专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2005076470A1 ELEKTRISCHES BAUELEMENT UND HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：电子器材和方法
公开(公告)号：WO2005076470A1
公开(公告)日：2005-08-18
申请号：PCT/EP2005/000178
申请日：2005-01-11
申请人： EPCOS AG , METZGER, Thomas
发明人： METZGER, Thomas
IPC分类号： H03H3/00
CPC分类号： H03H9/059 , B81B7/007 , B81B2207/092 , B81B2207/093 , B81B2207/096 , B81C1/0023 , H01L2224/05001 , H01L2224/05023 , H01L2224/05556 , H01L2224/05568 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/15174 , H03H9/0523 , H03H9/1092 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099
摘要： Die Erfindung befrifft ein modular aufgebautes elektrisches Bauelement mit einem Modulsubstrat vorzugsweise aus Si und mit einem oder mehreren auf diesem Modulsubstrat angeordneten und elektrisch mit ihm verbundenen, vorzugsweise ungehäusten Chips, die jeweils mit dem Modulsubstrat z. B. mittels Direct Wafer Bonding verbunden sind. Im Modulsubstrat ist eine Vertiefung vorgesehen, so dass bei Verbindung des Chips mit dem Modulsubstrat ein geschlossener Hohlraum gebildet wird. Der Hohlraum entsteht dabei nicht durch eine Schutzkappe, die den Chip umschließt und allseitig mit dem Modulsubstrat abschließt, sondern durch die Verbindung der einander gegenüber stehenden Kontaktbereiche der Chipunterseite und der Oberseite des Modulsubstrats. Da im erfindungsgemäßen Bauelement keine Schutzkappe zur Beschaffung des Hohlraums erforderlich ist, kann es kostengünstig hergestellt werden. Die Erfindung hat außerdem den Vorteil gegenüber einer monolithischen Integration der Funktionseinheiten im Hinblick auf die höhere Ausbeute.
摘要翻译：本发明befrifft与优选由Si制成的模块用基板的模块化电气部件，以及具有一个或多个布置在该模块衬底上并电连接到它，优选未封装芯片，分别连接到模块基板Z。通过直接晶片接合的装置实施例相连。在模块基板上，设置凹部，从而在所述模块基板上的芯片的连接形成一个封闭的腔。空腔不被保护罩包围芯片和所有侧面与所述模块基板齐平，但通过芯片底部的相对的接触区域的连接和模块基板的顶部出现在这里。正如在新颖的器件需要采购腔的无帽，它可以廉价地制造。本发明还具有以下优点：在所述功能单元中的较高的产率而言一个单片集成。

2. 发明申请

WO2015018571A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROELEKTROMECHANISCHEN WANDLERS 审中-公开
标题翻译：用于生产微机电转换器
公开(公告)号：WO2015018571A1
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：PCT/EP2014/064099
申请日：2014-07-02
申请人： EPCOS AG
发明人： GIESEN, Marcel , METZGER, Thomas , EKKELS, Phillip , SCHÄUFELE, Ansgar
IPC分类号： H04R31/00 , B81C1/00 , G01L9/00
CPC分类号： B81C1/00682 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00666 , B81C99/004 , G01L9/0073 , H04R31/003
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mikroelektromechanischen Wandlers, das die folgenden Schritte aufweist: -Herstellen einer Vielzahl von mikroelektromechanischen Wandlern (1) auf einem einzigen Wafer (13), wobei jeder Wandler (1) eine Membran (3) aufweist, -Aufteilen des Wafers (13) in zumindest einen ersten und einen zweiten Bereich (14, 15), -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des ersten Bereichs (14) und Vergleich mit einem vorgegebenen Soll-Wert, -Feststellen der mechanischen Spannungen einer Stichprobe (18) von Membranen (3) des zweiten Bereichs (14) und Vergleich mit dem vorgegebenen Soll-Wert, -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem ersten Bereich (14) an den vorgegebenen Soll-Wert, und -Anpassen der Spannungen der Membranen (3) in dem zweiten Bereich (15) an den vorgegebenen Soll-Wert.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造微机电换能器，其包括以下步骤：在单个晶片（13）上-Herstellen多个微机电转换器（1）的，每个换能器（1）包括一个膜片（3）， - 将晶片分割（13）在至少一个第一和一个第二区域（14，15），-Feststellen膜的样品（18）的机械应力（3）在第一区域（14）和对规定的目标值的， -Feststellen膜的样品（18）的机械应力（3）所述第二区域（14），并与预定的所需值进行比较，在所述第一区域（14）-Adapting膜（3）的电压与所述预定的期望值，并且-Adapting在第二区域（15）的膜（3）的电压施加到规定的目标值。

