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1. 发明申请

WO2012144571A1 圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータを搭載した電子機器审中-公开
标题翻译：压电致动器及其安装的压电致动器的电子设备
公开(公告)号：WO2012144571A1
公开(公告)日：2012-10-26
申请号：PCT/JP2012/060638
申请日：2012-04-19
申请人：日本電気株式会社 , 佐々木康弘 , 高橋尚武 , 酒井浩 , 内川達也 , 山口嘉之 , 川嶋信弘
发明人：佐々木　康弘 , 高橋　尚武 , 酒井　浩 , 内川　達也 , 山口　嘉之 , 川嶋　信弘
IPC分类号： B06B1/06 , B06B1/04 , H02N2/00
CPC分类号： H01L41/053 , B06B1/0607 , B06B1/0648 , G06F1/1601 , G10K11/004 , H01L41/083 , H01L41/09
摘要：　圧電アクチュエータは、電極に電圧が印加されることによって振動する圧電セラミック振動子２と、パネル５０２に接合されて圧電セラミック振動子２の一端部を支持する第１ホルダ３と、パネル５０２に接合されて圧電セラミック振動子２の他端部を支持する第２ホルダ４と、を有する。圧電セラミック振動子２に発生する振動は、圧電セラミック振動子２の一端部と第１ホルダ３とを介してパネル５０２へ伝達され、圧電セラミック振動子２の他端部のパネル５０２に対する前後左右方向の相対移動は、第２ホルダ４によって拘束される。
摘要翻译：压电致动器包括：当电压施加到电极时振动的压电陶瓷换能器（2）; 第一保持器（3），其结合到面板（502）并支撑压电陶瓷换能器（2）的一个端部; 以及第二保持器（4），其接合到所述面板（502）并且支撑所述压电陶瓷换能器（2）的另一端部。在压电陶瓷换能器（2）中产生的振动通过压电陶瓷换能器（2）和第一支架（3）的一个端部传递到面板（502），另一端部的相对运动压电陶瓷换能器（2）在相对于面板（502）的纵向和横向方向上被第二保持器（4）约束。

2. 发明申请

WO2007085022A2 SYSTEM, APPARATUS AND METHODS FOR PROCESSING SUBSTRATES USING ACOUSTIC ENERGY 审中-公开
标题翻译：使用声学能量处理基板的系统，装置和方法
公开(公告)号：WO2007085022A2
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/US2007/060861
申请日：2007-01-22
申请人： AKRION TECHNOLOGIES, INC. , FANI, Pejman , ROUILLARD, Mark
发明人： FANI, Pejman , ROUILLARD, Mark
IPC分类号： H01L41/00
CPC分类号： B08B3/12 , B06B1/0648 , B06B1/0655 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L2924/01012 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01021 , H01L2924/01025 , H01L2924/01057 , H01L2924/01067 , H01L2924/01068 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/3011
摘要： A wafer cleaning system having a crystal or cersmic transducer assembly. The transducer assembly is adapted to convert electrical energy into sonic energy. The crystal or ceramic has a first conductive surface, The transducer assembly also has a transmitter made of an inert non-reactive plastic that transmits the sonic energy generated by the crystal or ceramic. The transmitter has a surface bonded directly to the conductive surface of the crystal or ceramic.
摘要翻译：一种具有晶体或脉络传感器组件的晶片清洁系统。换能器组件适于将电能转换成声能。晶体或陶瓷具有第一导电表面。换能器组件还具有透射由晶体或陶瓷产生的声能的惰性非反应性塑料的发射器。发射器具有直接结合到晶体或陶瓷的导电表面的表面。

