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1. 发明申请

WO2016116363A1 METHOD AND DEVICE FOR CHARACTERIZING AN ELECTRON BEAM 审中-公开
标题翻译：用于表征电子束的方法和装置
公开(公告)号：WO2016116363A1
公开(公告)日：2016-07-28
申请号：PCT/EP2016/050742
申请日：2016-01-15
申请人： ARCAM AB
发明人： LOCK, Tomas
IPC分类号： B29C67/00 , B23K15/00 , H01J37/30 , H01J37/304 , G01T1/29
CPC分类号： H01J37/3045 , B22F3/1055 , B22F2003/1056 , B22F2003/1057 , B23K15/0013 , B23K15/002 , B23K15/0026 , B23K15/0086 , B23K15/02 , B28B1/001 , B28B17/00 , B28B17/0081 , B29C64/153 , B29C64/20 , B29C64/386 , B29C67/0077 , B29C67/0088 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , B33Y50/02 , G01T1/295 , H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J37/3005 , H01J37/304 , H01J37/305 , H01J37/317 , H01J2237/0453 , H01J2237/2445 , H01J2237/2448 , H01J2237/24514 , H01J2237/2826 , H01J2237/30433 , H01J2237/3045 , H01J2237/30472 , H01J2237/3128 , Y02P10/295
摘要： A device for detecting X-rays radiated out of a substrate surface, said device comprising at least one X-ray detector, a resolver grating and a modulator grating, said resolver grating with at least one opening facing towards said X-ray detector is arranged in front of said X-ray detector. Said modulator grating is provided between said resolver grating and said substrate at a predetermined distance from said resolver grating and said substrate, where said modulator grating having a plurality of openings in at least a first direction, wherein said x-rays from said surface is spatially modulated with said modulator grating and resolver grating.
摘要翻译：一种用于检测从基板表面辐射出的X射线的装置，所述装置包括至少一个X射线检测器，旋转变压器光栅和调制器光栅，所述解析器光栅具有面向所述X射线检测器的至少一个开口，在X射线探测器前面。所述调制器光栅设置在所述旋转变压器光栅和所述衬底之间，距离所述分解器光栅和所述衬底预定距离处，其中所述调制器光栅在至少第一方向上具有多个开口，其中来自所述表面的所述X射线在空间上用调制器光栅和旋转变压器光栅进行调制。

2. 发明申请

WO2015125511A1 試料ホルダ、観察システム、および画像生成方法审中-公开
标题翻译：样本持有人，观察系统和图像生成方法
公开(公告)号：WO2015125511A1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/JP2015/050426
申请日：2015-01-09
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：庄子　美南 , 大嶋　卓 , 大南　祐介 , 森下　英郎 , 原田　邦男
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要：　透過荷電粒子による像観察を簡便に行うことを目的とする。荷電粒子線が照射される試料が直接または所定の部材を介して配置された発光素子（２３）に，試料の内部を透過または散乱した荷電粒子が入射して放出される光を，光伝達手段（２０３）を用いて効果的に捕集し検出することで，試料の透過荷電粒子像を生成する。
摘要翻译：本发明的目的是简单地通过透射带电粒子进行图像观察。由带电粒子束照射的样品直接或通过预定部件设置在发光元件（23）上，其中已经穿过或散射在样品内的带电粒子进入，从而从中收集光，使用光传输装置（203）有效地检测以产生样本的透射带电粒子图像。

3. 发明申请

WO2014017544A1 元素分析装置审中-公开
公开(公告)号：WO2014017544A1
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/JP2013/070066
申请日：2013-07-24
申请人：国立大学法人京都大学
发明人：今宿　晋 , 冬野　直人 , 河合　潤
IPC分类号： G01N23/225 , G01N21/62 , H01J37/252
CPC分类号： G01N23/2252 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/2445
摘要：　本発明は、携帯性に優れると共に、ランタノイド系列の諸希土類元素についても個別に分離し、正しく同定及び定量することが可能な元素分析装置を提供することを課題とする。本発明に係る元素分析装置は、真空容器と、前記真空容器内に配置された焦電結晶と、前記真空容器内に、試料を載置する面が前記焦電結晶の一方の面に対向すると共に、該焦電結晶の他方の面と電気的に接続され、かつ、接地されるように配置された導電性の試料台と、前記焦電結晶を加熱又は冷却するペルチェ素子と、前記試料台に載置した試料から放出される特性Ｘ線のスペクトルを検出する特性Ｘ線スペクトル検出手段と、該試料から放出される蛍光のスペクトルを検出する蛍光スペクトル検出手段と、を有することを特徴とする。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种便携式元件分析装置，其能够分离镧系元素的各种稀土元素，并且识别和量化每个元素。本发明的元件分析装置包括：真空室; 布置在真空室内的热电晶体; 导电台，其具有面向所述热电晶体的一个表面的样品表面，同时还与所述热电晶体的另一表面电连接并接地; 用于加热或冷却热电晶体的珀尔帖元件; 特征X射线光谱检测装置，用于检测放置在载物台上的样品发射的特征X射线谱; 以及用于检测样品发出的荧光光谱的荧光光谱检测装置。

