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    • 4. 发明申请
    • MIKROSTRUKTUR, VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG, VORRICHTUNG ZUM BONDEN EINER MIKROSTRUKTUR UND MIKROSYSTEM
    • 微结构,其制造方法,装置来粘合一个微结构和微
    • WO2010085942A2
    • 2010-08-05
    • PCT/DE2010/000085
    • 2010-01-26
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZBRÄUER, JörgGESSNER, ThomasHOFMANN, LutzFRÖMEL, JörgWIEMER, MaikLETSCH, HolgerBAUM, Mario
    • BRÄUER, JörgGESSNER, ThomasHOFMANN, LutzFRÖMEL, JörgWIEMER, MaikLETSCH, HolgerBAUM, Mario
    • B81C3/00
    • B81C3/001B81C2203/019B81C2203/032
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei das reaktive Mehrschichtsystem wenigstens eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen befindliche, mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllte Bereiche aufweist. Die Erfindung beinhaltet ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei für ein Ausbilden des reaktiven Mehrschichtsystems eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates unter Ausbildung vertikal ausgerichteter, voneinander beabstandeter Nanostrukturen strukturiert wird oder strukturiert abgeschieden wird und Bereiche zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllt werden. Zudem enthält die Erfindung eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur, wobei die Vorrichtung eine öffen- und/oder schließbare, evakuierbare Bondkammer, in welcher die Mikrostruktur und die weitere Struktur einbringbar und zueinander justierbar sind, sowie einen mit der Bondkammer gekoppelten Aktivierungsmechanismus aufweist, mit welchem das aus reaktiven Nanostrukturen mit einem dazwischen befindlichen einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material ausgebildete reaktive Mehrschichtsystem der Mikrostruktur derart mechanisch, elektrisch, elektromagnetisch, optisch und/oder thermisch aktivierbar ist, dass zwischen den Nanoschichten eine selbstausbreitende, exotherme Reaktion stattfindet. Außerdem betrifft die Erfindung ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist, wobei das reagierte, reaktive Schichtsystem eine reagierte Strukturabfolge aus wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Oberflächenschicht mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllten Bereichen ist, wobei das Mikrosystem ein mit Biomaterial beschichteter Sensor ist und/oder Elemente aus polymerem Material und/oder wenigstens eine magnetische und/oder piezoelektrische und/oder piezoresistive Komponente aufweist.
    • 本发明涉及具有至少一个键合衬底的微结构和反应性多层系统,其中,所述反应性多层系统位于至少与垂直定向的,间隔开的纳米结构和纳米结构之间的键合衬底的表面层,具有至少一个反应物表示对所述纳米结构材料的材料填充 有区域。 本发明还包括一种制造微结构与至少一个键合衬底和反应性多层系统,其中,垂直取向的用于形成所述反应性多层系统中形成的,间隔的纳米结构被图案化或结构化的接合基板的一个表面层的纳米结构之间沉积的和区域的方法 表示对所述纳米结构材料的材料的反应物中的至少一个被填充。 此外,本发明包括联接到所述接合室激活机构用于结合微结构,其中该装置具有其中所述微结构和进一步的结构可以被插入,并调整为彼此可打开和/或关闭的,抽空的接合室的装置,和输出通过该 它由与居间表示对微结构的纳米结构材料的反应性多层系统的材料的反应物形成的反应性纳米结构是这样的机械,电,电磁,光学和/或热活化来进行,所述纳米层之间的自传播的放热反应。 此外,本发明涉及一种微系统,该系统由两个粘合基底的形成,并且位于键合衬底结构之间,其包括反应的反应层系统,其中所述反应的反应层系统的至少一个设置有垂直对齐的接合基板表面层上的反应结构序列, 隔开的纳米结构和填充在纳米结构之间具有至少一个表示对所述纳米结构材料的区域的材料的反应物,所述微系统是一个用生物材料传感器和/或聚合材料和/或至少一个磁和/或压电和元素 具有/或压阻元件。
    • 7. 发明申请
    • SCHICHTSYSTEM MIT EINER SCHICHT AUS PARALLEL ZUEINANDER ANGEORDNETEN KOHLENSTOFFNANORÖHREN UND EINER ELEKTRISCH LEITENDEN DECKSCHICHT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND DESSEN VERWENDUNG IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK
    • WITH相互平行的碳纳米管和导电表面上,制造方法的层系统的结构和用法MICROSYSTEMS一层技术层体系
    • WO2013007645A2
    • 2013-01-17
    • PCT/EP2012/063280
    • 2012-07-06
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.HERMANN, SaschaGESSNER, ThomasSCHULZ, Stefan, E.
    • HERMANN, SaschaGESSNER, ThomasSCHULZ, Stefan, E.
