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1. 发明申请

WO2010018029A3 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ELEKTRODEN IN ZWEI EBENEN UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2010018029A3
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/EP2009/058504
申请日：2009-07-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FINKBEINER, Stefan , PIRK, Tjalf , FRIESE, Christoph
发明人： FINKBEINER, Stefan , PIRK, Tjalf , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (100) mit den Schritten: Bilden einer ersten Ätzstoppschicht auf einem Grundsubstrat, wobei die erste Ätzstoppschicht so ausgebildet wird, dass sie ein erstes Muster von durchgehenden Aussparungen aufweist; Bilden einer ersten Elektroden-Material-Schicht auf der ersten Ätzstoppschicht; Bilden einer zweiten Ätzstoppschicht auf der ersten Elektroden-Material-Schicht, wobei die zweite Ätzstoppschicht so ausgebildet wird, dass sie ein von dem ersten Muster verschiedenes zweites Muster von durchgehenden Aussparungen aufweist; Bilden einer zweiten Elektroden-Material-Schicht auf der zweiten Ätzstoppschicht; Bilden einer strukturierten Maske auf der zweiten Elektroden-Material-Schicht; und Ausführen eines ersten Ätzschritts in einer ersten Richtung und eines zweiten Ätzschritts in einer der ersten Richtung entgegen gerichteten zweiten Richtung zum Ätzen mindestens einer ersten Elektrodeneinheit aus der ersten Elektroden-Material-Schicht und zum Ätzen mindestens einer zweiten Elektrodeneinheit aus der zweiten Elektroden-Material-Schicht. Des Weiteren betrifft die Erfindung mikromechanische Bauteile (100).

2. 发明申请

WO2010057703A2 VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEBS UND ELEKTROSTATISCHE ANTRIEBE 审中-公开
标题翻译：一种用于操作静电驱动和静态DRIVES
公开(公告)号：WO2010057703A2
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/EP2009/062352
申请日：2009-09-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N2/14 , G02B6/3512 , G02B26/0841 , H02N1/006
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines elektrostatischen Antriebs mit einer Stator-Elektrode (50) und einer Aktor-Elektrode (52), welche als Mehrlagenelektroden ausgebildet sind, wobei die Aktor-Elektrode (52) in ihrer spannungslosen Ausgangsstellung ohne eine zwischen einer Stator-Elektrodenuntereinheit (50b, 50c) und einer Akior-Elektrodenuntereinheit (52b, 52c) angelegte Spannung so in Bezug auf die Stator-Elektrode (50) angeordnet ist, dass die erste Aktor-Elektrodenuntereinheit (52b) einen kleineren Absland zu der ersten Stator-Eiektrodenuntereinheit (50b) aufweist ais die zweite Aktor-Elektrodenuntereinheit (52c), mit dem Schritt; Vorauslenken der Aktor-Elektrode (52) in Bezug auf die Stator-Elektrode (50) aus ihrer spannursgsiosen Ausgangsstellung in eine erste End-Stellung durch Anlegen eines ersten Potentials ( π 1) an die erste Stator-Elektrodenuniereinheit (50b) und eines von dem ersten Potential ( π 1) abweichenden zweiten Potentials ( π 2) an die erste Aktor-Elektrodenuntereinheit (52b); und Anlegen eines dritten Potentials ( π 3) an die zweite Stator-Elektrodenuntereinheit (50c) und an die zweite Aktor-Elektrodenuntereinheit (52c), welches von dem ersten Potential ( π 1) und dem zweiten Potential ( π 2) abweicht.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于在其去激励的初始位置的定子电极（50）和形成为多层电极的致动器电极（52），其中，所述致动器电极（52）不具有一个定子之间操作的静电驱动 -Elektrodenuntereinheit（50B，50C）和一个Akior电极子单元（52B，52C）施加的电压被如此布置成相对于所述定子电极（50），该第一致动器电极子单元（52B）具有较小的Absland向第一定子 Eiektrodenuntereinheit（50B）AIS第二致动器电极子单元（52C），与所述步骤; 通过施加第一电势（P1）向第一定子Elektrodenuniereinheit前进相对于从在第一端部位置其spannursgsiosen初始位置定子电极（50）引导所述致动器电极（52）（50B）和第一的电位（P1）不同的第二电势（P2）到所述第一致动器电极子单元（52B）; 偏离并施加第三电位（P3）到第二定子电极子单元（50℃）和第二致动器电极子单元（52C），其从第一电位（P1）和所述第二电势（P2）。

