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    • 1. 发明申请
    • VORRICHTUNG MIT EINEM DIREKT ANGETRIEBENEN ROTATIONSKÖRPER UND AEROSTATISCHES LAGER
    • 装有直接驱动旋转体和空气动力轴承的装置
    • WO2008017498A2
    • 2008-02-14
    • PCT/EP2007/007098
    • 2007-08-10
    • AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER-LASERTECHNIKMUTH, Michael
    • MUTH, Michael
    • A61B6/00A61B6/03F16C32/06G01N23/04
    • F16C32/0618A61B6/035A61B6/56F16C32/0666F16C2300/14F16C2316/10
    • Eine Vorrichtung mit einem direkt angetriebenen Rotationskörper (1), der an seinem Umfang (11) bezüglich eines stationären Körpers (2) auf Radiallagern (4, 4') radial gelagert ist und der an zumindest einer ersten Stirnseite (10) bezüglich des stationären Körpers (2) axial gelagert ist, wobei zur axialen Lagerung aerostatische Lager (5, 5', 5") vorgesehen sind, zeichnet sich dadurch aus, daß auf der ersten Stirnseite (10) eine zur Drehachse (X) des Rotationskörpers (1) koaxiale, ringförmige Magnetanordnung (32) ausgebildet ist und daß am stationären Körper (2), der ringförmigen Magnetanordnung (32) in Axialrichtung gegenüber gelegen, zumindest eine elektrische Spulenanordnung (30) vorgesehen ist, die zusammen mit der ringförmigen Magnet anordnung (32) Bestandteile eines elektrischen Direktantriebs (3) für den Rotationskörper (1) bildet.
    • 用直接驱动Rotationsk&OUML的装置;沿径向rpers(2)向所述径向轴承(4,4“),主体(1),其在其圆周(11)内接导航用途可能一个站AUML的;任K&ouml 被安装并在至少一个第一端面(10)内接导航用途可能车站&AUML的;任Kö轴向(2),用于轴向安装空气静压轴承(5,5”,QUOT 5)被提供rpers,通过以下事实区分 从,因为&s; 在第一面(10)到所述Rotationsk&OUML的旋转轴线(X);形成形磁铁装置(32),并有ROAD rpers(1)同轴的环形ö 在站AUML;任Kö主体(2),该环状Ö在防止过沿轴向位于形磁体装置(32),至少一个电线圈组件(30)设置,它与环和ouml在一起;的排列状磁铁(32)组件 用于旋转体(1)的直接电驱动(3)。

    • 2. 发明申请
    • KOLBEN-ZYLINDER-EINHEIT
    • 活塞缸单元
    • WO2013167124A2
    • 2013-11-14
    • PCT/DE2013/100171
    • 2013-05-08
    • AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER-LASERTECHNIK
    • MUTH, MichaelSLOTTA, Georg
    • F04B39/00
    • F04B53/162F04B39/0005F04B39/123F04B53/14F04B53/16
    • Eine Kolben-Zylinder-Einheit mit einem im Zylinder (2) fluiddruckgelagerten linear bewegbaren Kolben (103), wobei der Zylinder (2), eine Stirnwand (116) des Kolbens (103) und eine Zylinderstirnwand (12) einen Kompressionsraum (18) umgeben, der im Bereich des oberen Totpunkts (OT) des Kolbens (103) minimal ist, wobei der Kompressionsraum (18) mit einem zwischen einer Zylinderinnenumfangswand (14) und einer Kolbenaußenumfangswand (136) gebildeten Lagerspalt (19) in Fluidverbindung steht, wobei in zumindest einer Querschnittsebene (Q2, Q3) des Zylinders (2) eine Mehrzahl von Fluidaustrittsdüsen (32', 34') in der Zylinderinnenumfangswand (14) entlang des Umfangs angeordnet sind, die in den Lagerspalt (19) münden und die mit einer Versorgungsleitung für ein Druckfluid verbunden sind, und wobei in zumindest einer Querschnittsebene (Q1) des Kolbens (103), der Kolbenstirnwand (116) benachbart, eine Mehrzahl von Fluidaustrittsdüsen (130') in der Kolbenaußenumfangswand (136) entlang des Umfangs angeordnet sind, die in den Lagerspalt (19) münden zeichnet sich dadurch aus, dass auch die Fluidaustrittsdüsen (130') in der Kolbenaußenumfangswand (136) mit der Versorgungsleitung für das Druckfluid verbunden sind.
