（7）和/或第二壳体（8）的一部分的分隔壁部分，或者作为分离体，并且分隔第一壳体（7）的内部中的至少一部分，和第二壳体（8）的内部; 设置在所述分隔壁部上并且所述带电粒子照射单元侧的所述开口面积大于所述样品（6）侧的开口面积的开口部（10a）以及覆盖孔部（10a）的样品（6）侧的薄膜（13），并且允许一次带电粒子束和带电粒子束透射或通过。

3. 发明申请

WO2011125704A9 PLASMA PROCESSING DEVICE AND PLASMA PROCESSING METHOD 审中-公开
标题翻译：等离子体处理装置和等离子体处理方法
公开(公告)号：WO2011125704A9
公开(公告)日：2012-02-23
申请号：PCT/JP2011057957
申请日：2011-03-30
申请人： TOKYO ELECTRON LTD , YONEZAWA RYOTA , TAKAHASHI TETSURO , OSAKI YOSHINORI , SUZUKI KOUKI , SAITO TOMOHIRO , YAMASHITA JUN , SATO YOSHIHIRO , SHIOZAWA TOSHIHIKO , YAMAZAKI KOICHI , FURUKI KAZUHIRO
发明人： YONEZAWA RYOTA , TAKAHASHI TETSURO , OSAKI YOSHINORI , SUZUKI KOUKI , SAITO TOMOHIRO , YAMASHITA JUN , SATO YOSHIHIRO , SHIOZAWA TOSHIHIKO , YAMAZAKI KOICHI , FURUKI KAZUHIRO
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/50 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/32192 , H01J37/3222 , H01J2237/166
摘要： The disclosed device has a ring shaped O-ring (29a), which is between a dielectric plate (28) and a support unit (13a) on a lid member (13), and has a spacer (60) which forms a gap (d), on the outer peripheral side of the O-ring (29a), between the dielectric plate (28) and the support unit (13a) of the lid member (13), the lid member being arranged above a processing container (1). Due to the gap (d), the lid member (13) and the dielectric plate (28) do not come into contact and become worn, even if the lid member (13) and the dielectric plate (28) thermally expand due to the heat of the plasma within the processing container (1), thus damage to the dielectric plate (28) and the generation of particles can be prevented.
摘要翻译：所公开的装置具有在盖构件（13）上的介电板（28）和支撑单元（13a）之间的环形O形环（29a），并且具有形成间隙的间隔件（60） d）在O形环（29a）的外周侧，电介质板（28）和盖构件（13）的支撑单元（13a）之间，盖构件设置在处理容器（1）的上方）。由于间隙（d），即使盖构件（13）和电介质板（28）由于上述（d）的热膨胀而热膨胀，盖构件（13）和电介质板（28）也不会接触并磨损处理容器（1）内的等离子体的热量，从而损坏电介质板（28）并且可以防止颗粒的产生。

4. 发明申请

WO2011026607A3 PARTICLE BEAM PROCESSING DEVICE SUCH AS AN ELECTRON BEAM PROCESSING DEVICE 审中-公开
标题翻译： TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG作为电子设备处理
公开(公告)号：WO2011026607A3
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/EP2010005350
申请日：2010-08-31
申请人： GLOBAL BEAM TECHNOLOGIES AG , VOKURKA FRANZ
发明人： VOKURKA FRANZ
IPC分类号： H01J37/16 , B23K15/00 , B23K15/06 , G21K5/10 , H01J37/30 , H01J37/31
CPC分类号： H01J37/16 , B23K15/002 , B23K15/06 , H01J37/30 , H01J2237/0245 , H01J2237/166
摘要： The invention relates to a particle beam processing device having a particle beam generator (7), and a vacuum chamber (101) comprising a chamber volume (V) that can be evacuated, wherein the vacuum chamber (101) has a chamber wall (1) with a first opening which is formed in the chamber wall (1). Said device also has a first cover (2) which is designed to cover the first opening (O1) and be rotated about a first rotational axis extending through the first opening, and a second opening which is formed in the first cover (2). Said device also has a second cover (3) which is designed to cover the second opening, be rotated about a second rotational axis extending through the second opening, and move the particle beam generator (7). The particle beam generator (7) can be displaced in a first direction (Z) within the chamber volume (V) that can be evacuated.
摘要翻译：本发明提供一种Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung其中带电粒子束（7），具有可抽真空的腔室容积（V）的真空室（101），其中，具有与在所述腔室壁上形成的第一开口的腔室的壁的真空室（101），第一盖（2），其适合于覆盖所述第一开口和围绕旋转的第一轴旋转通过第一开口和与在所述第一盖的第二开口（2）形成的，其包括，并且其适于覆盖所述第二开口和围绕旋转的第二轴的第二盖（3）被旋转和带电粒子束（7）移动穿过第二开口，该开口。在抽空室体积（V）可在第一方向（Z）的带电粒子束（7）。

