专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2010060664A1 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：微机械器件及其操作方法微机械结构
公开(公告)号：WO2010060664A1
公开(公告)日：2010-06-03
申请号：PCT/EP2009/062017
申请日：2009-09-16
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B27/01 , Y10S359/90
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem Lichtfenster (12); einem Spiegelelement (10), welches gegenüber dem Lichtfenster (12) aus einer ersten Stellung um mindestens eine Drehachse (14,16) in mindestens eine zweite Stellung verstellbar ist; einem optischen Sensor (34a, 34b) mit einer Detektionsfläche, welcher dazu ausgelegt ist, eine Lichtintensität auf der Detektionsfläche zu ermitteln und ein entsprechendes Sensorsignal (A,B) bereitzustellen, wobei das Lichtfenster (12), das Spiegelelement (10) in der ersten Stellung und die Detektionsfläche so zueinander angeordnet sind, dass ein an dem Lichtfenster (12) reflektierter Anteil (32) eines mittels des Spiegelelements (10) auf das Lichtfenster (12) abgelenkten Lichtstrahls (30) zumindest teilweise auf die Detektionsfläche trifft; und einer Auswerteeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, anhand des Sensorsignals (A,B) eine Information bezüglich einer aktuellen Stellung des Spiegelelements (10) gegenüber dem Lichtfenster (12) und/oder bezüglich einer aktuellen Intensität des abgelenkten Lichtstrahls (30) festzulegen. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械部件具有光窗（12）; 反射镜元件（10），其是相对从第一位置向旋转中的至少一个轴（14,16）的光窗（12）是可调的，至少第二位置; 光学传感器（34A，34B），其具有其适合于确定所述检测区域的光强度，并提供相应的传感器信号的检测表面（A，B），其中，所述光窗（12），所述反射镜元件（10）首先在位置和检测表面被布置成彼此，使得在光窗（12）反射的光窗口上的反射镜元件（10）的装置的部分（32）（12）偏转的光束（30）至少部分地射到检测表面; 并且其适于在传感器信号的基础上的评估装置（A，B），以确定与所述光窗（12）和/或相对于所述偏转光束（30）的电流强度相对的反射镜元件（10）的当前位置的信息。此外，本发明涉及一种用于操作的微机械部件的方法。

2. 发明申请

WO2009127273A3 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING ELECTRODE UNITS ON TWO PLANES, AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：用于微机械结构与电极单元两个级别和微机械结构
公开(公告)号：WO2009127273A3
公开(公告)日：2010-05-06
申请号：PCT/EP2008066715
申请日：2008-12-03
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , G02B26/08
CPC分类号： B81C1/00007 , B81B2201/032 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/019 , B81C1/00142 , B81C2201/017
摘要： The invention relates to a method for producing a micromechanical component (10), encompassing the following steps: a first electrode unit (14) is formed in a first position relative to a bottom substrate (16); a supporting element (22) is formed which comprises a first subunit (23, 28, 30) having a first internal stress and a second subunit (23, 28, 30) having a second internal stress that differs from the first internal stress, said supporting element (22) being fastened to the first electrode unit (14) at a first end while being fastened to the bottom substrate (16) at a second end; and the supporting element (22) is bent as a result of the difference between the first internal stress and the second internal stress, the bending action causing the first electrode unit (14) to be moved from the first position relative to the bottom substrate (16) into a second position relative to the bottom substrate (16). The invention further relates to a micromechanical component (10).
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械部件（10）的制造方法，包括以下步骤：在一个第一位置到一个基底（16）形成第一电极单元（14）; 形成具有具有与方向上从所述第一内部应力第二残余应力偏离，第一本征电压和第二子单元（23,28,30）的第一子单元（23,28,30）的支撑部件（22），其中在所述支撑构件（22）第一端连接到所述第一电极部（14）和在第二端处与基底基板（16）被安装; 和支撑部件（22）弯曲，由于第一内部应力和第二特征电压之间的差，由于从所述第一位置到所述基底（16），所述支撑构件（22），所述第一电极单元（14）的相对于所述的第二位置的弯曲基底基板（16）被调整。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）涉及。

