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1. 发明申请

WO2005078909A1 AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG FÜR EINEN MIT EINEM LINEARMOTOR ANGETRIEBENEN SCHLITTEN 审中-公开
标题翻译： AERO静线指南为直线电机与从动SLED
公开(公告)号：WO2005078909A1
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：PCT/EP2005/050564
申请日：2005-02-09
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , BRAND, Jan , MEHDIANPOUR, Mohammad , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： BRAND, Jan , MEHDIANPOUR, Mohammad , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： H02K41/035
CPC分类号： B23Q1/017 , F16C29/025 , F16C32/06 , F16C2322/39 , H02K41/035
摘要： Eine aerostatische Linearführung für einen mittels eines elektrischen Linearmotors angetriebenen Schlitten (7, 13) ist durch wechselweise an einem Träger (1, 12) bzw. am Schlitten (7, 13) angeordnete parallele ebene Führungsbahnen (5, 6, 7) und Lagerfüße (9, 10, 11) gebildet, die sich an den Führungsbahnen abstützen und die magnetische Anziehungskraft (P) des Linearmotors aufnehmen. Eine erste der Führungsbahnen (4) verläuft auf einer Längsseite des Linearmotors. Eine zweite und eine dritte Führungsbahn (5 und 6) verlaufen eng benachbart auf der gegenüberliegenden Längsseite des Linearmotors und sind dachförmig schräg zur Richtung der Anziehungskraft (P) geneigt. Eine Mittelebene (M) zwischen der zweiten und dritten Führungsbahn (4 und 7) ist annähernd in der Richtung der Anziehungskraft (P) orientiert und die erste Führungsbahn (4) steht annähernd senkrecht zur Mittelebene (M). Dadurch wird eine hohe Führungsstabilität erreicht, so dass die senkrecht zur Anziehungskraft (P) des Linearmotors wirkenden Kräfte und Momente sicher aufgenommen werden.
摘要翻译：空气静力直线导轨要由电动线性马达托架（7，13）通过交替地驱动到支架（1，12）或托架（7,13），其布置平行的平面引导轨道（5，6，7）（和支撑脚 9，10，11）形成，其被支撑在所述导轨和所述线性电动机的磁性吸引力（P）来记录。第一引导轨道（4）的上运行的线性电动机的一个纵向侧。第二和第三导轨（5和6）延伸紧邻线性电动机的相对的纵向侧和是屋顶形倾斜于吸引力（P）的方向上是倾斜的。第二和第三导向路径（4和7）在所述吸引力（P）的方向大致面向与所述第一导轨（4）之间的中间平面（M）是大致垂直于中心平面（M）。因此，高稳定性，实现导向，从而使垂直于所述线性电动机的力和力矩的吸引力（P）被吸收安全。

2. 发明申请

WO2005077592A1 AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG FÜR EINEN POSITIONIERARM MIT EINEM BESTÜCKKOPF FÜR ELEKTRISCHE BAUELEMENTE 审中-公开
标题翻译： AERO静线指南以投放位置对电子组件的定位
公开(公告)号：WO2005077592A1
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：PCT/EP2005/050505
申请日：2005-02-07
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , MEHDIANPOUR, Mohammad , BRAND, Jan , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： MEHDIANPOUR, Mohammad , BRAND, Jan , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： B23Q1/38
CPC分类号： B23Q1/38 , B23Q1/017 , F16C29/025 , F16C32/06 , F16C2322/39 , H05K13/04
摘要： Eine Bestückvorrichtung (1) zum Bestücken von Substraten (17) mit elektrischen Bauelementen (14) weist einen an einem Chassis (2) luftgelagerten, in einer Längsrichtung (x) verschiebbaren Positionierarm (3) auf, an dem ein Bestückkopf (4) in einer Querrichtung (y) verschiebbar gelagert ist. Dabei sind Luftlagerelemente (11) einer aerostatischen Linearführung unmittelbar am Positionierarm (3) verankert und Führungsbahnen (9a, 9b, 9c) für die Luftlagerelemente (11) unmittelbar am Chassis (2) ausgebildet. Dadurch werden die Massenkräfte des Positionierarms (3) wirksam abgefangen und die entsprechenden Schwingungen verringert.
摘要翻译：的嵌合装置（1）用于装配的基板（17）与电组件（14）具有在底盘（2）用空气轴承，在纵向方向（x）移动的定位臂（3），在其上在一个安装头（4）横向方向（y）可移动地安装。在直接在定位臂（3）和导轨（9A，9B，9C），用于空气轴承部件（11）锚定的空气静力直线导轨的该空气轴承部件（11）直接连接到机壳（2）。由此，所述定位臂（3）的惯性力能够有效地吸收和减少了相应的振动。