    • 活塞 - 缸单元具有汽缸(2)的流体压力安装可线性移动的活塞(103),所述(2),活塞(103)和一个缸端壁(12)的压缩空间的端壁(116)(18)所环绕气缸 在上止点的活塞的(TDC)(103)的区域是最小的,其中所述压缩室(18)与汽缸内周壁(14)和形成在流体连通的活塞的外周壁的轴承间隙(136)(19)之间的连通,其中,在至少 气缸(2)的多个流体排出喷嘴(32”,34' )的一个横截面平面(Q2,Q3)被布置在沿其打开到轴承间隙(19)的周边和一个与供料线的气缸内周壁(14) 加压流体被连接,并且其中,在所述活塞(103),所述活塞端壁(116)邻接的多个沿顺序的活塞外周壁(136)的流体排出喷嘴(130“)中的至少一个横截面平面(Q1) 尖牙被布置,从而打开进入轴承间隙(19)的特征在于,在所述活塞的外周壁(136)中的流体出口喷嘴(130“)被连接到用于压力流体的供给线。
    • 4. 发明申请
    • PISTON/CYLINDER UNIT
    • 活塞缸单元
    • WO2013167124A3
    • 2014-01-09
    • PCT/DE2013100171
    • 2013-05-08
    • AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER LASERTECHNIK
    • MUTH MICHAELSLOTTA GEORG
    • F04B39/00F04B39/12F04B53/14F04B53/16
    • F04B53/162F04B39/0005F04B39/123F04B53/14F04B53/16
    • A piston/cylinder unit having a piston (103) which can be guided linearly in the cylinder (2) in a manner which is mounted by fluid pressure, wherein the cylinder (2), an end wall (116) of the piston (103) and a cylinder end wall (12) surround a compression chamber (18) which is at a minimum in the region of the top dead centre (TDC) of the piston (103), wherein the compression chamber (18) is fluidically connected to a bearing gap (19) which is formed between a cylinder inner circumferential wall (14) and a piston outer circumferential wall (136), wherein a plurality of fluid outlet nozzles (32', 34') are arranged in at least one cross-sectional plane (Q2, Q3) of the cylinder (2) in the cylinder inner circumferential wall (14) along the circumference, which fluid outlet nozzles (32', 34') open into the bearing gap (19) and are connected to a supply line for a pressure fluid, and wherein a plurality of fluid outlet nozzles (130') which open into the bearing gap (19) are arranged in at least one cross-sectional plane (Q1) of the piston (103), adjacent to the piston end wall (116), in the piston outer circumferential wall (136) along the circumference, is characterized in that the fluid outlet nozzles (130') in the piston outer circumferential wall (136) are also connected to the supply line for the pressure fluid.
    • 活塞 - 缸单元具有汽缸(2)的流体压力安装可线性移动的活塞(103),所述(2),活塞(103)和一个缸端壁(12)的压缩空间的端壁(116)(18)所环绕气缸 在上止点的活塞的(TDC)(103)的区域是最小的,其中所述压缩室(18)与汽缸内周壁(14)和形成在流体连通的活塞的外周壁的轴承间隙(136)(19)之间的连通,其中,在至少 气缸(2)的多个流体排出喷嘴(32”,34' )的一个横截面平面(Q2,Q3)被布置在沿其打开到轴承间隙(19)的周边和一个与供料线的气缸内周壁(14) 加压流体被连接,并且其中,在所述活塞(103),所述活塞端壁(116)邻接的多个沿顺序的活塞外周壁(136)的流体排出喷嘴(130“)中的至少一个横截面平面(Q1) 尖牙被布置,从而打开进入轴承间隙(19)的特征在于,在所述活塞的外周壁(136)中的流体出口喷嘴(130“)被连接到用于压力流体的供给线。
    • 5. 发明申请
    • ANTRIEBSEINHEIT FÜR EIN BEWEGBARES FUNKTIONSELEMENT
    • 驱动单元可移动的功能件
    • WO2006089742A2
    • 2006-08-31
    • PCT/EP2006/001628
    • 2006-02-22
    • AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER LASERTECHNIKMUTH, MichaelSLOTTA, GeorgBRAND, Jan
    • MUTH, MichaelSLOTTA, GeorgBRAND, Jan
    • H05K13/0408
    • Antriebseinheit für ein bewegbares Funktionselement . Eine Antriebseinheit zum Handhaben von elektrischen Bauelementen (1) weist ein Gehäuse (2) mit einer Bohrung (3) zum Führen eines drehbaren und entlang seiner Drehachse linear verschiebbaren Halters (4) für das Bauelement (1) auf, wobei die Antriebseinheit mit einem Drehantrieb (6) und einen Linearantrieb (5) für den Halter (4) versehen ist. Der Drehantrieb (6) und der Linearentrieb sind vom Halter (4) im Hinblick auf dessen Achslage mechanisch entkoppelt und lediglich in ihrer Antriebsrichtung kinematisch fest mit dem Halter (4) gekoppelt. Dadurch ist es möglich, den zylindrischen Halter (4) frei von Störkräften in der Bohrung (3) genau zu führen.