3. 发明申请

WO2009124605A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHRÄGSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2009124605A3
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066388
申请日：2008-11-28
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit Schrägstruktur und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Das Bauelement umfasst ein Substrat (1) mit einer Oberfläche (O); einen ersten Anker (3e; 3e'), welcher auf der Oberfläche (O) des Substrats (1) vorgesehen ist und welcher sich vom Substrat (1) weg erstreckt; und mindestens einen an einer Seitenfläche (S1, S2; S1'; S1'') des Ankers (3e; 3e') vorgesehenen Ausleger (3c, 3d; 3c; 3c'), welcher schräg vom Anker (3e; 3e') weggerichtet ist.

4. 发明申请

WO2009095108A3 FESTKÖRPERGELENK UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009095108A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008/065532
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Das erfindungsgemäße Festkörpergelenk (16) zum Aufhängen einer mikromechanischen Einrichtung (2) beinhaltet einen tragenden Balken (17) und eine auf dem tragenden Balken (17) aufgebrachte dünne Schicht (22). Die dünne Schicht ragt seitlich über den tragenden Balken (17) hin. In der dünnen Schicht (22) sind ein oder mehrere Leiterbahnen (18) eingebettet.

5. 发明申请

WO2009074368A3 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2009074368A3
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：PCT/EP2008/063670
申请日：2008-10-10
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C3/00
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement (100) mit den Schritten: Bilden einer Isolierschicht (14) direkt auf einem ersten Halbleitersubstrat (10) und Ätzen mindestens eines Trenngrabens (26) durch das erste Halbleitersubstrat (10) zum Teilen des ersten Halbleitersubstrats (10) in mindestens ein elektrisch isoliertes Mittelteil (32 bis 38) und ein das Mittelteil (32 bis 38) umgebendes Rahmenteil (30). Des Weiteren betriff die Erfindung ein entsprechendes mikromechanisches Bauelement (100).

6. 发明申请

WO2009127274A3 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT DREHBAREM STELLELEMENT, VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES BAUTEILS UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR DAS BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2009127274A3
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066721
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Feder (20a, 20b), einem an einem ersten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Hebelelement (22a, 22b), einer Antriebeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, das Hebelelement (22a, 22b) um eine senkrecht zu einer Längsachse des Hebelelements (22a, 22b) ausgerichtete erste Drehachse zu drehen, und einem an einem zweiten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Stellelement (10), welches so mittels der Feder (20a, 20b) an das Hebelelement (22a, 22b) gekoppelt ist, dass bei einem Drehen des Hebelelements (22a, 22b) um die erste Drehachse mittels der Antriebeinrichtung das Stellelement (10) um eine zweite Drehachse (18) gedreht wird. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

7. 发明申请

WO2009124607A1 MIKROMECHANISCHE AKTUATORSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES BETÄTIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械致动器的结构和相应的控制方法
公开(公告)号：WO2009124607A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066536
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Aktuatorstruktur und ein entsprechendes Betätigungsverfahren. Die Aktuatorstruktur umfasst mindestens eine erste Biegefederemrichtung (BF1; BF1'), welche beidseitig an einer Halterung (10a, 10b) angebracht ist; ein zu bewegendes mikromechanisches Bauelement (6, 7a, 7b, S), welches an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; eine erste Elektrodenstruktur (R1'), welche an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; und eine zweite Elektrodenstruktur (F'), durch welche die erste Elektrodenstruktur (R1') auslenkbar ist.
摘要翻译：本发明提供一种微机械驱动器的结构和操作的相应方法。该致动器结构包括至少一个第一柔性弹簧;其上的保持器的两侧（10A，10B）被安装（BF1 BF1“）; 连接;一个被移动微机械部件（6，7A，7B，S）附着到所述第一柔性弹簧（BF1“BF1）; 附着，“附连到所述第一柔性弹簧（BF1 BF1）第一电极结构（R1）”; 和第二电极结构（F“），通过该第一电极结构（R1”）被偏转。

8. 发明申请

WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A2
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/065575
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