3. 发明申请

WO2006089742A2 ANTRIEBSEINHEIT FÜR EIN BEWEGBARES FUNKTIONSELEMENT 审中-公开
标题翻译：驱动单元可移动的功能件
公开(公告)号：WO2006089742A2
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：PCT/EP2006/001628
申请日：2006-02-22
申请人： AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER LASERTECHNIK , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , BRAND, Jan
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , BRAND, Jan
CPC分类号： H05K13/0408
摘要： Antriebseinheit für ein bewegbares Funktionselement . Eine Antriebseinheit zum Handhaben von elektrischen Bauelementen (1) weist ein Gehäuse (2) mit einer Bohrung (3) zum Führen eines drehbaren und entlang seiner Drehachse linear verschiebbaren Halters (4) für das Bauelement (1) auf, wobei die Antriebseinheit mit einem Drehantrieb (6) und einen Linearantrieb (5) für den Halter (4) versehen ist. Der Drehantrieb (6) und der Linearentrieb sind vom Halter (4) im Hinblick auf dessen Achslage mechanisch entkoppelt und lediglich in ihrer Antriebsrichtung kinematisch fest mit dem Halter (4) gekoppelt. Dadurch ist es möglich, den zylindrischen Halter (4) frei von Störkräften in der Bohrung (3) genau zu führen.
摘要翻译：用于可移动功能元件驱动单元。用于处理的电气部件（1）的驱动单元包括具有壳体（2）的孔为（3）引导的可旋转和沿其对于组分（1）旋转而线性移动的保持器（4）的轴，其中，所述驱动单元与旋转驱动（6）并且被设置用于保持器（4）的线性驱动器（5）。旋转驱动器（6）和所述线性驱动是保持器（4）相对于只在（4）联接与保持器及其驱动方向脱开机械上和运动学上固定的轴向位置。由此，能够引导筒状保持器（4）只无干扰力的在所述孔（3）。

4. 发明申请

WO2006089741A1 AEROSTATISCB.ES LAGER MIT EINEM SCHWENKBAR ABGESTÜTZTEN LAGER FUSS UND KUPPLUNG MIT DEM LAGER 审中-公开
标题翻译：带有可调节库存AEROSTATISCB.ES CAMP支撑脚和离合配合仓库
公开(公告)号：WO2006089741A1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：PCT/EP2006/001627
申请日：2006-02-22
申请人： AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER-LASERTECHNIK , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , BRAND, Jan
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , BRAND, Jan
IPC分类号： F16C32/06 , F16C29/02
CPC分类号： F16C32/0666 , F16C29/025
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf ein aerostatisches Lager mit einem Lagerfuss (2) , der frontseitig eine ebene Lagerfläche (3) mit einer dazu senkrechten mittleren Lagerachse aufweist und der rückseitig über ein Stützlager an einem Halter (1) des Lagers kippbar gelagert ist. Erf indungsgemäss ist der Stützlager als Festkörpergelenk (9) ausgebildet. Ein solcher Lager wird in eine Antriebseinheit zum Handhaben von elektrischen Bauelementen eingebaut.
摘要翻译：本发明涉及一种具有轴承脚（2）的气体静压轴承，前侧经由支承轴承上的保持器（1）的轴承被可倾斜地安装具有平面支承表面（3）垂直的中心轴承轴线和后部。 ERFindungsgemäss支撑轴承被构造为固体接头（9）。这种轴承被安装在驱动器单元，用于处理电子部件。