4. 发明申请

WO2013018594A1 荷電粒子線装置审中-公开
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：WO2013018594A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/JP2012/068754
申请日：2012-07-25
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 揚村寿英
发明人：揚村　寿英
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J2237/2445
摘要：　本発明は、荷電粒子線装置において、一次荷電粒子線を放出する荷電粒子源（１）と、当該一次荷電粒子線を試料（５）上に集束する集束レンズ（２、４）と、当該試料上の照射点から放出された二次電子や後方散乱電子からなる二次荷電粒子（７）を検出する検出器（８０）と、前記検出器からの信号を波形処理して前記二次荷電粒子のエネルギー分布情報を作成する波形処理部（９）と、前記エネルギー分布情報の任意のエネルギー範囲の情報を選択して表示部に画像表示する制御部（１０）を備えることを特徴とする。　これにより、二次電子や後方散乱電子の角度とエネルギーを簡便に弁別し、観察対象試料の必要な情報を画像化できる荷電粒子線装置が実現された。
摘要翻译：该带电粒子束装置的特征在于具有：发射初级带电粒子束的带电粒子源（1）; 将初级带电粒子束收敛在样品（5）上的会聚透镜（2,4）; 以及检测器（80），其检测由从样品上的照射点发射的二次电子和反向散射电子构成的二次带电粒子（7）波形处理单元（9），其对从所述检测器发送的信号进行波形处理，并产生所述二次带电粒子的能量分布信息; 以及控制单元（10），其从能量分布信息中选择可自由计算的能量范围内的信息，并在显示单元上显示图像。因此，可以容易地将二次电子和背向散射电子的角度和能量彼此区分开并在图像中形成待观察的样本的必要信息的带电粒子束装置。

5. 发明申请

WO2012151288A1 MULTI-SPOT COLLECTION OPTICS 审中-公开
标题翻译：多点收集光学
公开(公告)号：WO2012151288A1
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/US2012/036137
申请日：2012-05-02
申请人： APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. , APPLIED MATERIALS, INC. , CARL ZEISS SMT GMBH , EDER, Haim , ELMALIACH, Nissim , KRAYVITS (KRIVTS), Igor , MÜTZEL, Mario
发明人： EDER, Haim , ELMALIACH, Nissim , KRAYVITS (KRIVTS), Igor , MÜTZEL, Mario
IPC分类号： G01N21/63 , G01N23/22
CPC分类号： G01T1/2002 , G01J1/0425 , G01N21/253 , G01N21/62 , G01N21/6452 , G01N2201/0833 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2445 , H01J2237/2446
摘要： Apparatus for detecting optical radiation emitted from an array of spots on an object. The apparatus includes a plurality of light guides having respective input ends and output ends, with the input ends ordered in a geometrical arrangement corresponding to the array of the spots. Relay optics collect and focus the optical radiation from the object onto the input ends such that each input end receives the optical radiation from a corresponding one of the spots. Multiple detectors and each coupled to receive the optical radiation from an output end of a respective one of the light guides.
摘要翻译：用于检测从物体上的点阵列发出的光辐射的装置。该装置包括具有各自的输入端和输出端的多个光导，其输入端被排列成对应于斑点阵列的几何布置。继电器光学器件将来自物体的光学辐射聚焦并聚焦到输入端上，使得每个输入端从相应的一个光点接收光学辐射。多个检测器，每个检测器被耦合以从相应的一个光导的输出端接收光辐射。

