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1. 发明申请

WO2004028956A3 METHOD AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：方法和微机械部件
公开(公告)号：WO2004028956A3
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：PCT/DE0300630
申请日：2003-02-27
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LAMMEL GERHARD , SCHAEFER FRANK , WEBER HERIBERT , FINKBEINER STEFAN
发明人： LAMMEL GERHARD , SCHAEFER FRANK , WEBER HERIBERT , FINKBEINER STEFAN
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00476 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C2201/0109 , B81C2201/0115
摘要： Disclosed are a production method and a micromechanical component, in which porous silicon (106) is used as a sacrificial layer and a functional layer (130) is exposed by etching away the sacrificial layer.
摘要翻译：它提出了一种制造方法和微机械部件，在多孔硅（106）用作牺牲层和通过蚀刻掉牺牲层（130）暴露的功能层。

2. 发明申请

WO2010018029A2 METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT, AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构和微机械结构
公开(公告)号：WO2010018029A2
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/EP2009058504
申请日：2009-07-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , FINKBEINER STEFAN , PIRK TJALF , FRIESE CHRISTOPH
发明人： FINKBEINER STEFAN , PIRK TJALF , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00166 , B81B2201/033 , B81C2201/014
摘要： The invention relates to a method for producing a micromechanical component (100) comprising the following steps: forming a first etching stop layer on a base substrate, the first etching stop layer being embodied such that it has a first pattern of continuous cutouts; forming a first electrode material layer on the first etching stop layer; forming a second etching stop layer on the first electrode material layer, the second etching stop layer being embodied such that it has a second pattern of continuous cutouts, said second pattern being different from the first pattern; forming a second electrode material layer on the second etching stop layer; forming a patterned mask on the second electrode material layer; and performing a first etching step in a first direction and a second etching step in a second direction, directed opposite to the first direction, for etching at least one first electrode unit from the first electrode material layer and for etching at least one second electrode unit from the second electrode material layer. The invention furthermore relates to micromechanical components (100).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械构件（100）的制造方法，包括以下步骤：形成一基底基板，其特征在于，形成第一蚀刻停止层，使得它包括通孔的第一图案上的第一蚀刻停止层; 形成第一蚀刻停止层上的第一电极材料层; 形成第一电极材料层，其中所述第二蚀刻停止层被形成为使得它具有从贯通开口的第一图案的第二图案的不同的第二蚀刻停止层; 形成所述第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层; 形成第二电极材料层上形成图案化的掩模; 并执行在第一方向上的第一蚀刻工序和在第一方向上至少一个第一电极单元从第一电极材料层和蚀刻所述至少一个第二电极单元与第二电极材料的蚀刻的第二蚀刻工序相对的第二方向层。此外，本发明涉及微机械元件（100）。

3. 发明申请

WO2010018029A3 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT ELEKTRODEN IN ZWEI EBENEN UND MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2010018029A3
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/EP2009/058504
申请日：2009-07-06
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FINKBEINER, Stefan , PIRK, Tjalf , FRIESE, Christoph
发明人： FINKBEINER, Stefan , PIRK, Tjalf , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (100) mit den Schritten: Bilden einer ersten Ätzstoppschicht auf einem Grundsubstrat, wobei die erste Ätzstoppschicht so ausgebildet wird, dass sie ein erstes Muster von durchgehenden Aussparungen aufweist; Bilden einer ersten Elektroden-Material-Schicht auf der ersten Ätzstoppschicht; Bilden einer zweiten Ätzstoppschicht auf der ersten Elektroden-Material-Schicht, wobei die zweite Ätzstoppschicht so ausgebildet wird, dass sie ein von dem ersten Muster verschiedenes zweites Muster von durchgehenden Aussparungen aufweist; Bilden einer zweiten Elektroden-Material-Schicht auf der zweiten Ätzstoppschicht; Bilden einer strukturierten Maske auf der zweiten Elektroden-Material-Schicht; und Ausführen eines ersten Ätzschritts in einer ersten Richtung und eines zweiten Ätzschritts in einer der ersten Richtung entgegen gerichteten zweiten Richtung zum Ätzen mindestens einer ersten Elektrodeneinheit aus der ersten Elektroden-Material-Schicht und zum Ätzen mindestens einer zweiten Elektrodeneinheit aus der zweiten Elektroden-Material-Schicht. Des Weiteren betrifft die Erfindung mikromechanische Bauteile (100).

