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1. 发明申请

WO2016119915A1 TRANSPARENTER UND HOCHSTABILER DISPLAYSCHUTZ 审中-公开
标题翻译：透明，高稳萤幕保护贴
公开(公告)号：WO2016119915A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/EP2015/065345
申请日：2015-07-06
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： RICHTER, Jan , DRESCHER, Wolfram
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/08 , C23C16/01 , C04B35/622 , B23K26/00 , B32B33/00 , G06K9/00 , A42B3/04
CPC分类号： C23C16/01 , A42B3/22 , B23K26/0057 , B23K26/0087 , B23K26/0624 , B23K26/08 , B23K2201/36 , B23K2203/00 , B23K2203/172 , B23K2203/52 , B32B33/00 , B32B37/025 , B32B38/10 , B32B2037/246 , B32B2307/584 , B32B2457/20 , C23C14/0005 , C23C14/081 , C23C14/5813 , C23C16/403 , C23C16/56 , G02C7/02 , G02C2202/16 , G06F3/041 , G06F2203/04107 , G06K9/00053
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von mindestens einer Festkörperschicht und umfasst mindestens die Schritte: Bereitstellen eines Trägersubstrats (4) mit einer darauf angeordneten Opferschicht (8) oder Anordnen einer Opferschicht (8) auf dem bereitgestellten Trägersubstrat (4), Erzeugen einer Nutzschicht (6) mittels chemischer oder physikalischer Gasphasenabscheidung auf der Opferschicht (8) zum Ausbilden einer Mehrschichtanordnung (2), Abtrennen der Nutzschicht (6) infolge einer zwischen der Nutzschicht (6) und dem Trägersubstrat (4) erzeugten Materialschwächung, wobei die Materialschwächung durch in der Opferschicht (8) mittels LASER-Strahlen (10) erzeugte Modifikationen (12) bewirkt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生至少一种固体层的方法，并且包括至少如下步骤：提供一支撑基板（4）具有设置在其上的牺牲层（8），或设置牺牲层（8）所提供的支撑基板（4）上，从而产生有用（6）层通过化学或物理气相沉积牺牲层（8）上形成的多层结构（2），分离（6）作为耐磨层（6）和所述载体基板之间的结果（4）材料弱化产生的有用层，其中，所述材料弱化通过在牺牲层（8）用激光射线的装置（10）产生的变形（12）实现。

2. 发明申请

WO2016055443A1 SPLITTING-VERFAHREN UND VERWENDUNG EINES MATERIALS IN EINEM SPLITTING-VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：分裂工艺和材料在分裂过程中使用
公开(公告)号：WO2016055443A1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：PCT/EP2015/072990
申请日：2015-10-06
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan , BEYER, Christian
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , H01L31/18
CPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02002 , H01L31/1896 , Y02E10/50
摘要： Die Erfindung betrifft ein Splitting-Verfahren zur Teilung eines Festkörper-Ausgangsmaterial in zumindest zwei Festkörper-Teilstücke und die Verwendung eines Materials in einem solchen Splitting-Verfahren. Zur Erhöhung der Gesamtausbeute eines Splitting-Verfahrens wird die Verwendung eines Polymer-Hybrid-Materials vorgeschlagen, welches einen oder mehrere Füllstoffe in einer Polymermatrix enthält. Ein entsprechendes Splitting-Verfahren umfasst die Schritte des Bereitstellens des Festkörper-Ausgangsmaterials mit zumindest einer freiliegenden Oberfläche, des Aufbringens eines Polymer-Hybrid-Materials, welches Füllstoffe in einer Polymermatrix enthält, auf zumindest eine freiliegende Oberfläche des Festkörper-Ausgangsmaterial, so dass eine Verbundstruktur resultiert und die Beaufschlagung der Verbundstruktur mit einem Spannungsfeld derart, dass das Festkörper-Ausgangsmaterial entlang einer Ebene innerhalb des Festkörper-Ausgangsmaterials in zumindest zwei Festkörper-Teilstücke gespalten wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在至少两个实心部分分割一个固体原料分裂过程，并且在这样的分割方法中的用途的材料制成。为了提高分离过程的总产率，使用的聚合物混合材料，提出了包含在聚合物基质中的一种或多种填料。了相应的分离方法包括：提供所述固体起始材料与至少一个暴露表面，涂布含有在聚合物基质中的填料的聚合物混合材料的步骤，所述固体起始材料的至少一个暴露表面，从而使复合结构结果，并与以使得沿着至少两个实心部分固体起始材料内的平面中的固体原料被切割的张力的复合结构的加载。

