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    • 1. 发明申请
    • MIKROSPIEGELANORDNUNG
    • 微镜片布置
    • WO2015075222A1
    • 2015-05-28
    • PCT/EP2014/075380
    • 2014-11-24
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
    • HOFMANN, UlrichSENGER, FrankVON WANTOCH, ThomasMALLAS, ChristianJANES, Joachim
    • G02B26/08G02B26/10B81B3/00
    • G02B26/101B81B3/0043B81B2201/042B81B2203/0163B81B2203/058G02B26/0833G02B26/0841
    • Es wird eine Mikrospiegelanordnung vorgeschlagen, die umfasst einen ersten Feder-Masse-Schwinger, der einen eine Spiegelplatte (1) bildenden Schwingkörper und erste Federelemente (2) aufweist, einen zweiten Feder-Masse-Schwinger, der eine Antriebsplatte (3) und zweite Federelemente (4) aufweist und der über die zweiten Federelemente (4) mit einer Trägeranordnung {5, 8, 9) verbunden ist, wobei der erste Feder-Masse-Schwinger über die ersten Federelemente (2) in dem zweiten Feder-Masse-Schwinger aufgehängt ist, und eine Antriebsanordnung (11), die der Antriebsplatte zugeordnet ist und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zum Schwingen anzuregen. Der Schwingkörper (1) ist zweiachsig beweglich über die ersten Federelemente (2) an der Antriebsplatte (3) aufgehängt und die Antriebsplatte (3) ist zweiachsig beweglich mit der Trägeranordnung (5, 8, 9) verbunden, wobei die Antriebsanordnung (11) als zweiachsiger Antrieb ausgeführt und ausgebildet ist, die Antriebsplatte (3) zweiachsig anzutreiben, derart, dass der Schwingkörper (1) zweiachsig mit jeweils einer seiner orthogonalen Eigenmoden oder nahe dieser Eigenmoden schwingt.
    • 公开的是包括第一弹簧质量振荡器,其中构成镜板的微反射镜装置(1)振动体和第一弹簧元件(2),第二弹簧 - 质量振荡器,驱动器板(3)和第二弹簧元件 (4)和上具有支撑组件,{5,8第二弹簧元件(4),9)连接,其中,所述第一弹簧质量振动器悬挂在第一弹簧元件(2)在所述第二弹簧质量振荡器以上 ,并且与相关联的驱动器组件(11),所述驱动板和适于激发所述驱动板(3)摆动。 振动体(1)是双轴可围绕所述第一弹簧元件(2)连接到驱动器板(3)被暂停,并且所述驱动板(3)是与所述载体装置的双轴可动(5,8,9),其中,所述驱动组件(11) 进行双轴驱动器和被配置为驱动双轴驱动器板(3),使得所述振动体(1)双轴摆动,其正交本征模式的每个具有一个或接近该本征模式。