5. 发明申请

WO2008100056A1 DOOR FOR VACUUM CHAMBER 审中-公开
标题翻译：真空室门
公开(公告)号：WO2008100056A1
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：PCT/KR2008/000818
申请日：2008-02-12
申请人： HUMAN MEDITEK CO., LTD. , KO, Jung Suek
发明人： KO, Jung Suek
IPC分类号： H05H1/34
CPC分类号： A61L2/14 , H01J37/16 , H01J37/32458 , H01J2237/166
摘要： A door for a vacuum chamber is disclosed. The present invention is constructed to prevent the door, for opening or closing an opening which is provided in one surface of a chamber, from being deformed by a bending load generated when a vacuum is created in the chamber, thus enabling a vacuum to be reliably created in the chamber, and reducing the cost of maintenance of the door. The door includes a chamber having in one surface thereof an opening. A door is rotated to open or close the opening of the chamber. A guide plate is fastened to an outer surface of the door in such a way as to be spaced apart from the door by a predetermined interval, and is rotatably coupled at one end thereof to a hinge assembly.
摘要翻译：公开了一种用于真空室的门。本发明被构造成防止门打开或关闭设置在室的一个表面中的开口由于在室中产生真空而产生的弯曲载荷而变形，从而使得真空可靠在室内创建，并降低门的维护成本。门包括在其一个表面上具有开口的室。旋转门以打开或关闭室的开口。引导板以与预定间隔与门隔开的方式紧固到门的外表面，并且在其一端可旋转地联接到铰链组件。

6. 发明申请

WO2017212236A1 WELDING HEAD FOR ELECTRON OR LASER BEAM WELDING WITH TWO SEALS HAVING DIFFERENT SHORE HARDNESS 审中-公开
标题翻译：用于电子或激光束焊接的焊接头，两种不同的岸上硬度的密封件
公开(公告)号：WO2017212236A1
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：PCT/GB2017/051622
申请日：2017-06-06
申请人： AQUASIUM TECHNOLOGY LIMITED
发明人： PLUMB, Paul , DUMONT, Conrad
IPC分类号： B23K15/00 , B23K15/06 , H01J37/18 , B23K26/21 , B23K26/14 , B23K26/70 , B23K26/12
CPC分类号： B23K15/002 , B23K15/0046 , B23K15/06 , B23K26/1224 , B23K26/1462 , B23K26/21 , B23K26/702 , H01J37/16 , H01J37/315 , H01J2237/0245 , H01J2237/162 , H01J2237/166
摘要： There is provided welding apparatus (10) having a welding head (20) comprising an outer face attachable to a welding device (16) such as an electron beam gun or laser, an inner face sealable to a workpiece (12), and an outer sealing ring and an inner sealing ring situated within the inner face and disposed on either side of an evacuatable region, wherein the outer and inner sealing rings are formed from different materials, the outer sealing ring being formed from a material with a Shore hardness of between 50 to 70 and the inner sealing ring being formed from a material with a Shore hardness of 20 to 40. The welding head can be circular or teardrop-shaped. A bridging seal can extend from within the inner sealing ring to the outer sealing ring.
摘要翻译：提供了一种具有焊接头（20）的焊接设备（10），所述焊接头包括可附接到诸如电子束枪或激光器之类的焊接设备（16）的外表面，可密封到工件（12）以及位于内表面内并设置在可抽空区域的任一侧上的外密封环和内密封环，其中外密封环和内密封环由不同材料形成，外密封环由肖氏硬度在50到70之间的材料，内部密封环由肖氏硬度为20到40的材料形成。焊接头可以是圆形或泪滴形。桥接密封可以从内部密封环延伸到外部密封环。