3. 发明申请

WO2016080506A1 ウエハの接合方法审中-公开
标题翻译：用于连接波形的方法
公开(公告)号：WO2016080506A1
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：PCT/JP2015/082618
申请日：2015-11-19
申请人：株式会社村田製作所
发明人：福光　政和 , 山田　修平
IPC分类号： H03H3/007 , B06B1/06 , H01L21/02 , H01L41/09 , H01L41/313
CPC分类号： B23K20/023 , B06B1/06 , B06B1/0603 , B06B1/0648 , B23K20/16 , B23K20/22 , B23K2201/40 , B81B2201/0242 , B81C1/00269 , B81C2203/033 , B81C2203/035 , H01L21/187 , H01L41/09 , H01L41/313 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H2003/026
摘要：　ウエハに与える影響を抑制しつつ高い信頼度でウエハ同士を接合することができるウエハの接合方法を提供する。ウエハの接合方法は、第１剛性率を有する第１金属層を表面に形成した第１ウエハと、第１剛性率よりも高い第２剛性率を有する第２金属層を表面に形成した第２ウエハと、を用意する工程と、第１金属層の表面の酸化膜を除去しない一方で、第２金属層の表面の酸化膜を除去する工程と、第１ウエハの表面と第２ウエハの表面とを接合する工程と、を含む。
摘要翻译：提供了一种用于接合晶片的方法，其能够以高可靠性接合晶片，同时抑制对晶片的影响。用于接合晶片的方法包括：制备具有其上形成有第一刚度的第一金属层的表面的第一晶片的步骤和具有第二晶片的第二晶片，其上具有第二刚度高于形成第一刚度; 在第二金属层的表面除去氧化膜而不去除第一金属层表面的氧化膜的步骤; 以及将第一晶片的表面与第二晶片的表面接合的步骤。

4. 发明申请

WO2016007250A1 PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER AND PROCESS 审中-公开
标题翻译：压电超声波传感器和工艺
公开(公告)号：WO2016007250A1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：PCT/US2015/034729
申请日：2015-06-08
申请人： QUALCOMM INCORPORATED
发明人： LASITER, Jon Bradley , SHENOY, Ravindra Vaman , GOUSEV, Evgeni Petrovich , PANCHAWAGH, Hrishikesh Vijaykumar , BURNS, David William , KUO, Nai-Kuei , GRIFFITHS, Jonathan Charles , GANTI, Suryaprakash
IPC分类号： B06B1/06 , G06F3/043 , H01L41/09
CPC分类号： B06B1/0666 , B06B1/0622 , B06B1/0648 , B06B1/0651 , B06B1/067 , B06B1/0674 , B06B1/0677 , G06F3/043 , G06K9/0002 , H01L41/0973
摘要： A piezoelectric micromechanical ultrasonic transducer (PMUT) includes a multilayer stack disposed on a substrate. The multilayer stack may include an anchor structure disposed over the substrate, a piezoelectric layer stack disposed over the anchor structure, and a mechanical layer disposed proximate to the piezoelectric layer stack. The piezoelectric layer stack may be disposed over a cavity. The mechanical layer may seal the cavity and, together with the piezoelectric layer stack, is supported by the anchor structure and forms a membrane over the cavity, the membrane being configured to undergo one or both of flexural motion and vibration when the PMUT receives or transmits ultrasonic signals.
摘要翻译：压电微机械超声换能器（PMUT）包括设置在基板上的多层堆叠。多层堆叠可以包括设置在衬底上的锚结构，设置在锚结构上的压电层堆叠，以及靠近压电层堆叠设置的机械层。压电层堆叠可以设置在空腔上。机械层可以密封空腔，并且与压电层堆叠一起由锚结构支撑并且在空腔上形成膜，该膜被配置为当PMUT接收或传输时经历挠曲运动和振动中的一个或两个超声信号。

5. 发明申请

WO2015033108A1 METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING INFORMATION RELATING TO THE MASS OF A SEMICONDUCTOR WAFER 审中-公开
标题翻译：用于确定与半导体滤波器的质量相关的信息的方法和装置
公开(公告)号：WO2015033108A1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：PCT/GB2014/052573
申请日：2014-08-21
申请人： METRYX LIMITED
发明人： WILBY, Robert John , KIERMASZ, Adrian
IPC分类号： G01G19/00
CPC分类号： G01G19/00 , B06B1/06 , B06B1/0648 , G01G3/16 , G01G17/02 , G01H11/08 , H01L21/67253
摘要： A method of determining information relating to the mass of a semiconductor wafer is disclosed. The method comprises loading the semiconductor wafer on to a measurement area of a weighing device having weight compensation means arranged to compensate for a predetermined weight loaded on to the measurement area; generating measurement output indicative of a difference between the weight of the semiconductor wafer and the predetermined weight; and using the measurement output to determine information relating to the mass of the semiconductor wafer. Also discloses is a corresponding weighing device for determining information relating to the mass of a semiconductor wafer.
摘要翻译：公开了一种确定与半导体晶片的质量有关的信息的方法。该方法包括将半导体晶片装载到称重装置的测量区域上，该称重装置具有重量补偿装置，其布置成补偿加载到测量区域上的预定重量; 产生指示半导体晶片的重量与预定重量之间的差异的测量输出; 并且使用测量输出来确定与半导体晶片的质量有关的信息。还公开了一种用于确定与半导体晶片的质量相关的信息的相应的称重装置。