    • 用于可移动功能元件驱动单元。 用于处理的电气部件(1)的驱动单元包括具有壳体(2)的孔为(3)引导的可旋转和沿其对于组分(1)旋转而线性移动的保持器(4)的轴,其中,所述驱动单元与旋转驱动 (6)并且被设置用于保持器(4)的线性驱动器(5)。 旋转驱动器(6)和所述线性驱动是保持器(4)相对于只在(4)联接与保持器及其驱动方向脱开机械上和运动学上固定的轴向位置。 由此,能够引导筒状保持器(4)只无干扰力的在所述孔(3)。
    • 7. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KORREKTUR SYSTEMATISCHER SPURSIGNALFEHLER VON INKREMENTELLEN POSITIONS- ODER DREHWINKELGEBERN
    • 方法和装置一种修正增量位置或捐助者角度的系统性TRACK信号故障
    • WO2006018192A2
    • 2006-02-23
    • PCT/EP2005/008647
    • 2005-08-09
    • AEROLAS GMBH AEROSTATISCHE LAGER - LASERTECHNIKBRÜCKL, Stefan
    • BRÜCKL, Stefan
    • G01D5/2448G01D5/36
    • Ein Verfahren zur Korrektur systematischer Spursignalfehler von inkrementellen Positions- oder Drehwinkelgebern die zumindest zwei um einen Phasenwinkel verschobene, näherungsweise sinusförmige periodengleiche Spursignale erzeugen, mit den Schritten: a) Erfassung der Spursignalwerte (x k , y k ) im aktuellen Meßzyklus (k); b) Korrektur der erfaßten Spursignalwerte (x k , y k ) mit einem gespeicherten Fehlerkorrekturwert (GP P-1 ) zum Erhalten von korrigierten Spursignalwerten (x k ', Y k '); c) Transformation der korrigierten Spursignalwerte (x k ', y k ') in Polarkoordinatenwerte (r k ; φ k ); d) Bildung eines Fehlerradius' (r ek ); e) Gewichtung des Fehlerradius' (r ek ) mit einer Bewertungsgröße (w k ) zum Erhalten einer gewichteten Fehlergröße (u k ); f) Bildung einer Winkeldifferenz (Δφ k ) aus dem aus der Transformation erhaltenen Winkel (φ k ) und einem in einem vorhergehenden Meßzyklus (k-1) erhaltenen und gespeicherten Winkel (φ k-1 ); g) Multiplikation der gewichteten Fehlergröße (u k ) mit der Winkeldifferenz (Δφ k ) zum Erhalten eines Flächenwerts (F k ); h) Addition des ermittelten Flächenwerts (F k ) und eines in einem vorhergehenden Meßzyklus (k-1) gespeicherten Flächensummenwerts (F Sk-1 ) zur Bildung eines neuen Flächensummenwerts (F S k ); i) Speichern des neuen Flächensummenwerts (F S k ) und des Winkels (φ k ); k) Wiederholen der Schritte a) bis i) bis zum Ablauf eines Korrekturintervalls (P), das eine oder mehrere Perioden der Spursignale umfasst; 1) Speichern des Flächensummenwerts (F S k ) am Ende des Korrekturintervalls (P) als neuen Fehlerkorrekturwert (G p ).
    • 校正增量位置或旋转传感器的角度的系统跟踪信号误差的方法

      所述至少两个由相角偏移,N AUML; herungsweise正弦&OUML;产生形周期相同的轨道的信号,包括以下步骤:(a)检测所述轨道信号值x < 在当前周期(k)中;以及在当前周期(k)中的子周期(k> k,k)。 b)该ERFA ROAD个磁道的信号值的校正(X <子>ķ,Y <子>ķ)(与存储的误差修正值GP <子> P-1 )校正,以获得 跟踪信号值(x ,Y ); C)将所述校正的光道的信号值(x <子>ķ 'Y <子>ķ')(以极坐标值r <子>ķ;φ<子>ķ); d)形成缺陷半径(r ek); e)利用分数e(wk)对误差半径(rkk)进行加权以获得加权误差大小e(uk) ); F)形成的角度差(Δφ<子>ķ)(从变换角度所得到的φ<子>ķ),并在任何一个大街前述我;循环得到(K-1)和存储 角度(φ 1 ); g)将加权后的误差幅度e(ukk)乘以角度差(Δφkk)以获得映射值(Fkk ) >); h)在先前的测量周期(k-1)中存储的确定的表面值(Fkk)和表面的总值(Fkk-1) 形成一个新的文件总值(F S ); i)存储新的总和值(F Sk)和角度(φk); k)重复步骤a)到i),直到包括轨道信号的一个或多个周期的校正间隔(P)到期; 1)储存液体BEAR chensummenwerts(F <子>】S K )(在校正间隔P的端)(作为新的误差修正值G <子> P