9. 发明申请

WO2005015021A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT 审中-公开
标题翻译： PROCESS FOR优选制造微机械结构，用于从多晶硅层流体应用和微型泵与泵膜
公开(公告)号：WO2005015021A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/DE2004/001447
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
发明人： FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
IPC分类号： F04B43/04
CPC分类号： F04B43/043
摘要： Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen mit Hohlräumen beschrieben. Das Bauteil ist aus zwei Funktionsschichten aufgebaut, wobei die zwei Funktionsschichten mit mikromechanischen Verfahren unterschiedlich strukturiert werden. Auf einer Grundplatte wird eine erste Stopschicht mit einer ersten Struktur aufgebracht. Auf die erste Stopschicht und auf erste Anlageflächen der Grundplatte wird eine erste Funktionsschicht aufgebracht. Auf die erste Funktionsschicht wird eine zweite Stopschicht mit einer zweiten Struktur aufgebracht. Auf die zweite Stopschicht und auf zweite Anlageflächen der ersten Funktionsschicht wird eine zweite Funktionsschicht aufgebracht. Auf die zweite Funktionsschicht wird eine Ätzmaske aufgebracht. Die zweite und die erste Funktionsschicht werden durch die Verwendung der ersten und der zweiten Stopschicht durch Ätzverfahren und/oder durch die Verwendung der ersten und zweiten Stopschicht als Opferschichten strukturiert. Durch ergänzendes Strukturieren der Grundplatte können mit dem Verfahren zusätzliche bewegliche Fluidikelemente realisiert werden. Das Verfahren wird vorzugsweise verwendet, um eine Mikropumpe mit einer epitaktischen Polysiliciumschicht als Pumpmembran herzustellen.
摘要翻译：一种优选制造微机械部件与所描述的空腔流体的应用方法。该组件是由两个功能层，其特征在于，所述两个功能层是由微机械方法不同地形成图案构成。在基板上，第一止动层被施加有第一结构。第一功能层施加到第一止动层和基板的第一接触表面。第二停止层被施加与第一功能层上的第二结构。第二功能层被施加到第二停止层和所述第一功能层的第二支撑区。蚀刻掩模被施加到所述第二功能层。第二和第一功能层是通过使用第一和通过蚀刻和/或通过使用所述第一和第二停止层作为牺牲层的第二阻挡层图案化。通过互补图案化的底板附加移动的流体元件可以与处理来实现。该方法优选用于产生微型泵具有外延多晶硅层作为泵送隔膜。

10. 发明申请

WO2009124608A1 MIKROMECHANISCHE ELEKTRODENSTRUKTUR, ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN UND MIKROAKTUATORVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：的微观力学电极的结构，相应的方法和MIKROAKTUATORVORRICHTUNG
公开(公告)号：WO2009124608A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066562
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Elektrodenstruktur, ein entsprechendes Herstellungsverfahren und eine Mikroaktuatorvorrichtung. Die Elektrodenstruktur umfasst eine feststehende Elektrodenanordnung (F) und eine auslenkbare Elektrodenanordnung (D); wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) eine erste Grundplatte (1a; 1b) und mindestens eine darauf vorgesehene erste Elektrodenrippe (2a-2f) aufweist; wobei die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) einen ersten Balken (5) aufweist, an dem eine erste Mehrzahl von Elektrodenfingern (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f') vorgesehen ist, welche durch einen zweiten Balken (15; 25) miteinander verbunden sind; wobei die Elektrodenfinger (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f'), der erste Balken (5) und der zweite Balken (15; 25) eine entsprechende erste Anzahl von Öffnungen (O1-O6) definieren; und wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) und die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) derart angeordnet sind, dass jede erste Elektrodenrippe (2a-2f) zu einer entsprechenden Öffnung (O1-O6) ausgerichtet ist und sich bei einer Auslenkung der auslenkbaren Elektrodenanordnung (D) die Ausrichtung ändert.
摘要翻译：本发明提供了一种微机械的电极结构，相应的制造方法和Mikroaktuatorvorrichtung。该电极结构包括：一固定电极装置（F）和一偏转电极组件（D）; 其中，所述固定电极装置（F）包括：第一基板（1A; 1b）和至少一个肋在其上的第一电极（图2A-2F）提供; 其中所述可偏转电极组件（D）的第一杆（5）中，向其中一个第一组多个电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，5F'）设置，其通过一个第二光束（15; 25）被连接到彼此; 其中，所述电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，图5f'），所述第一杆（5）和第二杆（15; 25）的孔口（O1-O6）限定的相应的第一数字; 和其中所述固定电极装置（F）和可偏转电极装置（D）被布置成使得每个第一电极肋（2A-2F）与相应的开口（O1-O6），并在偏转电极布置的偏转（D）对准取向的变化。

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