3. 发明申请

WO2004091098A1 BAUELEMENT MIT EINER PIEZOELEKTRISCHEN FUNKTIONSSCHICHT 审中-公开
标题翻译：具有压电功能层COMPONENT
公开(公告)号：WO2004091098A1
公开(公告)日：2004-10-21
申请号：PCT/EP2004/001122
申请日：2004-02-06
申请人： EPCOS AG , METZGER, Thomas , DIEKMANN, Christian , SCHMIDHAMMER, Edgar
发明人： METZGER, Thomas , DIEKMANN, Christian , SCHMIDHAMMER, Edgar
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/175 , B65B3/003 , H01L41/0831 , H01L41/319 , H03H9/02149 , H03H9/173 , H03H9/583
摘要： In einem elektrischen Bauelement in Dünnschichtbauweise, welches eine piezoelektrische Funktionsschicht aufweist, wird die Schichtqualität der Funktionsschicht dadurch verbessert, dass zwischen Elektrodenschicht und piezoelektrischer Schicht eine Wachstumsschicht vorgesehen wird. Damit wird die Funktion der Elektrodenschicht von der einer wachstumsunterstützenden Schicht getrennt, wobei die Funktionen anhand getrennter Schichten unabhängig voneinander optimiert werden können. Erfindungsgemässe Bauelemente können als BAW-Resonatoren, Dünnschichtpiezoaktoren oder Piezosensoren ausgebildet sein.
摘要翻译：在薄膜结构的电子部件，具有压电功能层，所述功能层的层质量的改进之处在一个生长层，在电极层和压电层之间。因此，从生长支持层的电极层的功能是分开的，可以将这些功能独立地从彼此基于单独的层最佳化。本发明的装置可形成为一个体声波谐振器，薄膜压电致动器和压电传感器。

4. 发明申请

WO2016134803A1 MEMS-BAUELEMENT MIT HOHER INTEGRATIONSDICHTE 审中-公开
标题翻译：具有高集成度MEMS组件
公开(公告)号：WO2016134803A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/EP2015/080544
申请日：2015-12-18
申请人： EPCOS AG
发明人： METZGER, Thomas , PORTMANN, Jürgen
IPC分类号： H03H9/05 , H03H9/10 , B81C1/00 , B81B7/02
CPC分类号： H01L41/053 , B81B7/02 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C2203/0118 , B81C2203/0136 , B81C2203/0145 , B81C2203/0154 , H01L41/047 , H01L41/0533 , H01L41/081 , H01L41/23 , H01L2221/00 , H01L2224/11 , H03H9/0547
摘要： Es wird ein MEMS-Bauelement mit erhöhter Integrationsdichte und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements angegeben. Das Bauelement umfasst einen Basiswafer und einen darüber angeordneten Deckelwafer. Zwischen dem Basiswafer und dem Deckelwafer ist ein erster Hohlraum angeordnet. Über dem Deckelwafer ist ein zweiter Hohlraum unter einer Dünnschicht-Abdeckung angeordnet. Die Hohlräume enthalten Bauelementstrukturen.
摘要翻译：它具有增加的集成密度和用于制造这样的部件的方法陈述是MEMS设备。该装置包括基体晶片和上覆帽晶片。基底晶片和盖晶片之间的第一腔被布置。上面的帽晶片，第二腔被布置在薄膜盖下方。空腔包含组分结构。