6. 发明申请

WO2012123216A1 EINRICHTUNG ZUR ROENTGENSPEKTROSKOPIE 审中-公开
标题翻译： DEVICE X射线光谱仪
公开(公告)号：WO2012123216A1
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：PCT/EP2012/052754
申请日：2012-02-17
申请人： CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH , PAPASTATHOPOULOS, Evangelos , WEGENDT, Holger , STEFAN, Lucian , THOMAS, Christian
发明人： PAPASTATHOPOULOS, Evangelos , WEGENDT, Holger , STEFAN, Lucian , THOMAS, Christian
IPC分类号： G01N23/225 , G02B21/36 , H01J37/28
CPC分类号： G01N23/2252 , G01N2223/071 , G01N2223/079 , G01N2223/307 , G02B21/367 , H01J37/165 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J2237/2445
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur spektroskopischen Auswertung von Röntgenstrahlung (5) bei der Analyse einer Probe (1). Die Röntgenstrahlung (5) entsteht dabei aus der Wechselwirkung eines Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial. Die erfindungsgemäße Einrichtung ist insbesondere geeignet zur Elementanalyse und Elementqualifizierung bei der Materialmikroskopie, z.B. in der Metallurgie und bei der Partikel-Analyse. Erfindungsgemäß umfasst eine solche Einrichtung:- eine lichtmikroskopische Anordnung zur Beobachtung der Probe (1), eine Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der lichtmikroskopischen Anordnung ausgewählten Bereich der Probe (1) ausrichtbar ist, und einen Röntgenstrahlen-Detektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), wobei Mittel vorgesehen sind, durch die sich der zu analysierende Probenbereich während einer Beobachtungsphase in der Fokusebene eines Objektivs der lichtmikroskopischen Anordnung befindet, und während einer Messphase im Bereich des Elektronenstrahls (4) und im Empfangsbereich des Röntgenstrahlen-Detektors (6) befindet, und eine Abschirmung in Form eines U-förmigen Gehäuses (8) vorhanden ist.
摘要翻译：本发明涉及用于在样品（1）的分析X射线（5）的光谱分析的装置。的X射线辐射（5）由电子束（4）与样品材料的相互作用由此产生。本发明的装置特别适合于在材料显微镜，例如元素分析和分类元件在冶金和在颗粒分析。根据本发明，包括这样一个单元： - 一个光镜安排用于观察样品（1），电子源（3），从该电子束（4）与样品（1）的光显微镜装置区域的选定装置可以被对准，并且X射线检测器（6），设计成由电子束（4）与样品材料的相互作用而产生的X射线（5）中，装置被提供，通过该样品中在光镜下布置的透镜的焦平面中的监视时段被分析区域检测位于和期间，在电子束的范围内的测量阶段（4），并在X射线检测器（6），并且在U形壳体的形式的屏蔽的接收区域（8）本是。

7. 发明申请

WO2012018800A2 METHOD FOR ACQUIRING SIMULTANEOUS AND OVERLAPPING OPTICAL AND CHARGED PARTICLE BEAM IMAGES 审中-公开
标题翻译：获取同时并重叠光学和带电粒子束图像的方法
公开(公告)号：WO2012018800A2
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：PCT/US2011/046247
申请日：2011-08-02
申请人： MOORE, Thomas , HARTFIELD, Cheryl , MAGEL, Gregory , OMNIPROBE, INC.
发明人： MOORE, Thomas , HARTFIELD, Cheryl , MAGEL, Gregory
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/04 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2251 , G01N2223/10 , G01N2223/418 , G02B21/002 , G02B21/367 , H01J37/228 , H01J2237/2445
摘要： This disclosure relates to a method and apparatus for producing multiple pixel-by-pixel simultaneous and overlapping images of a sample (100) in a microscope (10) with multiple imaging beams (120, 130). A scanning electron microscope, a focused ion-beam microscope (10), or a microscope having both beams (120, 130), also has an optical microscope (140). A region of interest (210) on a sample (100) is scanned by both charged-particle (120) and optical (130) beams, either by moving the sample (100) beneath the beams (120, 130) by use of a mechanical stage (110), or by synchronized scanning of the stationary sample (100) by the imaging beams (120, 130), or by independently scanning the sample (100) with the imaging beams (120, 130) and recording imaging signals so as to form pixel-by-pixel simultaneous and overlapping images.
摘要翻译：本公开涉及用于利用多个成像光束（120,130）在显微镜（10）中产生样本（100）的多个逐像素同时和重叠图像的方法和装置。扫描电子显微镜，聚焦离子束显微镜（10）或具有两个光束（120,130）的显微镜也具有光学显微镜（140）。样品（100）上的感兴趣区域（210）通过带电粒子（120）和光学（130）束两者扫描，或者通过使用（110）或通过成像光束（120,130）对固定样本（100）的同步扫描，或者通过用成像光束（120,130）独立扫描样本（100）并记录成像信号以形成逐个像素的同时和重叠图像。