5. 发明申请

WO2005062446A1 EINRICHTUNG ZUM FIXIEREN EINER MAGNETSCHIENE EINES ELEKTRISCHEN LINEARMOTORS AN EINEM TRÄGER 审中-公开
标题翻译：装置用于固定线性电动机的磁轨在支撑
公开(公告)号：WO2005062446A1
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/EP2004/053117
申请日：2004-11-26
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , MUTH, Michael , BRAND, Jan
发明人： MUTH, Michael , BRAND, Jan
IPC分类号： H02K41/02
CPC分类号： H02K41/031 , E01B25/32 , H02K5/00 , H02K5/26
摘要： Eine Magnetschiene (2) eines elektrischen Linearmotors legt sich mit ihrer Oberseite an überlappende Anschlagschultern (9) von Halteelementen an, die an einem Träger (1) fest verankert sind und die in einer definierten Höhe über dem Träger (1) angeordnet sind. Der Abstand zwischen dem Träger (1) und der Anschlagschulter (9) ist grösser als die entsprechende Dicke der Magnetschiene (2), die mittels Federelementen (10) mit geringer Vorspannung definiert gegen die Anschlagschultern (9) gedgrückt wird. Dadurch wird der Abstand der Magnetschiene (2) zu einem Spulenteil (6) des Linearmotors unabhängig von Dickenunterschieden konstant gehalten und eine Verspannung der längsverschiebbaren Magnetschiene (2) mit dem Träger (1) von unterschiedlicher Wärmedehnung vermieden.
摘要翻译：一种磁轨（2）的线性电动机躺下与它们的上侧重叠止动肩保持元件，其上的支撑件（1）被牢固地锚定，并且被布置在限定的高度的载体上的（9）（1）。所述支承件（1）和所述止动肩部（9）之间的距离大于由弹簧元件（10）与抵靠止动肩部（9）gedgrückt定义的低偏置电压的装置的磁轨（2）的相应厚度。其特征在于，以所述线性电机的线圈部分（6）的磁轨（2）的距离被保持，而不管厚度恒定和差的可纵向移动的磁轨（2）的与避免不同的热膨胀的支架（1）的菌株。

6. 发明申请

WO2003076127A1 SCHNELLFREQUENZSPINDEL MIT SPEZIELLEM LUFTLAGER 审中-公开
标题翻译：具有特殊空气轴承FAST变频主轴
公开(公告)号：WO2003076127A1
公开(公告)日：2003-09-18
申请号：PCT/EP2003/002050
申请日：2003-02-28
申请人： PRECISE PRÄZISIONSSPINDELN GMBH , AEROLAS GMBH , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , MAYER, Anton , VAN SPRANG, Joachim
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg , MAYER, Anton , VAN SPRANG, Joachim
IPC分类号： B23Q1/38
CPC分类号： F16C32/0651 , B23Q1/38 , B23Q1/70 , F16C2322/39
摘要： Die Schnellfrequenzspindel umfasst eine Lagereinrichtung mit einem radial und/oder axial wirkendem Luftlager (5, 6), welches auf der der Lagerseite gegenüberliegenden Seite eine Mehrzahl von Ausnehmungen (10, 20) aufweist, die bis auf eine geringe Restwandstärke an die Lagerfläche heranreichen und wobei am Boden einer jeden Ausnehmung eine Mehrzahl von Mikro-Durchgangsbohrungen (14, 21) vorgesehen sind.
摘要翻译：高频心轴包括具有径向和/或轴向作用的空气轴承的轴承装置（5,6）形成在侧轴承侧侧相对的多个凹部（10，20），其到达轴承表面除了一个小的残余的壁厚，并且其中在每个凹部的底部，多个通孔（14，21）的微。