3. 发明申请

WO2009127274A3 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT DREHBAREM STELLELEMENT, VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES BAUTEILS UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR DAS BAUTEIL 审中-公开
公开(公告)号：WO2009127274A3
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008/066721
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Feder (20a, 20b), einem an einem ersten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Hebelelement (22a, 22b), einer Antriebeinrichtung, welche dazu ausgelegt ist, das Hebelelement (22a, 22b) um eine senkrecht zu einer Längsachse des Hebelelements (22a, 22b) ausgerichtete erste Drehachse zu drehen, und einem an einem zweiten Ende der Feder (20a, 20b) befestigten Stellelement (10), welches so mittels der Feder (20a, 20b) an das Hebelelement (22a, 22b) gekoppelt ist, dass bei einem Drehen des Hebelelements (22a, 22b) um die erste Drehachse mittels der Antriebeinrichtung das Stellelement (10) um eine zweite Drehachse (18) gedreht wird. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.

4. 发明申请

WO2009124607A1 MIKROMECHANISCHE AKTUATORSTRUKTUR UND ENTSPRECHENDES BETÄTIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：微机械致动器的结构和相应的控制方法
公开(公告)号：WO2009124607A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066536
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Aktuatorstruktur und ein entsprechendes Betätigungsverfahren. Die Aktuatorstruktur umfasst mindestens eine erste Biegefederemrichtung (BF1; BF1'), welche beidseitig an einer Halterung (10a, 10b) angebracht ist; ein zu bewegendes mikromechanisches Bauelement (6, 7a, 7b, S), welches an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; eine erste Elektrodenstruktur (R1'), welche an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; und eine zweite Elektrodenstruktur (F'), durch welche die erste Elektrodenstruktur (R1') auslenkbar ist.
摘要翻译：本发明提供一种微机械驱动器的结构和操作的相应方法。该致动器结构包括至少一个第一柔性弹簧;其上的保持器的两侧（10A，10B）被安装（BF1 BF1“）; 连接;一个被移动微机械部件（6，7A，7B，S）附着到所述第一柔性弹簧（BF1“BF1）; 附着，“附连到所述第一柔性弹簧（BF1 BF1）第一电极结构（R1）”; 和第二电极结构（F“），通过该第一电极结构（R1”）被偏转。

5. 发明申请

WO2009095108A2 FIXED BODY JOINT AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译： SOLID STATE关节和微机械部件
公开(公告)号：WO2009095108A2
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008065532
申请日：2008-11-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B7/0006 , B81B2201/042 , B81B2203/058
摘要： The invention relates to a fixed body joint (16) for suspending a micromechanical device (2), comprising a support beam (17) and a thin layer (22) applied to the support beam (17). The thin layer extends laterally beyond the support beam (17). One or more conductor tracks (18) are embedded in said thin layer (22).
摘要翻译：根据本发明（16），用于悬挂的微机械装置（2）包括在所述轴承的光束（17）的支撑梁（17）和一个所述的固体关节淀积的薄层（22）。薄层横向延伸出经轴承梁（17）。在薄层（22）的一个或多个导体轨迹（18）嵌入。

6. 发明申请

WO2009086978A2 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG UND MIKROMECHANISCHE ELEKTROSTATISCHE VERSTELLVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A2
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：PCT/EP2008/065575
申请日：2008-11-14
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung (10) mit den Schritten: Aufbringen einer ersten leitfähigen Schicht (12) auf eine Unterlage (28,30), Ätzen der ersten leitfähigen Schicht (12) zum Bilden von mindestens einer ersten Elektrode (16) aus dem Material der ersten leitfähigen Schicht (12), Aufbringen einer Trennschicht (32a) auf die erste leitfähige Schicht (12), Aufbringen einer zweiten leitfähigen Schicht auf die Trennschicht (32a), Ätzen der zweiten leitfähigen Schicht zum Bilden von mindestens einer zweiten Elektrode (22) aus dem Material der zweiten leitfähigen Schicht, und Aufbringen einer Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) und Biegen der zweiten Elektrode (22) mittels einer von der Abdeckschicht (40) auf die zweite Elektrode (22) ausgeübten mechanischen Druckspannung. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine entsprechende mikromechanische elektrostatische Verstellvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