6. 发明申请

WO01018509A1 METHOD AND APPARATUS FOR ENERGY EFFICIENT TACKING OF RESONANT DEVICES 审中-公开
标题翻译：用于能量效率的谐振装置的方法和装置
公开(公告)号：WO01018509A1
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：PCT/US2000/024793
申请日：2000-09-08
IPC分类号： B06B1/06 , G01H11/08 , G10K9/125 , G10K11/36 , G01H13/00
CPC分类号： B06B1/0648 , G01H11/08 , G10K9/125 , G10K11/36
摘要： A method and apparatus for interrogating a resonator to monitor resonance characteristics in an energy efficient manner over a period of time, wherein the apparatus comprises a pulse generator (10) which triggers pulsing element (12) and simultaneously informs detector (24) that a pulse has issued. The pulse enters input port (1) of a resonant element, which comprises a SAW device (16), via pad (14), which is optimally a circulator or a resistive element, whereupon the pulse is transduced to a corresponding acoustic signal which transverses device (16) and exits, via output port (2), to optional amplifier (20) and then to detector (24). Detector (24) contains an analog-to-digital converter to sample the SAW device's output, which determines either the resonance characteristics and/or the quality factor of the SAW device (16).
摘要翻译：一种用于在一段时间内以能量有效的方式询问谐振器以监测谐振特性的方法和装置，其中所述装置包括触发脉冲元件（12）并同时通知检测器（24）的脉冲发生器（10），脉冲发生器已经发布。脉冲进入谐振元件的输入端口（1），该谐振元件包括SAW器件（16），经由衬垫（14），其优选地是环行器或电阻元件，于是脉冲被转换成相应的声信号，设备（16）并通过输出端口（2）退出到可选放大器（20），然后到检测器（24）。检测器（24）包含用于对SAW器件的输出进行采样的模拟 - 数字转换器，其确定SAW器件（16）的谐振特性和/或品质因数。

7. 发明申请

WO99013300A1 MASS SENSOR AND MASS DETECTION METHOD 审中-公开
标题翻译：质量传感器和质量检测方法
公开(公告)号：WO99013300A1
公开(公告)日：1999-03-18
申请号：PCT/JP1998/003969
申请日：1998-09-04
IPC分类号： B06B1/06 , G01G3/16 , G01H11/08 , G01N35/00 , G01P15/09 , G02B26/02 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , G01G3/13 , G01N5/02
CPC分类号： G01P15/0922 , B06B1/06 , B06B1/0648 , G01G3/16 , G01H11/08 , G01N2035/00217 , G01N2035/00237 , G01N2291/02827 , G01P15/09 , G01P2015/0814 , H01L41/0973 , H01L41/1132
摘要： A mass sensor (30) comprising a coupling board (33) and a diaphragm (31) bonded to each other on the side faces thereof, a detection plate (32) bonded to the coupling board (33) on the side faces thereof in the direction orthogonal to the bonding direction of the diaphragm (31) and the coupling board (33), and a piezoelectric element (35) comprising a piezoelectric film and an electrode arranged at least on one planar surface of the detection plate (32), wherein a resonance section comprising the diaphragm (31), the detection plate (32), the coupling board (33) and the piezoelectric element (35) is bonded to a sensor substrate (34). Variation in the mass of the diaphragm (31) is measured by measuring variation in the resonance frequency at the resonance section due to variation in the mass of the diaphragm (31). Micromass on the nanogram order of a microorganism, e.g. a bacteria or a virus, a chemical substance or a deposition film can be measured easily and accurately.
摘要翻译：一种质量传感器（30），包括在其侧面上彼此接合的耦合板（33）和隔膜（31）;检测板（32），其在所述耦合板（33）的侧面上接合（31）和耦合板（33）的键合方向正交的方向，以及包括压电膜和布置在检测板（32）的至少一个平面上的电极的压电元件（35），其中包括隔膜（31），检测板（32），耦合板（33）和压电元件（35）的共振部分接合到传感器基板（34）上。通过测量由于隔膜（31）的质量的变化而在共振部分处的共振频率的变化来测量隔膜（31）的质量的变化。微生物的微克级，例如微生物。可以容易且准确地测量细菌或病毒，化学物质或沉积膜。