3. 发明申请

WO2018108938A1 VERFAHREN ZUM DÜNNEN VON MIT BAUTEILEN VERSEHENEN FESTKÖRPERSCHICHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2018108938A1
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：PCT/EP2017/082468
申请日：2017-12-12
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , SWOBODA, Marko , RIESKE, Ralf , BEYER, Christian , RICHTER, Jan
IPC分类号： B23K26/36 , B28D1/22 , B23K26/53 , H01L21/302
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einer Festkörperschicht (4) von mindestens einem Festkörper (1). Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst dabei die Schritte: Erzeugung einer Vielzahl an Modifikationen (9) mittels Laserstrahlen im Inneren des Festkörpers (1) zum Ausbilden einer Ablöseebene (8), Erzeugen einer Kompositstruktur durch Anordnen oder Erzeugen von Schichten und/oder Bauteilen (150) an oder oberhalb einer zunächst freiliegenden Oberfläche (5) des Festkörpers (1), wobei die freiliegende Oberfläche (5) Bestandteil der abzutrennenden Festkörperschicht (4) ist, Einleiten einer äußeren Kraft in den Festkörper (1) zum Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (1), wobei die äußere Kraft so stark ist, dass die Spannungen eine Rissausbreitung entlang der Ablöseebene (8) bewirkt, wobei die Modifikationen zum Ausbilden der Ablöseebene (8) vor der Erzeugung der Kompositstruktur erzeugt werden.

4. 发明申请

WO2015082582A1 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN GROSSFLÄCHIGER FESTKÖRPERSCHICHTEN 审中-公开
标题翻译：方法产生了大量FLAT实心层
公开(公告)号：WO2015082582A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/EP2014/076496
申请日：2014-12-04
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： LICHTENSTEIGER, Lukas , RICHTER, Jan , DRESCHER, Wolfram
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , H01L31/18
CPC分类号： B05D3/007 , C30B1/023 , C30B29/406 , C30B33/00 , H01L21/02002 , H01L21/304 , H01L31/1804 , H01L33/0075 , H01L33/0079 , H01L33/32 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung zumindest einer Festkörperschicht (1). Das Verfahren umfasst dabei mindestens die Schritte: Bereitstellen eines Trägersubstrats (2) mit einer ersten exponierten Oberfläche (4) und mit einer zweiten exponierten Oberfläche (6); Erzeugen einer Ablöseschicht (8) in dem Trägersubstrat oder auf der ersten exponierten Oberfläche (4) des Trägersubstrats (2), wobei die Ablöseschicht (8) eine freiliegende Oberfläche (10) aufweist; Erzeugen der ersten Festkörperschicht (1) auf der freiliegenden Oberfläche (10) der Ablöseschicht (8), wobei die erste Festkörperschicht (1) eine zu der Ablöseschicht (8) beabstandete freie Oberfläche (12) aufweist; Anordnen oder Ausbilden einer Aufnahmeschicht (14) an der zweiten exponierten Oberfläche (6) des Trägersubstrats (2) oder an der freien Oberfläche (12) der ersten Festkörperschicht (1); Erzeugen von Spannungen innerhalb der Ablöseschicht (8), wobei die Spannungen durch eine Temperierung von zumindest der Aufnahmeschicht (14) erzeugt werden, wobei sich innerhalb der Ablöseschicht (8) oder im Grenzbereich (16) zwischen der Ablöseschicht (8) und der ersten Festkörperschicht (1) in Folge der Spannungen ein Riss ausbreitet, wobei durch den Riss die erste Festkörperschicht (1) von der zuvor erzeugten Mehrschichtanordnung abgespalten wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于产生至少一个固体层（1）。所述方法包括至少如下步骤：提供具有第一暴露表面（4）和第二暴露表面（6）的载体基板（2）; 在载体衬底或第一暴露表面上产生的剥离层（8）（4）载体基板（2）中，其中所述隔离层（8）具有暴露表面（10）; 包括生成所述释放层（8），其中，所述第一固体层（1）间隔开一个到释放层的暴露表面（10）在所述第一固体层（1）（8）的自由表面（12）; 设置或形成在载体基板的第二暴露表面（6）上的记录层（14）（2）或在所述第一固体层的自由表面（12）（1）; 剥离层（8），其中，所述电压由至少所述记录层（14），的温度下产生内产生的电压，其中，所述剥离层（8）内，或在剥离层（8）和所述第一固体层之间的边界区域（16）（1）在应力传播的裂纹，其特征在于，所述第一固体层（1）被从先前制造的多层组件由裂纹裂解的结果。