7. 发明申请

WO2016202782A1 VAKUUMVENTIL MIT LINEARER FÜHRUNGSEINHEIT UND VENTILSYSTEM MIT EBENSOLCHEM VENTIL UND ANTRIEB 审中-公开
标题翻译：与直线引导装置和阀系统真空阀新近这种阀和驱动
公开(公告)号：WO2016202782A1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：PCT/EP2016/063602
申请日：2016-06-14
申请人： VAT HOLDING AG
发明人： WEISS, Wolfgang
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/314 , F16K27/04 , H01J37/18
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/314 , F16K27/044 , H01J37/18 , H01J2237/166 , H01J2237/184
摘要： Vakuumventileinheit (10) zum gasdichten Schliessen eines Bewegungspfades mittels einer Linearbewegung, mit einem Ventilgehäuse (11) mit einer Durchtrittsöffnung (13) für den Bewegungspfad, und mit einer die Durchtrittsöffnung (13) umschliessenden Ventilsitzfläche. Die Vakuumventileinheit (10) weist ferner ein Verschlusselement (12) auf, das linear entlang einer zu der Öffnung quer verlaufenden Verstellachse in einer Verschlusselementebene von einer geöffneten Position in eine geschlossene Position in eine Schliessrichtung und umgekehrt zurück in eine Öffnungsrichtung verschiebbar ist, und eine der Ventilsitzfläche entsprechende Form aufweisende Verschlusselementfläche aufweist. Die Flächennormalen der Dichtflächen verlaufen im Wesentlichen parallel zu der Verschlusselementebene und die Flächen sind derart ausgebildet, dass jeweilige Hauptabschnitte (14a,14b,15a,15b) in jeweils zumindest zwei Ebenen parallel zur Verschlusselementebene vorliegen. Die Vakuumventileinheit weist eine Linearführungseinheit (20) auf, mit einem Führungselement, einer Führungsaufnahme und einer Rückstellkomponente. Das Ventilgehäuse (11) ist mit dem Verschlusselement (12) mittels der Linerführungseinheit (20) derart beweglich verbunden, dass dadurch die lineare Verschiebbarkeit entlang der Verstellachse definiert bereitgestellt ist, und die Rückstellkomponente wirkt derart mit dem Führungselement und der Führungsaufnahme zusammen, dass das Führungselement und die Führungsaufnahme mit einer Rückstellkraft parallel zur Verstellachse beaufschlagt sind.
摘要翻译：真空阀单元（10），用于通过线性运动的装置的移动路径的气密封闭，具有用于移动路径的通道开口（13）的阀壳体（11），以及所述通道开口与一个封闭（13）的阀座。真空阀单元（10）还包括封闭元件（12），其是沿一个平面，以在封闭元件平面上的开口横向调节轴线性移动从打开位置向关闭方向关闭位置，反之亦然回的开口方向，中的一个具有形状对应的封闭元件表面上的阀座面。密封面的表面法线大致平行于所述封闭元件的平面并形成表面，使得各自的主要部分（14A，14B，15A，15B）在每种情况下在至少两个平面中存在平行于所述封闭元件的水平。真空阀单元包括直线引导装置（20），具有导向元件，导向凹槽和恢复元件。在阀壳体（11）是由衬垫导引部的装置连接到所述封闭元件（12）（20）移动，从而提供了通过沿着调节轴线的线性位移限定，并且以这样一种方式反射部分的行为，与引导件和引导座一起，即导向元件和引导座经受平行于调节轴线返回力。

8. 发明申请

WO2013051357A1 検査又は観察装置及び試料の検査又は観察方法审中-公开
标题翻译：检查或观察设备和样本检查或观察方法
公开(公告)号：WO2013051357A1
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：PCT/JP2012/072290
申请日：2012-09-03
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 大南祐介 , 許斐麻美 , 伊東祐博 , 大瀧智久 , 河西晋佐
发明人：大南　祐介 , 許斐　麻美 , 伊東　祐博 , 大瀧　智久 , 河西　晋佐
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/226 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2007 , H01J2237/204 , H01J2237/2602 , H01J2237/2608
摘要：　使い勝手良く試料を荷電粒子技術及び光学技術にて的確に検査又は観察することが可能な検査装置、観察装置が提供される。　荷電粒子照射部から放出された一次荷電粒子線が試料に到達する間の少なくとも一部の領域となる真空状態に維持可能な第一空間（１１）の少なくとも一部を形成する第一の筐体（７）と、該第一筐体（７）に具備され前記試料を格納可能な第二空間（１２）の少なくとも一部を形成する第二筐体（１２１）と、前記荷電粒子照射部から照射された一次荷電粒子線が試料上に照射する際の前記荷電粒子照射部の同軸上に配置され、前記第一空間と前記第二空間とを隔てる隔壁部（１０）と、前記試料に対し光を照射し、前記荷電粒子照射部と同方向から前記試料からの光を検出する光学式観察部と、を備える検査又は観察装置が提供される。
摘要翻译：提供一种能够使用带电粒子技术和光学技术以易于使用的方式精确地检查或观察样本的检查装置/观察装置。提供了一种检查或观察装置，其具有：第一壳体（7），其形成能够保持在真空状态并且是间隙的至少一部分的至少一部分的至少一部分第一空间（11）从带电粒子照射部发射的初级带电粒子束到达样本; 设置在所述第一壳体（7）上的第二壳体（121），并形成能够存储所述试样的第二空间（12）的至少一部分; 当将从带电粒子照射部照射的一次带电粒子束照射到被检体上时，分隔壁部分（10）被放置成与带电粒子照射部分同轴，所述隔壁部分（10）将第一空间和第二个空间; 以及将光照射到试样上的光学观察部，并从与带电粒子照射部相同的方向检测来自试样的光。