7. 发明申请

WO2009033555A1 VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER WIDERSTANDSSCHWEISSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：一种用于操作电阻焊接装置
公开(公告)号：WO2009033555A1
公开(公告)日：2009-03-19
申请号：PCT/EP2008/006903
申请日：2008-08-22
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , SCHUMANN, Fritz-Joachim , SCHOLZ, Reinhard , KLINGER, Thomas
发明人： SCHUMANN, Fritz-Joachim , SCHOLZ, Reinhard , KLINGER, Thomas
IPC分类号： B23K11/24
CPC分类号： B23K11/241
摘要： Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Betrieb einer Widerstandsschweißvorrichtung und eine entsprechende Vorrichtung anzugeben, so dass Wirkungsgrad und Arbeitsfrequenz gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten Lösungen merklich verbessert wird. Die Aufgabe wird gelöst mittels einer Widerstandsschweißvorrichtung mit einem Schweißtransformator mit erster und mit zweiter miteinander gekoppelter Sekundärwicklung (4b, c) und mit Primärwicklung (4a), welche einen Synchrongleichrichter umfasst, welcher einen ersten und einen zweiten Gleichrichterzweig umfasst, welcher jeweils mittels der ersten und der zweiten Sekundärwicklung (4b, c) angesteuert ist und welcher eine erste und zweite Schweißelektrode (5a, b) mit Schweißstrom versorgt, wobei die Ansteuerung des Synchrongleichrichters mittels einer Ansteuervorrichtung (31a, b, 32a, b, 34, 35) derart erfolgt, dass der unter Berücksichtigung des Wickelsinns der miteinander korrespondierenden Wicklungen des Primärkreises und des Sekundärkreises angesteuerte Gleichrichterzweig mit der der aktuellen Ansteuerung entgegen gesetzter Schweißelektrodenpolarität immer nur dann gesperrt wird, wenn die Primärwicklung angesteuert wird. Die Vorteile der Erfindung resultieren in einer Widerstandsschweißvorrichtung mit verbessertem Wirkungsgrad sowie den Vorteilen einer erhöhten Arbeitsfrequenz.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于操作电阻焊接装置和相应的装置提供一种方法，从而使效率和工作频率相对于已知的现有技术解决方案的显着改善。该目的是通过用具有第一和第二耦合到一个焊接变压器焊接装置中的电阻的装置的另一个次级绕组（4B，c）和与初级绕组（4A），其包括同步整流器包括第一和第二整流器支路，实现由第一分别和第二次级绕组（4B，C）被触发，并且其具有第一和第二焊接电极（5a，5b中）与焊接电流，其中所述同步整流器的由一个驱动装置的装置（31A，b，32A，b，34，35）的控制发生等供给受控制的考虑的初级电路和与所述电流控制次级电路整流器支路的相互对应的绕组的缠绕方向是焊接电极的极性相反的极性被驱动的初级线圈时仅禁用。本发明导致具有改进的效率的阻抗焊接装置中的优点，以及增加的操作频率的好处。

8. 发明申请

WO2009132719A3 PIEZORESISTIVE ELEMENT FOR USE IN A MICROMECHANICAL COMPONENT, METHOD FOR OPERATING THE MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING THE MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：压阻元件IN A微机械器件，方法用于操作COMPONENT AND METHOD FOR THE COMPONENT
公开(公告)号：WO2009132719A3
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/EP2008066535
申请日：2008-12-01
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM
发明人： MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/042 , G02B26/0833
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising an adjusting element (10) which can be adjusted in relation to a fixture and which is connected to said fixture by at least one spring element (16), a first end of said spring element (16) being fastened to a first anchoring section which is a subsection of the fixture, and a second end of the spring element (16) being fastened to a second anchoring section (20) which is a subsection of the adjusting element (10). The micromechanical component further comprises at least one piezoresistive element (22) which is arranged on a surface and/or inside a volume of the first anchoring section and/or the second anchoring section (20) in such a manner that a deformation of the spring element (16) causes a change in the resistance of the piezoresistive element (22). The invention additionally relates to a method for operating a micromechanical component. The invention further relates to a method for producing a micromechanical component.
摘要翻译：本发明提供了一种具有相对于该由至少一个弹簧元件（16）的装置被连接到所述托架的支撑可调节设定构件（10），微机械部件，其中在一个第一锚定区域内的弹簧元件（16）的第一端部，所述支架的其中一个部分连接，并且在第二固定部的弹簧元件（16）的第二端（20），其是所述致动元件的一部分（10）安装; 和所述至少一个压阻元件，它被布置在一个表面和/或所述第一锚定部和/或第二锚定区域（20），一个体积内，用于弹簧元件（16）的变形（22）（一个压阻元件的电阻 22）是可变的。另外，本发明涉及一种用于操作的微机械部件的方法。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