5. 发明申请

WO2014154863A1 VERFAHREN ZUR KANTENVERRUNDUNG VON AUS EINEM FESTKÖRPER-AUSGANGSMATERIAL ERZEUGTEN FESTKÖRPER-TEILSTÜCKEN UND MITTELS DIESES VERFAHRENS HERGESTELLTE FESTKÖRPERPRODUKTE 审中-公开
标题翻译：方法边缘来自固体碱性材料产生的固体切口，并且此方法来舍入产生的固体产品
公开(公告)号：WO2014154863A1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：PCT/EP2014/056279
申请日：2014-03-28
申请人： SILTECTRA GMBH , FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan , EICHLER, Stefan , SCHILLING, Franz
IPC分类号： B28D5/00
CPC分类号： B28D5/00
摘要： Verfahren zur Kantenverrundung von aus einem Festkörper- Ausgangsmaterial erzeugten Festkörper-Teilstücken und mittels dieses Verfahrens hergestellte Festkörperprodukte Zusammenfassung Der Erfindung, welche eine Verfahren zur Kantenverrundung von Festkörper-Wafern betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, womit in einem Arbeitsgang eine Verrundung einer bereits vorhandenen umlaufenden Kante des Wafers als auch das Vermeiden der Entstehung scharfer Kanten nach einem Prozessschritt, in welchem der Wafer geteilt wird, erreicht und der Aufwand zur Kantenverrundung somit minimiert wird. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass auf einer Mantelfläche des zylinderförmigen Festkörper-Ausgangsmaterials (1) oder den Seitenflächen des quaderförmigen Festkörper-Ausgangsmaterials (1) mindestens eine umlaufende Vertiefung (7) derart erzeugt wird, dass diese in allen ihren Punkten gleich beabstandet zu einer Grund- oder Deckfläche des Festkörper-Ausgangsmaterials (1) ist.
摘要翻译：一种用于从固态原料固体部分中所产生和通过该方法的固体产物，其涉及一种方法，用于固态晶片的边缘倒圆，其目的是提供一种方法，由此在一个操作中的舍入一个发明内容产生边缘舍入方法现有的晶片的外周边缘以及避免尖锐边缘的形成的工艺步骤被划分后的晶片被实现成，并且需要将边缘的舍入的努力最小化。该目的是这样实现在圆柱形固态原料的横向表面（1）或所述矩形固体原料的侧表面（1）的至少一个周向凹部（7）被产生，使得它们在其所有的点等距间隔的所述固体起始材料的底部或顶部表面（1）。