7. 发明申请

WO2006069731A1 AXIAL ANGETRIEBENE KOLBEN-ZYLINDER-EINHEIT 审中-公开
标题翻译：轴向驱动的活塞缸单元
公开(公告)号：WO2006069731A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/EP2005/013865
申请日：2005-12-22
申请人： AEROLAS GMBH , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： F02B71/04 , F16C32/06 , F04B35/00 , F04B53/00
CPC分类号： F04B35/045 , F04B53/146
摘要： Eine axial angetriebene Kolben-Zylinder-Einheit mit einem Zylinder (2), einem Kolben (3), der zwischen einer ersten Kolbenstellung, in der das vom Kolben (3) und vom Zylinder (2) umschlossene Zylindervolumen (18) maximal ist, und einer zweiten Kolbenstellung, in der dieses Zylindervolumen minimal ist, in Axialrichtung des Zylinders (2) hin- und herbewegbar ist, sowie einer zwischen dem Kolben (3) und dem Zylinder (2) vorgesehenen Fluidlagerung, die den Kolben (3) im Zylinder (2) axial bewegbar lagert und die eine den Umfang des Kolbens (3) zumindest über einen Teil der Axialerstreckung des Kolbens (2) umgebende kolbenseitige Lagerfläche (38) bestimmt, einem in Axialrichtung des Zylinders oder im wesentlichen parallel dazu hin- und herbewegbaren Antriebselement (50), das mit dem Kolben (3) über eine Kolbenstange (4) mechanisch verbunden ist, wobei die Kolbenstange (4) so ausgestaltet ist, dass sie einen Radialversatz oder eine Neigung zwischen der Zylinderachse (X) und der die Bewegungsrichtung des Antriebselements (50) bestimmenden Längsachse (Y) zulässt, und kompensiert, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange (4) mit einem ersten, antriebsseitigen Gelenkabschnitt (40) versehen ist, dass die Kolbenstange (4) mit einem zweiten, kolbenseitigen Gelenkabschnitt (42) versehen ist und daß der zweite, kolbenseitige Gelenkabschnitt (42) im hinteren, vom Kolbenboden (16) abgewandten Bereich des Kolbens (3) vorgesehen ist.
摘要翻译：与气缸的轴向驱动的活塞 - 缸单元（2），活塞（3），这是在第一活塞位置之间的最大在由活塞其中所述（3）和所述气缸（2）封闭的汽缸容积（18），和第二活塞位置，其中该气缸容积处于在气缸（2）前后移动，轴向方向上的最小以及所述活塞（3）和所述气缸（2）的流体轴承，所述活塞之间设置有（3）在汽缸中（ 2）重叠轴向移动和活塞（3）的至少在所述活塞的轴向延伸的部分的周边（2）围绕所述活塞侧支承表面（38）在气缸的轴向方向上往复驱动构件判断平行或大致（ 50），其连接到通过活塞杆的活塞（3）（4）机械，其中，所述活塞杆（4）被设计成使得其（一个径向偏移或气缸轴线X之间的倾斜）和运动由限定纵向轴线（Y）的驱动构件（50）的纵向方向上允许并补偿，其特征在于，所述活塞杆（4）上设置有第一，驱动侧铰链部分（40），所述活塞杆（4）与第二活塞侧铰链部（42）设置和设置从活塞（3）的区域中背对第二活塞侧接头部（42）在后方，从活塞头（16）。