8. 发明申请

WO2017132576A1 ULTRASONIC INDUCED ARTIFICIAL BLACK HOLES IN PHONONIC CRYSTALS 审中-公开
标题翻译：声子晶体中的超声诱导人工黑洞
公开(公告)号：WO2017132576A1
公开(公告)日：2017-08-03
申请号：PCT/US2017/015450
申请日：2017-01-27
申请人： FLODESIGN SONICS, INC.
发明人： LIPKENS, Bart , RIETMAN, Edward
IPC分类号： B06B1/06 , B01D21/28
CPC分类号： B06B1/0648 , B01D17/02 , B01D21/283 , B01D43/00 , B01J19/10 , B06B1/0644 , C02F1/36 , C02F1/40 , C02F2101/32 , C07K1/14 , H01L41/09 , H01L41/1876
摘要： Acoustophoretic devices and methods for using such devices in various applications are disclosed. The devices include a flow chamber having an inlet; a phononic crystal within an active volume of the flow chamber; and ultrasonic transducer(s) that create an acoustic standing wave in the active volume. This combination results in the creation of high-pressure nodes within the active volume, having a value of at least 50 MPa, which is useful for different applications.
摘要翻译：公开了在各种应用中使用这种装置的声泳装置和方法。这些装置包括具有入口的流动室; 在流动室的有效体积内的声子晶体; 以及在有效体积中产生声驻波的超声换能器。这种组合导致在活动体积内产生高压节点，其值为至少50MPa，这对于不同的应用是有用的。

9. 发明申请

WO2017091632A1 HIGH FREQUENCY ULTRASOUND TRANSDUCER AND METHOD FOR MANUFACTURE 审中-公开
标题翻译：高频超声换能器及其制造方法
公开(公告)号：WO2017091632A1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：PCT/US2016/063431
申请日：2016-11-22
申请人： FUJIFILM SONOSITE, INC.
发明人： CHAGGARES, Nicholas, Christopher , IVANYTSKYY, Oleg , PANG, Guofeng , KOLAJA, Robert
IPC分类号： A61B8/00
CPC分类号： A61B8/4483 , B06B1/0648
摘要： An ultrasound transducer has an array of transducer elements that are electrically coupled to electrical conductors. In one embodiment, the conductors are included in a flex circuit and engage a conductive surface formed on a number of outwardly extending ribs on a frame that holds the ultrasound array. In one embodiment, the flex circuit includes an alignment feature that engages a corresponding registration feature on the frame so that the traces on the flex circuit align with the ribs on the frame.
摘要翻译：超声换能器具有电耦合到电导体的换能器元件的阵列。在一个实施例中，导体被包括在柔性电路中并且接合形成在保持超声阵列的框架上的多个向外延伸的肋上的导电表面。在一个实施例中，柔性电路包括对准特征，该对准特征接合框架上的对应配准特征，使得柔性电路上的迹线与框架上的肋条对齐。

10. 发明申请

WO2016184093A1 一种电声转换装置审中-公开
公开(公告)号：WO2016184093A1
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：PCT/CN2015/097754
申请日：2015-12-17
申请人：歌尔声学股份有限公司
发明人：单连文 , 杨鑫峰 , 王海荣 , 崔龙浩
IPC分类号： H04R23/02
CPC分类号： H04R23/02 , B06B1/0292 , B06B1/045 , B06B1/0648 , H04R1/02 , H04R1/06 , H04R1/22 , H04R1/24 , H04R7/04 , H04R7/10 , H04R9/04 , H04R9/06 , H04R17/00
摘要：一种电声转换装置，包括：振动系统和具有磁间隙的磁路系统；振动系统包括：振膜（3）、结合于振膜（3）下方并且悬置于磁间隙中的音圈（4）、结合于振膜（3）一侧的压电片（2）；振膜（3）上形成有导电线路，导电线路包括第一导电线路（100），第一导电线路（100）与压电片（2）连接以将外部输入的第一路音频信号经由第一导电线（100）路接入压电片（2）。电声转换装置同时具有动圈式的发声结构和压电式的发声结构，由压电片（2）补偿振动系统的高频频率响应，从而实现了一种性能良好的超宽频带的电声转换装置。

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