6. 发明申请

WO2016162428A1 VERFAHREN ZUR MATERIALSPARENDEN WAFERHERSTELLUNG UND WAFERVERARBEITUNG 审中-公开
标题翻译：方法节约材料外延片生产及硅片加工的
公开(公告)号：WO2016162428A1
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：PCT/EP2016/057632
申请日：2016-04-07
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： SCHILLING, Franz , DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan
IPC分类号： B28D1/22 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00357 , B23K26/0057 , B28D1/221 , B81C1/0038 , B81C2201/0192 , H01L21/76251 , H01L31/1804 , H01L31/1896
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrschichtanordnung. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst dabei mindestens die Schritte: Bereitstellen eines Spendersubstrats (2) zum Abtrennen einer Festkörperschicht (4), insbesondere eines Wafers; Erzeugen von Modifikationen (12), insbesondere mittels LASER-Strahlen (10), in dem Spendersubstrat (2) zum Vorgeben eines Rissverlaufs; Bereitstellen eines Trägersubstrats (6) zum Aufnehmen der Festkörperschicht (4); Anbonden des Trägersubstrats (6) mittels einer Bondingschicht (8) an dem Spendersubstrat (2), wobei das Trägersubstrat (6) zur Erhöhung der mechanischen Festigkeit der abzutrennenden Festkörperschicht (4) für die Weiterverarbeitung vorgesehen ist, Anordnen oder Erzeugen einer Spannungserzeugungsschicht (16) an dem Trägersubstrat (6); Thermisches Beaufschlagen der Spannungserzeugungsschicht (16) zum Erzeugen von Spannungen in dem Spendersubstrat (2), wobei durch die Spannungserzeugung ein Riss ausgelöst wird, der sich entlang des vorgegebenen Rissverlaufs zum Abtrennen der Festkörperschicht (4) vom Spendersubstrat (2) ausbreitet, so dass sich die Festkörperschicht (4) mit dem angebondeten Trägersubstrat (6) abtrennt.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于生产多层结构。在这种情况下本发明的方法至少包括以下步骤：提供用于分离的固体层（4），特别是晶片的施主衬底（2）; 产生修改（12），特别是通过在所述施主衬底（2），用于设置所述疾病的俯视激光射线（10）的装置; 提供了一个支撑基板（6），用于接收所述固体层（4）; 通过在施主衬底上的结合层（8）的装置接合在支撑基板（6）（2），其中，所述支撑基板（6），以增加用于进一步处理分离的固体层（4）的机械强度被提供，放置或产生电压产生层（16）到支撑衬底（6）; 沿着预定断裂用于分离固体层（4），从而使热施加在所述施主衬底（2），其特征在于，裂缝是由电压产生发起产生电压的电压产生层（16），从所述施主衬底（2）传播所述固体层（4）与所述angebondeten支撑基板（6）被分离出来。

7. 发明申请

WO2015052218A1 ERZEUGUNG EINER RISSAUSLÖSESTELLE ODER EINER RISSFÜHRUNG ZUM VERBESSERTEN ABSPALTEN EINER FESTKÖRPERSCHICHT VON EINEM FESTKÖRPER 审中-公开
标题翻译：创建计划TRIP POINT或计划管理，在改善去除固态的固体层的
公开(公告)号：WO2015052218A1
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：PCT/EP2014/071509
申请日：2014-10-08
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan
IPC分类号： C30B33/06 , B23K26/00 , B28D1/22 , H01L21/762
CPC分类号： C30B33/06 , B23K26/0057 , B23K26/40 , B23K2203/50 , B28D1/005 , B28D1/221 , B28D5/00 , H01L21/76254
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst bevorzugt die Schritte: Bereitstellen eines Festkörpers (2) zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht (4), Erzeugen von Defekten mittels mindestens einer Strahlungsquelle (18), insbesondere einem Laser, in der inneren Struktur des Festkörpers zum Vorgeben einer Rissauslösestelle, ausgehend von der die Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird und/oder Erzeugen von Defekten mittels mindestens der Strahlungsquelle (18), insbesondere einem Laser, in der inneren Struktur des Festkörpers (2) zum Vorgeben einer Rissführung, entlang der die Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird, Anordnen einer Aufnahmeschicht (10) zum Halten der Festkörperschicht (4) an dem Festkörper (2), thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss ausgehend von der Rissauslösestelle und/oder entlang der Rissführung in dem Festkörper (2) ausbreitet, der die Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abtrennt.
摘要翻译：本发明涉及一种制造固态层的方法。本发明的方法优选包括以下步骤：用于通过至少一个辐射源（18）的装置，特别是激光用于设定裂点，开始分离至少一种固体层（4），产生缺陷，在固体本体的内部结构提供固体主体（2）从固定体（2）的固体层（4）是由至少所述辐射源（18）的装置，特别是激光用于设置撕开引导分离和/或产生缺陷，在固体本体（2）的内部结构沿其固体层（4）从所述固定体（2）分离时，设置为（4）上的固定体保持所述固体层的记录层（10）（2），热施加记录层（10），特别是机械，发电电压在固体状态（ 2），其中，由所述电压，裂纹从裂缝起始点和/或沿着将R开始 issführung传播在固体本体（2），该分离的固体层的固体本体（4）（2）。