9. 发明申请

WO2011026607A2 TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG WIE EINE ELEKTRONENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG作为电子设备处理
公开(公告)号：WO2011026607A2
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/EP2010/005350
申请日：2010-08-31
申请人： GLOBAL BEAM TECHNOLOGIES AG , VOKURKA, Franz
发明人： VOKURKA, Franz
IPC分类号： H01J37/16
CPC分类号： H01J37/16 , B23K15/002 , B23K15/06 , H01J37/30 , H01J2237/0245 , H01J2237/166
摘要： Es wird eine Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung angegeben, die einen Teilchenstrahlgenerator (7), eine Vakuumkammer (101) mit einem evakuierbaren Kammervolumen (V), wobei die Vakuumkammer (101) eine Kammerwand (1) mit einer ersten Öffnung (O1), die in der Kammerwand (1) ausgebildet ist, aufweist, eine erste Abdeckung (2), die dazu angepasst ist, die erste Öffnung (O1) abzudecken und um eine erste Drehachse (C1), die durch die erste Öffnung (O1) geht, gedreht zu werden, und die eine zweite Öffnung (02), die in der ersten Abdeckung (2) ausgebildet ist, aufweist, und eine zweite Abdeckung (3), die dazu angepasst ist, die zweite Öffnung (O2) abzudecken und um eine zweite Drehachse (C2), die durch die zweite Öffnung (O2) geht, gedreht zu werden und den Teilchenstrahlgenerator (7) zu bewegen, aufweist. Der Teilchenstrahlgenerator (7) ist in einer ersten Richtung (Z) in dem evakuierbaren Kammervolumen (V) verfahrbar.
摘要翻译：本发明提供一种Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung其中带电粒子束（7），具有可抽真空的腔室容积（V）的真空室（101），其中所述真空室（101）包括一个室壁（1）具有第一开口（O1），其（在腔室壁 1）被形成，具有覆盖其适于将所述第一开口（O1的第一盖（2））和（第一旋转轴C1）被旋转穿过所述第一开口（O1），和其上形成形成于第一盖（2）的第二开口（02），以及在第二盖（3），其适于将所述第二开口（O2），以覆盖和围绕第二旋转轴线（C2），通过所述第二开口（O2）要被旋转和带电粒子束（7）移动，。在抽空室体积（V）可在第一方向（Z）的带电粒子束（7）。

10. 发明申请

WO2010102757A1 METHOD FOR ASSEMBLING AN ELECTRON EXIT WINDOW AND AN ELECTRON EXIT WINDOW ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：用于组装电子退出窗和电子出口窗组件的方法
公开(公告)号：WO2010102757A1
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：PCT/EP2010/001376
申请日：2010-03-05
申请人： TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A. , POPPI, Luca , BENEDETTI, Paolo
发明人： POPPI, Luca , BENEDETTI, Paolo
IPC分类号： H01J33/04 , H01J5/18 , H01J37/16
CPC分类号： H01J9/263 , B23K20/02 , H01J5/18 , H01J9/24 , H01J33/04 , H01J37/16 , H01J2237/04 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , Y10T156/10 , Y10T428/13
摘要： The present invention refers to a method for assembling an electron exit window of an electron beam generating device, comprising the steps of: arranging a foil support plate (208) on a housing of the electron beam generating device, bonding a window foil (206) to a frame (214) along at least one continuous bonding line (218), thus creating an exit window sub-assembly (216), and attaching the exit window sub-assembly (216) onto the housing. The invention also relates to an electron exit window assembly.
摘要翻译：本发明涉及一种用于组装电子束产生装置的电子出射窗的方法，包括以下步骤：将箔支撑板（208）布置在电子束产生装置的壳体上，将窗箔（206）沿着至少一个连续粘合线（218）连接到框架（214），从而产生出口窗口子组件（216），并将出口窗口子组件（216）附接到壳体上。本发明还涉及一种电子出射窗组件。

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