8. 发明申请

WO2006089582A1 KOLBEN-ZYLINDER-EINHEIT 审中-公开
标题翻译：活塞缸单元
公开(公告)号：WO2006089582A1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：PCT/EP2005/013864
申请日：2005-12-22
申请人： AEROLAS GMBH , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： F04B35/04
CPC分类号： F04B35/045 , F04B39/0005 , F04B39/122 , F04B39/126 , F04B53/008 , Y10S92/02
摘要： Eine Kolben-Zylinder-Einheit mit einem Zylinder (2), einem Kolben (3), der zwischen einer ersten Kolbenstellung, in der das vom Kolben (3) und vom Zylinder (2) umschlossene Zylindervolumen (18) maximal ist, und einer zweiten Kolbenstellung, in der dieses Zylindervolumen minimal ist, in Axialrichtung des Zylinders (2) hin- und herbewegbar ist, sowie einer zwischen dem Kolben (3) und dem Zylinder (2) vorgesehenen Fluidlagerung, die den Kolben (3) im Zylinder (2) axial bewegbar lagert und die eine den Umfang des Kolbens (3) zumindest über einen Teil der Axialerstreckung des Kolbens (2) umgebende kolbenseitige Lagerfläche (38) bestimmt, wobei die Fluidlagerung eine Mehrzahl von in der Innenumfangswand (14) des Zylinders (2) vorgesehenen Austrittsdüsen für das Fluid aufweist, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsdüsen (30', 32') so angeordnet sind, daß dann, wenn sich der Kolben (3) in seiner zweiten Kolbenstellung befindet, erste Austrittsdüsen (30') den bezüglich der Kolbenlängserstreckung vorderen oder mittleren Bereich der kolbenseitigen Lagerfläche (38) und zweite Austrittsdüsen (32') den bezüglich der Kolbenlängserstreckung mittleren Bereich der kolbenseitigen Lagerfläche (38) mit Druckfluid versorgen.
摘要翻译：
与气缸（2），活塞的活塞 - 缸单元（3）连接的第一活塞位置之间在由活塞其中所述（3）和所述气缸（2）封闭的汽缸容积（ 18）是最大和第二活塞位置，其中该汽缸容积为最小（在气缸2）前后移动，的轴向方向以及提供一个（在活塞3）和所述气缸（2）之间的流体轴承，活塞的（3）液压缸（2）在被安装轴向可移动和活塞（3）中的至少一个的外周在所述活塞的轴向延伸部的部分（2）围绕所述活塞侧Lagerfl BEAR表面（38），其中，所述流体轴承包括多个在汽缸（2）Austrittsd导航使用仙˚F导航用途r的内周壁（14）设置有流体被表征为ROAD 出口喉部（30'，32'）被布置成：当活塞3处于其第二活塞位置时，第一出口喷嘴30'限定活塞侧支承表面38相对于活塞纵向延伸部32的前部或中部区域， '）将加压流体相对于活塞纵向延伸部分供应到活塞侧轴承表面（38）的中心区域。

9. 发明申请

WO2006074915A1 AXIAL ANGETRIEBENE KOLBEN-ZYLINDER-EINHEIT 审中-公开
标题翻译：轴向驱动的活塞缸单元
公开(公告)号：WO2006074915A1
公开(公告)日：2006-07-20
申请号：PCT/EP2006/000191
申请日：2006-01-11
申请人： AEROLAS GMBH , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： F04B39/00 , F04B35/04 , F02G1/043
CPC分类号： F04B35/04 , F02G1/0435 , F04B35/045 , F04B39/0005 , F04B39/0022
摘要： Eine axial angetriebene Kolben-Zylinder-Einheit mit einem Zylinder (2) , einem Kolben (3) , der zwischen einer ersten Kolbenstellung, in der das vom Kolben (3) und vom Zylinder (2) umschlossene Zylindervolumen (18) maximal ist, und einer zweiten Kolbenstellung, in der dieses Zylindervolumen minimal ist, in Axialrichtung des Zylinders (2) hin- und herbewegbar ist, sowie einem in Axialrichtung des Zylinders hin- und herbewegbaren Antriebselement (50) , das mit dem Kolben (3) über eine Kolbenstange (4) mechanisch verbunden ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß die Kolbenstange (4) an ihrem ersten Ende (4 ' ) und / oder an ihrem zweiten Ende (4") mittels einer elastischen Einrichtung (6) mit dem Kolben (3) beziehungsweise mit dem Antriebselement (50) gegen die Vorspannkraft der elastischen Einrichtung axial relativ beweglich zum Kolben (3) beziehungsweise zum Antriebselement (50) derart verbunden ist, daß dann, wenn der Kolbenboden (16) bei einer Bewegung des Kolbens (3) in die zweite Kolbenstellung an der köpf seit igen Stirnwand (12) an der zylinderkopf seitigen Stirnwand (12) der Zylinderbohrung (10) zur Anlage kommt, die weitere Bewegung des Antriebselements (50) gegen die Kraft der elastischen Einrichtung (6) erfolgt und so das Antriebselement (50) abgebremst wird.
摘要翻译：与气缸的轴向驱动的活塞 - 缸单元（2），活塞（3），这是在第一活塞位置之间的最大在由活塞其中所述（3）和所述气缸（2）封闭的汽缸容积（18），和第二活塞位置，其中该气缸容积处于在气缸（2）来回移动的轴向方向上的最小值，并且经由活塞杆在汽缸和往复运动驱动元件（50）的轴向方向上的背面（所述活塞（3） 4）机械地连接，其特征在于，所述活塞杆（4）（在其第一端4“）和/或（在通过一个弹性装置（6）与所述活塞装置其第二端4“）（3）中并用克服弹性装置的偏压力的驱动构件（50）相对于所述活塞轴向移动（3）或所述驱动元件（50），使得当所述活塞头（16）在活塞的运动（3）在第二柯 lbenstellung由于在Kopf的（12）在气缸孔的气缸盖侧的端壁（12）（10）强度端壁贴靠在，驱动构件（50）克服弹性装置（6）被执行并且力的进一步运动，从而驱动元件（ 50）进行制动。