8. 发明申请

WO2015052216A1 KOMBINIERTES HERSTELLUNGSVERFAHREN ZUM ABTRENNEN MEHRERER DÜNNER FESTKÖRPERSCHICHTEN VON EINEM DICKEN FESTKÖRPER 审中-公开
标题翻译：联合生产工艺研究几种固体薄膜的从厚固态分离
公开(公告)号：WO2015052216A1
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：PCT/EP2014/071506
申请日：2014-10-08
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan
IPC分类号： C30B33/06 , B23K26/00 , B28D1/22 , H01L21/762
CPC分类号： H01L21/76254 , B23K26/0054 , B23K26/0057 , B23K2203/52 , B28D1/221 , C30B33/06 , H01L21/76251
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten. Das Herstellungsverfahren umfasst mindestens die Schritte: Bereitstellen eines Festkörpers (2) zum Abspalten von mehreren Festkörperschichten (4), Einbringen oder Erzeugen von Defekten in den Festkörper (2) zum Vorgeben einer ersten Ablöseebene (8), entlang der eine erste Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird, Anordnen einer Aufnahmeschicht (10) zum Halten der Festkörperschicht (4) an dem Festkörper (2), thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper (2) entlang der Ablöseebene (8) ausbreitet, der die erste Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abtrennt, anschließendes Anordnen einer zweiten Aufnahmeschicht zum Halten einer weiteren Festkörperschicht (5) an dem um die erste Festkörperschicht (4) reduzierten Festkörper (2), Einbringen oder Erzeugen von Defekten in den Festkörper (2) zum Vorgeben einer zweiten Ablöseebene (9), entlang der eine zweite Festkörperschicht (5) vom Festkörper (2) abgetrennt wird, thermisches Beaufschlagen der zweiten Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper (2) entlang der zweiten Ablöseebene (9) ausbreitet, der die zweite Festkörperschicht (5) von dem Festkörper (2) abtrennt.
摘要翻译：本发明涉及一种制造固态层的方法。的制造方法至少包括以下步骤：设置一个第一释放层提供用于分离的固体主体（2）关闭的多个实心层（4）的，引入或产生在所述固定体（2）缺陷（8），沿着该第一固体层（4）从固定体（2）分开，设置在固体本体（2）上的固定体（2）保持所述固体层（4），热施加记录层（10），特别是机械，产生电压的记录层（10），其中，在所述固体本体的裂纹（2）沿着所述剥离层（8）传播通过所述固定体（2）被分离的第一固体层（4）的电压，然后将第二记录层，用于保持一个另外的固体层（5）所述周围的第一固体层（4）减少固定体（2），在所述固定体（2），用于设定引入ZW或产生缺陷尼特crackoff平面（9），沿着该第二固体层（5）的固定体（2）在固体分离时，热施加用于第二记录层，特别是机械，发电电压（2），其中由所述电压，在裂缝固体本体（2）沿着所述第二释放层（9）移动时，所述第二固体层（5）的固定体（2）被分离。