9. 发明申请

WO2009124611A1 ELEKTRODENKAMM, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTRODENKAMM ODER EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：电极的梳，微机械结构和方法的电极的梳和微机械结构
公开(公告)号：WO2009124611A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066811
申请日：2008-12-04
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： Die Erfindung betrifft einen Elektrodenkamm (82) für ein mikromechanisches Bauteil mit mindestens einem Elektrodenfinger, für welchen eine erste Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer ersten Mittellängsachse (88a,90a) und eine zweite Elektrodenfinger-Untereinheit (88,90) mit einer zweiten Mittellängsachse (88a,90a) definierbar sind, wobei die zweite Mittellängsachse (88a,90a) gegenüber der ersten Mittellängsachse (88a,90a) um einen Knickwinkel (δ) ungleich 0° und ungleich 180° geneigt ist, und ein mikromechanisches Bauteil mit einem solchen Elektrodenkamm (82). Ebenso betrifft die Erfindung mikromechanische Bauteile. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen Elektrodenkamm (82) und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明涉及一种电极的梳（82），用于具有至少一个电极指中，微机械部件，用于使具有第一中心纵向轴线（88A，90A）和第二电极指子单元（88,90）与第一指状电极子单元（88,90）（88A，90A）被定义的第二中心纵向轴线，所述第二中心纵向轴线（88A，90A）通过铰接角（D）等于0，而不是°等于180°相反侧的第一中心纵向轴线（88A，90A）是倾斜的，并具有一微机械部件这样的电极的梳（82）。同样，本发明涉及微型机械部件。此外，本发明涉及一种用于电极的梳（82）及其制造方法的微机械部件的制造方法。

10. 发明申请

WO2009124608A1 MIKROMECHANISCHE ELEKTRODENSTRUKTUR, ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN UND MIKROAKTUATORVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：的微观力学电极的结构，相应的方法和MIKROAKTUATORVORRICHTUNG
公开(公告)号：WO2009124608A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066562
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/008
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Elektrodenstruktur, ein entsprechendes Herstellungsverfahren und eine Mikroaktuatorvorrichtung. Die Elektrodenstruktur umfasst eine feststehende Elektrodenanordnung (F) und eine auslenkbare Elektrodenanordnung (D); wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) eine erste Grundplatte (1a; 1b) und mindestens eine darauf vorgesehene erste Elektrodenrippe (2a-2f) aufweist; wobei die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) einen ersten Balken (5) aufweist, an dem eine erste Mehrzahl von Elektrodenfingern (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f') vorgesehen ist, welche durch einen zweiten Balken (15; 25) miteinander verbunden sind; wobei die Elektrodenfinger (5a-5h; 5a', 5b-5f, 5f'), der erste Balken (5) und der zweite Balken (15; 25) eine entsprechende erste Anzahl von Öffnungen (O1-O6) definieren; und wobei die feststehende Elektrodenanordnung (F) und die auslenkbare Elektrodenanordnung (D) derart angeordnet sind, dass jede erste Elektrodenrippe (2a-2f) zu einer entsprechenden Öffnung (O1-O6) ausgerichtet ist und sich bei einer Auslenkung der auslenkbaren Elektrodenanordnung (D) die Ausrichtung ändert.
摘要翻译：本发明提供了一种微机械的电极结构，相应的制造方法和Mikroaktuatorvorrichtung。该电极结构包括：一固定电极装置（F）和一偏转电极组件（D）; 其中，所述固定电极装置（F）包括：第一基板（1A; 1b）和至少一个肋在其上的第一电极（图2A-2F）提供; 其中所述可偏转电极组件（D）的第一杆（5）中，向其中一个第一组多个电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，5F'）设置，其通过一个第二光束（15; 25）被连接到彼此; 其中，所述电极指（5A-5H;图5a '5B-5F，图5f'），所述第一杆（5）和第二杆（15; 25）的孔口（O1-O6）限定的相应的第一数字; 和其中所述固定电极装置（F）和可偏转电极装置（D）被布置成使得每个第一电极肋（2A-2F）与相应的开口（O1-O6），并在偏转电极布置的偏转（D）对准取向的变化。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式