发明申请
WO2011026607A2 TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG WIE EINE ELEKTRONENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG WIE EINE ELEKTRONENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
- 专利标题（英）：Particle beam processing device such as an electron beam processing device
- 专利标题（中）：TEILCHENSTRAHLBEARBEITUNGSVORRICHTUNG作为电子设备处理
- 申请号：PCT/EP2010/005350 申请日：2010-08-31
- 公开(公告)号：WO2011026607A2 公开(公告)日：2011-03-10
- 发明人： VOKURKA, Franz
- 申请人： GLOBAL BEAM TECHNOLOGIES AG , VOKURKA, Franz
- 申请人地址： Emmy-Noether-Strasse 2 82216 Maisach DE
- 专利权人： GLOBAL BEAM TECHNOLOGIES AG,VOKURKA, Franz
- 当前专利权人： GLOBAL BEAM TECHNOLOGIES AG,VOKURKA, Franz
- 当前专利权人地址： Emmy-Noether-Strasse 2 82216 Maisach DE
- 代理机构： SCHMIDTCHEN, Jürgen
- 优先权： DE10 20090901; DE20 20091105
- 主分类号： H01J37/16
- IPC分类号： H01J37/16
摘要：
Es wird eine Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung angegeben, die einen Teilchenstrahlgenerator (7), eine Vakuumkammer (101) mit einem evakuierbaren Kammervolumen (V), wobei die Vakuumkammer (101) eine Kammerwand (1) mit einer ersten Öffnung (O1), die in der Kammerwand (1) ausgebildet ist, aufweist, eine erste Abdeckung (2), die dazu angepasst ist, die erste Öffnung (O1) abzudecken und um eine erste Drehachse (C1), die durch die erste Öffnung (O1) geht, gedreht zu werden, und die eine zweite Öffnung (02), die in der ersten Abdeckung (2) ausgebildet ist, aufweist, und eine zweite Abdeckung (3), die dazu angepasst ist, die zweite Öffnung (O2) abzudecken und um eine zweite Drehachse (C2), die durch die zweite Öffnung (O2) geht, gedreht zu werden und den Teilchenstrahlgenerator (7) zu bewegen, aufweist. Der Teilchenstrahlgenerator (7) ist in einer ersten Richtung (Z) in dem evakuierbaren Kammervolumen (V) verfahrbar.
摘要（中）：
本发明提供一种Teilchenstrahlbearbeitungsvorrichtung其中带电粒子束（7），具有可抽真空的腔室容积（V）的真空室（101），其中所述真空室（101）包括一个室壁（1）具有第一开口（O1），其（在腔室壁 1）被形成，具有覆盖其适于将所述第一开口（O1的第一盖（2））和（第一旋转轴C1）被旋转穿过所述第一开口（O1），和 其上形成形成于第一盖（2）的第二开口（02），以及在第二盖（3），其适于将所述第二开口（O2），以覆盖和围绕第二旋转轴线（C2）， 通过所述第二开口（O2）要被旋转和带电粒子束（7）移动，。 在抽空室体积（V）可在第一方向（Z）的带电粒子束（7）。