8. 发明申请

WO2011105421A1 Ｘ線顕微鏡像観察用試料支持部材、Ｘ線顕微鏡像観察用試料収容セル、およびＸ線顕微鏡审中-公开
标题翻译：用于观察X射线微观图像的成员支持样品，用于观察X射线显微镜图像和X射线显微镜的细胞样品
公开(公告)号：WO2011105421A1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/JP2011/053973
申请日：2011-02-23
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , 小椋俊彦
发明人：小椋　俊彦
IPC分类号： G21K7/00 , G01N23/225 , G01T1/24 , G01T1/36
CPC分类号： G21K7/00 , G01N23/2251 , H01J2237/20 , H01J2237/2445 , H01J2237/28
摘要：　生物試料のＸ線顕微鏡観察に好適なＸ線顕微鏡像観察用試料支持部材を提供すること。試料支持部材（１０）は、窒化シリコン膜、カーボン膜、ポリイミド膜などの試料支持膜（１１）と、この試料支持膜の一方主面に設けられ荷電粒子の照射を受けて軟Ｘ線領域の特性Ｘ線を放射するＸ線放射膜（１３）と、試料支持膜（１１）の他方主面に設けられた金属膜であって吸着により観察対象試料（１）を固定する試料吸着膜（１２）とを備えている。生物試料の構成物質であるタンパク質は金属イオンに吸着し易い性質があるため、試料吸着膜（１２）を試料支持部膜（１１）の主面の一方に形成してこれに観察試料を吸着させるようにする。このような試料支持部材（１０）を用いれば、生物試料を含む溶液を試料吸着膜（１２）の上に滴下したり試料支持部材（１０）を収容したセル内に注入したりするだけで、観察試料を固定することが可能となる。
摘要翻译：提供了支持用于观察适合于在X射线显微镜下观察生物样品的X射线显微镜图像的样品的构件。样品支撑构件（10）设置有诸如氮化硅膜，碳膜或聚酰亚胺膜的样品支撑膜（11），辐射特性X射线的X射线辐射膜（13）在软X射线区域中，响应于带电粒子的照射，所述X射线辐射膜形成在所述样品支撑膜的一个主表面上，并且样品吸附膜（12）是金属膜吸附要观察的样品（1），从而将其固定，所述样品吸附膜形成在样品支撑膜（11）的另一个主表面上。由于构成生物样品的蛋白质易于被金属离子吸附，所以在样品支撑膜（11）的一个主表面上形成样品吸附膜（12），并使其吸附待观察的样品。通过使用上述样品支持构件（10），只要将含有生物样品的溶液滴落到样品吸附膜（12）上即可将待观察的样品固定，或者将溶液注入包含样品支承构件（10）。

9. 发明申请

WO2006065476A3 AMAGING DEVICE COMPRISING OPTICALLY COUPLED FIBER OPTIC PLATE ASSEMBLY 审中-公开
标题翻译：包含光耦合光纤板组件的设备
公开(公告)号：WO2006065476A3
公开(公告)日：2006-08-24
申请号：PCT/US2005042340
申请日：2005-11-21
申请人： ROPINTASSCO HOLDINGS L P , MOONEN DANIEL
发明人： MOONEN DANIEL
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J29/892 , H01J37/224 , H01J37/26 , H01J2237/057 , H01J2237/2445
摘要： A fiber optic plate assembly is provided for transferring optical signals to a detector or other optical element within an imaging device or imaging system. The fiber optic plate assembly comprises first and second fiber optic plates coupled via an optical coupling gel configured to permit separation of the two plates from each other to permit repair or replacement of one of the plates. Alternatively, the imaging device may comprise a single fiber optic plate coupled directly to an optical detector.
摘要翻译：提供了一种用于将光学信号传送到成像装置或成像系统内的检测器或其它光学元件的光纤板组件。光纤板组件包括通过光学耦合凝胶耦合的第一和第二光纤板，其配置成允许将两个板彼此分开以允许修复或更换其中一个板。或者，成像装置可以包括直接耦合到光学检测器的单个光纤板。

10. 发明申请

WO02056332A1 INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD WITH ELECTRON BEAM, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD COMPRISING THE INSPECTION APPARATUS 审中-公开
标题翻译：带电子束的检查装置和检查方法以及包含检测装置的装置制造方法
公开(公告)号：WO02056332A1
公开(公告)日：2002-07-18
申请号：PCT/JP2001/009628
申请日：2001-11-02
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01L21/027 , H01L21/66 , H01J21/29
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/224 , H01J37/244 , H01J2237/006 , H01J2237/20221 , H01J2237/2445 , H01J2237/2817
摘要： An electron beam inspecting apparatus is a map projection type and comprises a primary electro-optical system which molds an electron beam emitted from an electron gun into a rectangular form and irradiates the surface of a sample to be inspected with the molded electron beam, a secondary electro-optical system which converges secondary electrons emitted from the sample, a detector which converts the converged secondary electrons into an optical image via a fluorescent plate to focus them to a line sensor, and a controller which controls the charge transfer time to transfer a line image captured by a pixel array provided in the line sensor by interlocking with the transfer speed of stage which moves the sample.
摘要翻译：电子束检查装置是映射投影型，并且包括将从电子枪发射的电子束成型为矩形并将其用模制电子束照射到待检查样品的表面的初级电光系统，次级收集从样品发射的二次电子的电光系统，将会聚的二次电子经由荧光板转换为光学图像以将其聚焦到线传感器的检测器，以及控制电荷转移时间以传输线的控制器通过与移动样品的载物台的传送速度联动而由线传感器中设置的像素阵列捕获的图像。

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