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    • 8. 发明申请
    • 초고순도, 초미세 루테늄 합금 분말 제조방법
    • 制造超高纯度超细合金粉末的方法
    • WO2014046324A1
    • 2014-03-27
    • PCT/KR2012/007710
    • 2012-09-25
    • 희성금속 주식회사
    • 윤원규양승호홍길수
    • B22F9/14B22F9/04B22F1/00
    • B22F1/0011B22F9/04B22F9/14B22F2009/044C22C1/0466
    • 본 발명은 루테늄(Ru) 합금 타겟이나, 루테늄 화합물 제조를 위한 루테늄 합금 원료 분말의 제조방법에 관한 것으로, 종래의 습식법에 의해 제조된 루테늄과 합금용 분말을 혼합하여 루테늄 합금 분말 제조방법과 비교 시, 순도가 향상되고, 합금원소 함량제어가 용이할 뿐만 아니라, 합금원소가 균일하게 제어되며, 분말 내 산소함량 까지도 제어된 루테늄 합금 분말 제조를 위해 고안된 것이다. 이를 위해, 합금원소의 목적조성 제어를 위해 불활성 또는 진공분위기에서 용해하여 루테늄 합금 잉곳을 제조하고, 불활성 또는 진공분위기에서 열처리를 행하여 루테늄 합금의 조성을 균일화 한 후, 플라즈마를 이용하여 비산된 루테늄 합금 분말을 제조하고, 분쇄를 통해 미세화된 합금 분말 제조 후, 산(酸)처리 및 환원열처리를 통해 저산소 함량, 초고순도 및 초미세화된 루테늄 합금 분말을 얻는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及钌(Ru)合金靶材或钌化合物的钌合金原料粉末的制造方法。 与通过常规湿法制备的合金粉末和钌的混合制造钌合金粉末的方法相比,本发明的目的是制造其纯度提高,合金元素含量容易控制的合金粉末和合金元素为 均匀控制,甚至控制粉末内的氧含量。 为此,本发明的特征在于:通过将合金元素的目标组合物溶解在非活性或真空部位来制造钌合金锭,以控制合金元素的目标组成; 通过在惰性或真空气氛中进行热处理来均化合金元素的组成; 使用等离子体制造分散的钌合金粉末; 通过粉碎制造精制钌合金粉末; 并通过酸处理和减少热处理获得含低氧,超高纯度超细钌合金粉末。