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    • 6. 发明申请
    • FLEXIBLE ULTRASONIC TRANSDUCER AND A TRANSDUCER BLOCK
    • 柔性超声波传感器和传感器块
    • WO2016108685A1
    • 2016-07-07
    • PCT/NL2015/050910
    • 2015-12-28
    • RÖNTGEN TECHNISCHE DIENST B.V.
    • VAN DER HEIJDEN, Steven JohannesRAMSARAN, DheeradjAUGUSTIJN, Cornelis MarinusENGEL, Michiel Petrus Lambertus
    • B06B1/06G01N29/24
    • G01N29/245B06B1/0644B06B1/0648B06B1/0662G01B17/02G01N2291/02854
    • A flexible ultrasonic transducer comprising a flexible metal plate, a piezoelectric ceramics element attached on the plate, a first electrical conductor such as a conductive wire which is electrically conductive attached to the plate and an insulation covering which covers at least a portion of the metal plate, wherein the metal plate comprises a first outer surface and a second outer surface lying opposite to each other wherein the piezoelectric ceramics element is attached to the first outer surface wherein the dimensions of the first outer surface and the piezoelectric ceramics element are such that a first portion of the first outer surface is not covered with the piezoelectric ceramics element wherein the first electrical conductor is electrically conductive attached to at least one of a first portion of the second outer surface and the first portion of the first outer surface wherein the first portion of the first outer surface and the first portion of the second outer surface lie opposite each other and have about the same dimensions and positions in a plane wherein the metal plate extends and wherein at least a portion of the insulation covering covers the first portion of the first outer surface so that the piezoelectric ceramics element is arranged to be directly dry coupled to an surface of an object to be inspected by means of the transducer.
    • 一种柔性超声波换能器,包括柔性金属板,附着在该板上的压电陶瓷元件,第一电导体,例如导电附着在该板上的导线,绝缘覆盖物覆盖金属板的至少一部分 其中所述金属板包括彼此相对的第一外表面和第二外表面,其中所述压电陶瓷元件附接到所述第一外表面,其中所述第一外表面和所述压电陶瓷元件的尺寸使得第一 第一外表面的部分不被压电陶瓷元件覆盖,其中第一电导体导电附着到第二外表面的第一部分和第一外表面的第一部分中的至少一个上,其中第一部分 第一外表面和第二外表面li的第一部分 e彼此相对并且在金属板延伸的平面中具有大致相同的尺寸和位置,并且其中绝缘覆盖物的至少一部分覆盖第一外表面的第一部分,使得压电陶瓷元件被直接布置 通过换能器连接到待检查物体的表面。
    • 8. 发明申请
    • 加振ユニット、ターゲット供給装置および極端紫外光生成システム
    • 振动器单元,目标供应装置和极紫外光发生系统
    • WO2016084167A1
    • 2016-06-02
    • PCT/JP2014/081259
    • 2014-11-26
    • ギガフォトン株式会社
    • 平下 俊行
    • H05G2/00H01L21/027
    • B06B1/0644B05B17/0669B05B17/0676G03F7/70033H01L21/027H05G2/006
    •  本開示の一態様による加振ユニットは、ターゲット流路(FL)内に供給されたターゲット材料(271)に振動を与える加振ユニット(310,320,330)であって、外部から入力された所定周波数の電気信号に応じて振動する振動素子(314)を備え、前記振動素子の共振周波数が、前記電気信号の前記所定周波数とは異なる周波数であってもよい。また、本開示の他の態様による加振ユニットは、前記ターゲット流路を内部に含む第1部材(265,260)に接触する振動伝達部材(311,331)と、前記振動伝達部材に接触する前記振動素子(314)と、を備え、前記振動伝達部材の1次モードの固有振動数が、前記振動素子の共振周波数とは異なる周波数であってもよい。
    • 根据本发明的实施例的振动器单元是用于对目标材料(271)施加振动的振动器单元(310,320,330),所述目标材料(271)被提供在目标流路(FL)内,并且配备有振动元件 (314)响应于从外部输入的预定频率的电信号而振动。 振动元件的共振频率可以是与电信号的预定频率不同的频率。 此外,根据本发明的另一实施例的振动器单元配备有与容纳有目标流路的第一构件(265,260)接触的振动传递构件(311,331)和振动元件(314) )与振动传递构件接触。 振动传递构件的一阶模式中的特定频率可以是与振动元件的共振频率不同的频率。