    • C01B31/02
    • C01B31/0233B82Y30/00B82Y40/00C01B32/16C01B32/162C01B2202/08H01G2/08H01G11/36Y10T428/25
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtsystem, umfassend eine Schicht aus parallel zueinander ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren und eine unmittelbar damit verbundene Deckschicht mit metallischen Eigenschaften, aus der die Kohlenstoffnanoröhren im "tip"- Wachstum gewachsen sind. Das Schichtsystem kann weiterhin eine Basisschicht und/oder ein Substrat aufweisen. Es ist erhältlich durch das Erzeugen einer strukturierten Schicht aus einer ersten Phase, die aus einem Metall besteht, das keine eigenständige katalytische Aktivität hinsichtlich des Entstehens von CNTs aus der Gasphase aufweist, sowie einer zweiten Phase aus einem Metall, das die Entstehung von CNTs aus der Gasphase katalysiert, auf einem Substrat oder einer Basisschicht, wobei die erste Phase eine ungleichmäßig dicke und/oder gefaltete, gegebenenfalls mit Poren durchsetzte Struktur besitzt und die zweite Phase sich in Vertiefungen und/oder Poren der ersten Phase befindet derart, dass beide Materialphasen in der lateralen Ebene zumindest teilweise nebeneinander vorliegen, auf dem Substrat bzw. der darauf befindlichen Basisschicht. Auf dieser strukturierten Schicht wird Kohlenstoff aus einer kohlenwasserstoffhaltigen Gasatmosphäre abgeschieden, wobei sich Kohlenstoffnanoröhren bilden, die zumindest Teile der strukturierten Schicht in geschlossener Form anheben. Das Substrat oder die Basisschicht kann anschließend entfernt werden. Das Schichtsystem der Erfindung eignet sich zur Anwendung in einer Vielzahl von Bauelementen und elektronischen Mikro- und Nanosystemen, Flip-Chip-Verbindungen, Sensoren oder Aktoren, insbesondere von Drucksensoren, Berührungssensoren, optischen Sensoren, Spiegeln, Projektoren, optischen Filtern, Nanopositioniersystemen oder Interferometern, in einer spezifischen Form auch in einer Superkapazität.
    • 本发明涉及包含对准Kohlenstoffnanor&OUML平行的层的层系统;铅和具有金属特性的直接相关联的覆盖层,从该Kohlenstoffnanor&OUML梢QUOT;在&铅QUOT - 生长生长 , 层系统可以进一步包括基底层和/或基底。 通过产生由不独立位置BEAR Quantcast催化活性AUML的金属的第一相的图案化层ltlich;它在CNT的从气相和一个金属的第二阶段的出现而言获得具有吨GIRL CNT的从气相形成催化,一个基板或基极层上,其中所述第一相AUML一个ungleichm&;道路IG厚和/或折叠,任选具有孔设施和的在凹部和/或孔中的第二相穿插 第一阶段是这样的:在基板或其上的基层上,侧面中的两个材料相彼此至少部分地相邻。 在该图案化的层上,碳从含烃气体气氛沉积以形成碳纳米管,该碳纳米管以闭合形式提升结构化层的至少一部分。 随后可以去除衬底或基层。 本发明的层系统适用于在各种设备和电子微米和纳米系统的使用中,倒装芯片连接,传感器或致动器,特别是压力传感器,小檗碱导航用途货币传感器,光学传感器,反射镜,投影仪,光学过滤器,纳米定位或 干涉仪也是一种超级电容的特定形式。

    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON PHTHALOCYANINEN
    • 用于生产酞菁
    • WO2005066179A1
    • 2005-07-21
    • PCT/EP2004/014825
    • 2004-12-30
    • BASF AktiengesellschaftGESSNER, ThomasEBERT, Sophia
    • GESSNER, ThomasEBERT, Sophia
    • C07D487/22
    • C07D487/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallfreien Phthalocyaninen der Formel (I) durch Umsetzung eines ortho-Phthalodinitrils der Formel Ia in einem inerten Lösungsmittel mit einer Siedetemperatur von wenigstens 120°C (unter Normaldruck) in Gegenwart von Ammoniak, wobei in Formel (I) bzw. Ia die Variable n Werte von 1, 2, 3 oder 4 annehmen kann und die Reste R einen gegebenenfalls mit ein oder zwei C 1 -C 8 -Alkylgruppen substituierten fünf- oder sechsgliedrigen gesättigten stickstoffhaltigen heterocyclischen Ring bezeichnen, der über ein Ringstickstoffatom an den Benzolring gebunden ist und der noch ein oder zwei weitere Stickstoffatome oder ein weiteres Sauerstoff- oder Schwefelatom enthalten kann, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass die Umsetzung in Gegenwart eines Alkalimetallhydroxids oder Alkalimetallcarbonats durchgeführt wird.
    • 本发明涉及一种通过式Ia的邻 - 苯二甲腈反应在惰性溶剂中制备式(I)的无金属酞菁与至少120℃的沸点的处理(在常压下)在氨的存在下,其中(在式 I)或Ia,变量n可以采用的1,2,3或4个值,并且基团R表示任选被一个或两个C 1 -C 8烷基基团的五元或六元饱和含氮杂环环附连到环氮原子取代的 苯环连接和一个或两个另外的氮原子或另外的氧或硫原子,其特征在于该反应是在碱金属氢氧化物或碱金属碳酸盐的存在下进行。