9. 发明申请

WO2018108909A1 VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG DER OBERFLÄCHENGÜTE EINER SICH INFOLGE EINER RISSAUSBREITUNG ERGEBENDEN OBERFLÄCHE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018108909A1
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：PCT/EP2017/082423
申请日：2017-12-12
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , SWOBODA, Marko , RIESKE, Ralf , BEYER, Christian , RICHTER, Jan
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , B28D5/00
CPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02008 , H01L21/02024 , Y02P80/30
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer Festkörperschicht (4). Dieses Verfahren umfasst mindestens die Schritte: Erzeugung einer Vielzahl an Modifikationen (9) mittels Laserstrahlen im Inneren eines Festkörpers (1) zum Ausbilden einer Ablöseebene (8), Einleiten einer äußeren Kraft in den Festkörper (1 ) zum Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (1 ), wobei die äußere Kraft so stark ist, dass die Spannungen eine Rissausbreitung zum Abtrennen der Festkörperschicht von dem Festkörper entlang der Ablöseebene (8) bewirkt, Behandeln der durch das Abtrennen der Oberfläche freigelegten Oberfläche der Festkörperschicht zum Erhöhen der Festigkeit der inneren Struktur der Festkörperschicht und/oder zur Reduzierung der bei einem spanenden Verfahren auf die innere Struktur der Festkörperschicht (4) wirkenden mechanischen Belastung, Verändern der Oberflächengüte der behandelten Oberfläche der Festkörperschicht (4) mittels Polieren.

10. 发明申请

WO2015052220A1 KOMBINIERTES WAFERHERSTELLUNGSVERFAHREN MIT LASERBEHANDLUNG UND TEMPERATURINDUZIERTEN SPANNUNGEN 审中-公开
标题翻译：与激光治疗温度引起的电压联合晶圆工艺
公开(公告)号：WO2015052220A1
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：PCT/EP2014/071512
申请日：2014-10-08
申请人： SILTECTRA GMBH
发明人： DRESCHER, Wolfram , RICHTER, Jan , BEYER, Christian
IPC分类号： B23K26/00 , B28D5/00 , B23K26/40 , H01L21/268 , H01L31/18
CPC分类号： H01L23/562 , B23K26/0006 , B23K26/0057 , B23K26/0087 , B23K26/0624 , B23K26/40 , B23K2203/50 , B23K2203/56 , B28D5/0005 , B28D5/0011 , C30B33/06 , H01L21/02002 , H01L21/268 , H01L23/544 , H01L31/1896 , H01L2223/5446 , Y02E10/50
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperschichten. Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst mindestens die Schritte des Bereitstellens eines Festkörpers (2) zum Abtrennen mindestens einer Festkörperschicht (4), des Erzeugens von Defekten mittels mindestens einer Strahlungsquelle, insbesondere einem Laser, in der inneren Struktur des Festkörpers zum Vorgeben einer Ablöseebene, entlang der die Festkörperschicht vom Festkörper abgetrennt wird, und des thermischen Beaufschlagens einer an dem Festkörper (2) angeordneten Polymerschicht (10) zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper (2), wobei sich durch die Spannungen ein Riss in dem Festkörper (2) entlang der Ablöseebene (8) ausbreitet, der die Festkörperschicht (4) von dem Festkörper (2) abtrennt.
摘要翻译：本发明涉及一种制造固态层的方法。本发明的方法包括至少用于分离至少一种固体层提供固体主体（2）的步骤：（4）由至少一个辐射源，特别是激光的手段产生的缺陷，在固体本体的内部结构，用于设定crackoff平面的沿着该是固体层与固体分离，并放置在热Beaufschlagens一个在固定体（2）的聚合物层（10），用于，特别是机械，发电电压在实心主体（2），其中由所述电压，在所述实心主体的裂纹（2）沿其分离的固体层的剥离层（8）中传播（4）在固体本体（2）。

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