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    • 2. 发明申请
    • 作業機械の較正装置、及び作業機械の作業機パラメータの較正方法
    • 用于校准工作机器的装置和用于校准工作机器的参数的方法
    • WO2015137526A1
    • 2015-09-17
    • PCT/JP2015/059789
    • 2015-03-27
    • 株式会社小松製作所
    • 岩村 力北嶋 仁関 正暢市原 将志
    • E02F9/22G01B21/00
    • E02F9/264E02F3/32E02F3/425E02F9/2271E02F9/265G01D5/14G01D5/145G01D5/2449G01D5/34G01D5/3473
    •  作業機械の較正装置は、第1駆動部及び第2駆動部を構成する部材の作業機パラメータを取得する作業機パラメータ取得部(86)と、外部計測装置で計測された、作業機械本体、第1駆動部、及び第2駆動部の計測値を取得する計測値取得部(83A)と、計測値取得部(83A)で取得された第1駆動部の計測値に基づいて、作業機パラメータ取得部(86)で取得された第1駆動部を構成する部材の作業機パラメータを較正する第1較正部(88)と、第1較正部で較正された第1駆動部の作業機パラメータと、計測値取得部で取得された作業機械本体、第1駆動部、及び第2駆動部の基準点の計測値とに基づいて、第2駆動部を構成する部材の作業機パラメータを較正する第2較正部(89)とを備える。
    • 该校准工作机的设备具备:作业机参数取得部(86),其获取构成第一驱动部和第二驱动部的部件的工作机参数; 测量值获取单元(83A),其通过外部测量装置测量获取关于作业机器主体,第一驱动单元和第二驱动单元的测量值; 第一校准单元(88),其基于由所述测量值获取的所述第一驱动单元的测量值来校准构成所述第一驱动单元并由所述作业机参数获取单元(86)获取的构件的作业机参数, 采集单元(83A); 以及第二校准单元(89),其基于由第一校准单元校准的第一驱动单元的工作机参数和参考点的测量值来校准构成第二驱动单元的构件的作业机参数 由第一驱动单元和由测量值获取单元获取的第二驱动单元。
    • 4. 发明申请
    • エンコーダ装置、移動量計測方法、光学装置、並びに露光方法及び装置
    • 编码器装置,运动量测量方法,光学装置和曝光方法和装置
    • WO2013073538A1
    • 2013-05-23
    • PCT/JP2012/079432
    • 2012-11-13
    • 株式会社ニコン
    • 劉 志強
    • G01D5/38G03F7/20H01L21/027
    • G01D5/34G01D5/34715G01D5/38G03B27/58G03F7/70775
    •  第1部材に対する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダであって、第1部材に設けられた回折格子と、計測光を回折格子の格子パターン面に概ね垂直に入射させる入射用光学部材と、第2部材に設けられて回折格子から発生する回折光を反射する第1反射部材と、回折光の方向を変更する第1方向変更部材と、回折格子から回折光によって発生する再回折光と他の回折光又は参照光との干渉光を検出する第1光電検出器と、第1光電検出器の検出信号を用いて前記第2部材の相対移動量を求める計測部とを備える。エンコーダは、回折格子を用いて計測する際に、格子パターン面の高さ変化に対する干渉光の信号強度の低下を抑制する。
    • 本发明是一种编码器,其测量第二构件相对于第一构件的相对运动量,并且设置有:设置在第一构件上的衍射光栅; 入射光学构件,其大致垂直于衍射光栅的光栅图案表面发射测量光; 第一反射构件,其设置在第二构件上并且反射从衍射光栅产生的衍射光; 改变衍射光的方向的第一方向改变构件; 第一光电检测器,其检测由衍射光衍射的光产生的再衍射光产生的干涉光和其它衍射光或参考光; 以及测量单元,其通过使用来自第一光电检测器的检测信号来确定第二构件的相对移动量。 当使用衍射光栅测量时,编码器减少对应于光栅图案表面中的高度变化的干涉光信号强度降。
    • 5. 发明申请
    • サーボモータ製造方法、サーボモータ製造装置、サーボモータ、エンコーダ
    • 伺服电机的制造方法,伺服电机的制造装置,伺服电机和编码器
    • WO2013014721A1
    • 2013-01-31
    • PCT/JP2011/066664
    • 2011-07-22
    • 株式会社安川電機吉田 康有永 雄司吉冨 史朗松谷 泰裕
    • 吉田 康有永 雄司吉冨 史朗松谷 泰裕
    • G01D5/347H02K15/14
    • H02K11/22G01D5/34G01D5/3473G01D5/38H02K15/00Y10T29/49004
    • 【課題】光学モジュールの位置調整を精度良く行いつつ、サーボモータを容易に製造できるようにする。 【解決手段】光学モジュール120が回転ディスク110の同心円スリットCS1からの反射光を受光する位置調整用受光素子150UL,150URと、半径方向においてこれら位置調整用受光素子150UL,150URとは異なる位置に同心円スリットCS2からの反射光を受光する位置調整用受光素子150Dを備えている。位置調整用受光素子150UL,150URの出力が略等しくなるようにロータリモータ175を駆動することで、光学モジュール120の傾斜方向の位置調整を行う。また略等しくなった位置調整用受光素子150UL,150URのいずれか一方の出力が、位置調整用受光素子150Dの出力と略等しくなるようにリニアモータ174を駆動することで、光学モジュール120の半径方向の位置調整を行う。
    • [问题]为了能够容易地生产伺服电动机,同时继续对光学模块进行高精度的位置调节。 光学模块(120)包括:用于接收从旋转盘(110)中的同心圆形狭缝(CS1)反射的光的位置调整用光接收元件(150UL,150UR)。 以及用于位置调整的光接收元件(150D),其接收从与这些用于位置调整的光接收元件(150UL,150UR)不同的径向方向上的同心圆形狭缝(CS2)反射的光。 通过驱动旋转马达(175)使得来自用于位置调整的光接收元件(150UL,150UR)的输出基本相等地在光学模块(120)的倾斜方向上进行位置调整。 通过驱动线性电机(174),使得位置调整用光接收元件(150UL,150UR)的输出中的一个已经变得基本相等,也可以在光学模块(120)的径向上执行位置调节 变得基本上等于来自用于位置调节的光接收元件(150D)的输出。
    • 8. 发明申请
    • COMBINED MEASUREMENT OF NEUTRON FLUENCE WITH TEMPERATURE AND/OR PRESSURE
    • 中温与温度和/或压力的组合测量