5. 发明申请

WO2006032366A1 INTEGRIERTES FILTER 审中-公开
标题翻译：集成滤波器
公开(公告)号：WO2006032366A1
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：PCT/EP2005/009610
申请日：2005-09-07
申请人： EPCOS AG , HEIDE, Patric , METZGER, Thomas , ORLENKO, Denys , SCHMIDHAMMER, Edgar , SEVSKIY, Georgiy
发明人： HEIDE, Patric , METZGER, Thomas , ORLENKO, Denys , SCHMIDHAMMER, Edgar , SEVSKIY, Georgiy
IPC分类号： H03H7/075
CPC分类号： H03H9/542 , H03H7/0115 , H03H7/1758 , H03H7/1775 , H03H2001/0085
摘要： Es wird ein neuartiges kompaktes Filter für mobile drahtlose Datenübertragung vorgeschlagen, welches ein Basisfilter (BF) und mit diesem verschaltete hochgütige Resonatoren (R1, R2) umfasst. Das Basisfilter ist in einem Mehrlagensubstrat (M2) in Form von darin integrierten metallischen Strukturen (MS) ausgebildet, während die Resonatoren als diskrete Komponenten auf der Oberfläche des Mehrlagensubstrats angeordnet sind. Das erfindungsgemässe Filter kombiniert die Vorteile des LC-Basisfilters mit den hochgütigen und frequenzgenauen Eigenschaften von Resonatoren. Es werden kompakte und kostengünstige Filter mit wahlweise großer Bandbreite und niedriger Bauhöhe erhalten.
摘要翻译：它提出了一种用于移动无线数据传输，其包括基本过滤器（BF）中，用这种高连接谐振器（R1，R2）的新型紧凑的过滤器。基本过滤器是在其中集成有金属结构（MS）形成的形式的多层基板（M2），而谐振器被布置为在多层基板的表面上的离散组件。本发明的滤波器组合的LC滤波器基底的优点与谐振器的高度仁慈和精确的频率特性。这给出了一个紧凑和高性价比的过滤器可选的高带宽和低姿态。

6. 发明申请

WO2015106805A1 ELECTROACOUSTIC FILTER AND METHOD OF MANUFACTURING AN ELECTROACOUSTIC FILTER 审中-公开
标题翻译：电动过滤器和制造电动过滤器的方法
公开(公告)号：WO2015106805A1
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：PCT/EP2014/050679
申请日：2014-01-15
申请人： EPCOS AG , SAE MAGNETICS (H.K.) LTD
发明人： KNAUER, Ulrich , HONAL, Matthias , BINNINGER, Charles , METZGER, Thomas , NAKANO, Masahiro , KAMIMURA, Hirohiko , IIJIMA, Atsushi
IPC分类号： H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/13 , H03H9/145
CPC分类号： H03H9/64 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/131 , H03H9/14541
摘要： The present invention concerns an electroacoustic filter (1), comprising an electrode (2)having a main layer (6)which consists of a metallic material comprising an alloy of copper and molybdenum. According to a second aspect, the present invention concerns a method of manufacturing an electroacoustic filter (1),comprising the steps of: providing a substrate (3),sputtering a metallic material comprising an alloy of copper and molybdenum onto the substrate (3),annealing the metallic material, and pattering the metallic material to form a main layer (6)of an electrode (2).
摘要翻译：本发明涉及一种电声滤波器（1），其包括具有由包含铜和钼的合金的金属材料构成的主层（6）的电极（2）。根据第二方面，本发明涉及一种制造电声滤波器（1）的方法，包括以下步骤：提供衬底（3），将包含铜和钼的合金的金属材料溅射到衬底（3）上，退火所述金属材料，并且对所述金属材料进行图案以形成电极（2）的主层（6）。

7. 发明申请

WO2016037752A1 HF-FILTERMODUL MIT VERBESSERTER ERWEITERBARKEIT 审中-公开
标题翻译：具有改进的可升级性RF滤波器模块
公开(公告)号：WO2016037752A1
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：PCT/EP2015/066775
申请日：2015-07-22
申请人： EPCOS AG
发明人： SCHMIDHAMMER, Edgar , METZGER, Thomas
IPC分类号： H04B1/00 , H03J1/00
CPC分类号： H04B1/006 , H03J5/244 , H04B1/44
摘要： Es wird ein HF-Modul angegeben, dessen Filter-Funktionalität leicht erweiterbar ist und das gute elektrische Eigenschaften aufweist. Dazu umfasst das Modul zwei Filtereinheiten mit jeweils einem HF-Filter und einem Schalter mit zwei möglichen Schaltzuständen. Die beiden Filtereinheiten sind parallel verschaltet.
摘要翻译：本发明提供一种RF模块，所述过滤器的功能是容易扩张，并具有良好的电性能。为此，模块包括两个过滤器单元，每个单元具有RF滤波器和具有两个可能的开关状态的开关。两个过滤器单元被并联连接。

8. 发明申请

WO2014135442A1 BAUELEMENT MIT GESTAPELTEN FUNKTIONALEN STRUKTUREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：具有堆叠功能结构和制造方法的Component
公开(公告)号：WO2014135442A1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：PCT/EP2014/053860
申请日：2014-02-27
申请人： EPCOS AG
发明人： HENN, Gudrun , METZGER, Thomas
IPC分类号： H03H9/05
CPC分类号： H01L41/0533 , H03H9/0547 , H05K3/30 , H05K13/0023
摘要： Es wird ein zur Miniaturisierung geeignetes Bauelement mit akustisch entkoppelten funktionalen Strukturen angegeben. Das Bauelement umfasst eine erste funktionale Struktur, eine erste Dünnschicht-Abdeckung, die die erste funktionale Struktur abdeckt, und ein zweite funktionale Struktur oberhalb der Dünnschicht-Abdeckung. Die Dünnschicht-Abdeckung berührt die erste funktionale Struktur nicht.
摘要翻译：公开了一种适合于小型化设备与声学退耦功能结构。该部件包括一个第一功能结构，第一薄膜盖盖住上述第一功能结构，并且所述盖之上的第二功能性薄膜的结构。薄膜盖不接触所述第一功能结构。

9. 发明申请

WO2014094883A1 BAW COMPONENT AND METHOD FOR MANUFACTURING A BAW COMPONENT 审中-公开
标题翻译： BAW组件和制造BAW组件的方法
公开(公告)号：WO2014094883A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2012/076710
申请日：2012-12-21
申请人： EPCOS AG
发明人： MOULARD, Gilles , MURALT, Paul , MATLOUB, Ramin , METZGER, Thomas
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02 , H03H9/17 , H03H9/05
CPC分类号： H01L41/083 , H01L41/18 , H01L41/27 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/0576 , H03H9/171 , Y10T29/43
摘要： A BAW component and a method for manufacturing a BAW component are provided. The component comprises a bottom electrode, a top electrode and a first piezoelectric material between the bottom electrode and the top electrode, the material having a higher piezoelectric coefficient than AlN.
摘要翻译：提供了一种BAW组件和一种制造BAW组件的方法。该部件包括底部电极，顶部电极和位于底部电极和顶部电极之间的第一压电材料，该材料具有比AlN更高的压电系数。

10. 发明申请

WO2014032907A1 KONDENSATOR MIT VERBESSERTEM LINEAREN VERHALTEN 审中-公开
标题翻译：具有改进的线性性能电容器
公开(公告)号：WO2014032907A1
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：PCT/EP2013/066212
申请日：2013-08-01
申请人： EPCOS AG
发明人： LINK, Andreas , METZGER, Thomas , SCHMIDHAMMER, Edgar
IPC分类号： H01G4/38 , H01G4/40 , H01G17/00 , H01G4/005 , H03H9/05
CPC分类号： H01G4/35 , H01G4/005 , H01G4/30 , H01G4/38 , H01G4/40 , H01G17/00 , H03H9/0542 , H03H9/0547 , H03H9/0561
摘要： Es wird ein Kondensator mit verbesserten linearen Eigenschaften angegeben. Der Kondensator ist mit Herstellungsprozessen von mit BAW arbeitenden Bauelementen kompatibel. Der Kondensator umfasst eine erste und eine zweite Elektrode (E1, E2) in einer ersten elektrisch leitenden Lage und eine dritte Elektrode (E3) in einer zweiten elektrischen Lage. Zwischen den elektrisch leitenden Lagen ist eine dielektrische Lage (DL) angeordnet. Die erste Elektrode (E1) und die zweite Elektrode (E2) sind die Anschlusselektroden des Kondensators.
摘要翻译：本发明公开了具有改进的线性特性的电容器。电容器是与BAW器件工作的制造工艺完全兼容。所述电容器包括第一和在第一导电层和在第二电位置的第三电极（E3）的第二电极（E1，E2）。导电层之间，电介质层（DL）被布置。所述第一电极（E1）和第二电极（E2）是电容器的端子电极。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式