4. 发明申请

WO2006066997A1 MIKROMECHANISCHES KAPAZITIVES SENSORELEMENT 审中-公开
标题翻译： MICRO机械容性传感器元件
公开(公告)号：WO2006066997A1
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：PCT/EP2005/055755
申请日：2005-11-04
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , FISCHER, Frank , BAUMANN, Helmut , METZGER, Lars , SCHEUERER, Roland , BRAUCHLE, Peter , FEUSTEL, Andreas , NEUBAUER, Matthias
发明人： BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , FISCHER, Frank , BAUMANN, Helmut , METZGER, Lars , SCHEUERER, Roland , BRAUCHLE, Peter , FEUSTEL, Andreas , NEUBAUER, Matthias
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0073
摘要： Die Erfindung beschreibt ein Herstellungsverfahren zur Erzeugung eines mikromechanischen Sensorelements, welches in monolithisch integrierbarer Bauweise erzeugt werden kann und eine kapazitive Erfassung einer physikalischen Größe aufweist. Neben dem Herstellungsverfahren wird ebenfalls eine mikromechanische Vorrichtung beschrieben, die ein derartiges Sensorelement enthält, wie beispielsweise einen Drucksensor oder einen Beschleunigungssensor.
摘要翻译：本发明公开了一种用于制造微机械传感器元件，其可在单片集成的结构被生成并包括一个电容感测物理量的制造方法。除了制造方法中，一个微型机械装置也被描述，包括这样的传感器元件，如压力传感器或加速度传感器。

5. 发明申请

WO2005015021A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS VORZUGSWEISE FÜR FLUIDISCHE ANWENDUNGEN UND MIKROPUMPE MIT EINER PUMPMEMBRAN AUS EINER POLYSILICIUMSCHICHT 审中-公开
标题翻译： PROCESS FOR优选制造微机械结构，用于从多晶硅层流体应用和微型泵与泵膜
公开(公告)号：WO2005015021A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/DE2004/001447
申请日：2004-07-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
发明人： FUERTSCH, Matthias , BENZEL, Hubert , FINKBEINER, Stefan , PINTER, Stefan , FISCHER, Frank , STAHL, Heiko , PIRK, Tjalf
IPC分类号： F04B43/04
CPC分类号： F04B43/043
摘要： Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen mit Hohlräumen beschrieben. Das Bauteil ist aus zwei Funktionsschichten aufgebaut, wobei die zwei Funktionsschichten mit mikromechanischen Verfahren unterschiedlich strukturiert werden. Auf einer Grundplatte wird eine erste Stopschicht mit einer ersten Struktur aufgebracht. Auf die erste Stopschicht und auf erste Anlageflächen der Grundplatte wird eine erste Funktionsschicht aufgebracht. Auf die erste Funktionsschicht wird eine zweite Stopschicht mit einer zweiten Struktur aufgebracht. Auf die zweite Stopschicht und auf zweite Anlageflächen der ersten Funktionsschicht wird eine zweite Funktionsschicht aufgebracht. Auf die zweite Funktionsschicht wird eine Ätzmaske aufgebracht. Die zweite und die erste Funktionsschicht werden durch die Verwendung der ersten und der zweiten Stopschicht durch Ätzverfahren und/oder durch die Verwendung der ersten und zweiten Stopschicht als Opferschichten strukturiert. Durch ergänzendes Strukturieren der Grundplatte können mit dem Verfahren zusätzliche bewegliche Fluidikelemente realisiert werden. Das Verfahren wird vorzugsweise verwendet, um eine Mikropumpe mit einer epitaktischen Polysiliciumschicht als Pumpmembran herzustellen.
摘要翻译：一种优选制造微机械部件与所描述的空腔流体的应用方法。该组件是由两个功能层，其特征在于，所述两个功能层是由微机械方法不同地形成图案构成。在基板上，第一止动层被施加有第一结构。第一功能层施加到第一止动层和基板的第一接触表面。第二停止层被施加与第一功能层上的第二结构。第二功能层被施加到第二停止层和所述第一功能层的第二支撑区。蚀刻掩模被施加到所述第二功能层。第二和第一功能层是通过使用第一和通过蚀刻和/或通过使用所述第一和第二停止层作为牺牲层的第二阻挡层图案化。通过互补图案化的底板附加移动的流体元件可以与处理来实现。该方法优选用于产生微型泵具有外延多晶硅层作为泵送隔膜。

6. 发明申请

WO2004028956A2 VERFAHREN UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：方法和微机械组分
公开(公告)号：WO2004028956A2
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/DE2003/000630
申请日：2003-02-27
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , LAMMEL, Gerhard , SCHAEFER, Frank , WEBER, Heribert , FINKBEINER, Stefan
发明人： LAMMEL, Gerhard , SCHAEFER, Frank , WEBER, Heribert , FINKBEINER, Stefan
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00476 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C2201/0109 , B81C2201/0115
摘要： Es wird ein Herstellungsverfahren und ein mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, bei dein poröses Silizium (106) als Opferschicht dient und durch Wegätzen der Opferschicht eine Funktionsschicht (130) freigelegt wird.
摘要翻译：提出了一种制造方法和微机械部件，其中多孔硅（106）用作牺牲层并且通过去除牺牲层来暴露功能层（130）。

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