    • WO2011154216A3
    • 2012-05-31
    • PCT/EP2011057745
    • 2011-05-13
    • ROLLS ROYCE PLCLAMBOURNE ALEXIS
    • LAMBOURNE ALEXIS
    • G01D21/02G01D5/26G01D5/34G21C17/108G21C17/112
    • H01J37/32935G01D5/266G01D5/268G01D5/34G01D21/02G01K11/3206G01L9/0079G01L19/0092G01N21/64G21C17/10
    • A sensor is provided for combined measurement of temperature and neutron fluence. The sensor comprises a first optical body having at opposing, spaced sides an incident surface and a reflecting surface. The sensor further comprises an optical pathway for carrying incident light to the incident surface. The first optical body acts as a Fabry-Pérot etalon, such that a portion of the incident light passes through the incident surface, reflects from the reflecting surface, and then returns along the optical pathway. Varying the temperature of the first optical body leads to changes in the spacing between the incident and reflecting surfaces due to thermal expansion or contraction of the first optical body, such that corresponding temperature-sensitive characteristic changes are produced in the reflected light returned along the optical pathway. The first optical body is formed of a material whose optical absorbance increases depending on the neutron fluence experienced by the material, such that a corresponding characteristic attenuation is produced in the reflected light returned along the optical pathway depending on the neutron fluence experienced by the first optical body. The sensor may also measure pressure in combination with the measurement of temperature and neutron fluence, and a further sensor is provided for combined measurement of pressure and neutron fluence.
    • 提供传感器用于温度和中子注量的组合测量。 所述传感器包括第一光学体,所述第一光学体具有相对的间隔开的入射表面和反射表面。 传感器还包括用于将入射光携带到入射表面的光学路径。 第一光学体用作法布里 - 派生标准具,使得入射光的一部分通过入射表面,从反射表面反射,然后沿着光学路径返回。 改变第一光学体的温度导致由于第一光学体的热膨胀或收缩引起的入射面和反射面之间的间隔的变化,使得沿着光学器件返回的反射光产生相应的温度敏感特性变化 途径。 第一光学体由吸光度随材料所经受的中子注量而增加的材料形成,使得根据第一光学器件所经历的中子注量,沿光路返回的反射光产生对应的特性衰减 身体。 传感器还可以与温度和中子注量的测量结合测量压力,并提供另外的传感器用于压力和中子注量的组合测量。
    • 10. 发明申请
    • RECEIVER ARRAY USING SHARED ELECTRON BEAM
    • 使用共享电子束的接收器阵列
    • WO2007139561A3
    • 2009-04-16
    • PCT/US2006027427
    • 2006-07-14
    • VIRGIN ISLANDS MICROSYSTEMS
    • GORRELL JONATHAN
    • H01J37/00
    • G01D5/34H01J25/00
    • A multi-frequency receiver for receiving plural frequencies of electromagnetic radiation (e.g., light) using a beam of charged particles shared between plural resonant structures. The direction of the beam of charged particles is selectively controlled by at least one deflector. The beam of charged particles passing near the resonant structure is altered on at least one characteristic as a result the presence of the electric field induced on the corresponding resonant structure. Alterations in the beam of charged particles are thus correlated to data values encoded by the electromagnetic radiation.
    • 一种多频接收器,用于使用在多个谐振结构之间共享的带电粒子束来接收多个电磁辐射频率(例如光)。 带电粒子束的方向由至少一个偏转器选择性地控制。 通过谐振结构附近的带电粒子束在至少一个特性上被改变,结果是在相应的谐振结构上感应出的电场的存在。 因此,带电粒子束中的变化与由电磁辐射编码的数据值相关。