10. 发明申请

WO2011042034A1 BESTÜCKUNGSKOPF ZUM HANDHABEN ELEKTRISCHER ODER ELEKTRONISCHER BAUELEMENTE 审中-公开
标题翻译：头部安装用于进行处理电子和电子元器件
公开(公告)号：WO2011042034A1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：PCT/EP2009/007170
申请日：2009-10-06
申请人： AEROLAS GMBH , MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
发明人： MUTH, Michael , SLOTTA, Georg
IPC分类号： H05K13/04
CPC分类号： H05K13/0408
摘要： Ein Bestückungskopf zum Handhaben elektrischer oder elektronischer Bauelemente mit einem Handhabungselement (6) mit einer Saugdüse (7) zum Aufbringen einer Saugwirkung auf ein aufzunehmendes und zu haltendes elektrisches oder elektronisches Bauelement (8); einem Halter (4; 204) für das Handhabungselement (6) und zumindest einer Antriebsvorrichtung, um den Halter (4; 204) entlang einer ersten Achse (Z) translatorisch zu bewegen; wobei der Halter (4; 204) einen Zylinder (5; 205) mit einer Zylinderbohrung (50; 250) aufweist, die sich koaxial zur ersten Achse (Z) erstreckt; wobei das Handhabungselement (6) einen Kolben (60; 260) aufweist, der mittels zumindest eines als Fluidlager ausgebildeten Radiallagers (681, 69'; 268', 269 ') im Zylinder (5; 205) entlang der ersten Achse (Z) verschiebbar gelagert ist, wobei im Zylinder (5; 205) ein Druckraum (9; 209) ausgebildet ist, und wobei der Kolben (60; 260) von einer im Druckraum (9; 209) wirkenden Fluiddruckkraft (F; F'; F") in Axialrichtung derart beaufschlagt ist, dass er gegen einen Anschlag (52; 252) am Halter (4; 204) in Richtung aus dem Zylinder (5; 205) hinaus vorgespannt ist zeichnet sich dadurch aus, dass der Fluiddruck zur Erzeugung der Fluiddruckkraft (F; F'; F") von dem in das Radiallager (68', 69'; 268', 269') eingespeisten Fluid bewirkt wird.
摘要翻译：用于与吸嘴（7）处理的电或电子元件与操纵元件（6）用于施加吸力到阳安装头和保持电气或电子部件（8）; 一个夹持器（4; 204），用于处理元件（6）和至少一个驱动装置，用于将保持器（4; 204）沿第一轴（Z）平移移动; 其中，所述保持件（4; 204）包括汽缸（5; 205）;具有同轴地延伸到所述第一轴（Z）的气缸孔（250 50）; 特征在于，操作元件（6）包括活塞（60; 260）由至少一个设计为流体轴承的径向轴承的装置;液压缸（5; 205）在（681，69，269““268”）沿着第一轴（Z）移动地被安装时，其特征在于，液压缸（5; 205）中，压力室（9; 209）形成，并且其中，所述活塞（60; 260）通过一个压力腔（9; 209）作用流体压力（F; F“; F“）在轴向方向上作用时，使得其抵靠止动件（52; 252）上的保持器（4; 204）从气缸（5; 205）的方向上也被偏压，其特征在于，所述流体压力产生的流体压力的力（F F '; F“）从（在径向轴承68' ，被引起，269 '）进料流体69' 268'。

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