发明申请
WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG
- 专利标题（英）：Production method for a micromechanical electrostatic adjuster device and micromechanical electrostatic adjuster device
- 专利标题（中）：PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
- 申请号：PCT/EP2008/065575 申请日：2008-11-14
- 公开(公告)号：WO2009086978A2 公开(公告)日：2009-07-16
- 发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH,PIRK, Tjalf,PINTER, Stefan,BENZEL, Hubert,WEBER, Heribert,KRUEGER, Michael,SATTLER, Robert,MUCHOW, Joerg,FRITZ, Joachim,SCHELLING, Christoph,FRIESE, Christoph
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH,PIRK, Tjalf,PINTER, Stefan,BENZEL, Hubert,WEBER, Heribert,KRUEGER, Michael,SATTLER, Robert,MUCHOW, Joerg,FRITZ, Joachim,SCHELLING, Christoph,FRIESE, Christoph
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 代理机构： ROBERT BOSCH GMBH
- 优先权： DE10 20080110
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个 从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22） 施加机械压应力。 本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |