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1. 发明申请

WO2017081053A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器及其生产方法
公开(公告)号：WO2017081053A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/EP2016/077074
申请日：2016-11-09
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： NOMMENSEN, Peter , TEIPEN, Rafael , LEMKE, Benjamin , LOPATIN, Sergej
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/00
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L19/0038 , G01L19/0084
摘要： Es ist ein einfach aufgebauter, in einem erfindungsgemäßen Verfahren kostengünstig herstellbarer Drucksensor beschrieben, mit einem Grundkörper (1), einer unter Einschluss einer Druckkammer (3) mit dem Grundkörper (1) verbundenen, mit einem zu messenden Druck (Δρ) beaufschlagbaren, elektrisch leitfähigen Messmembran (5), und einer von der Messmembran (5) beabstandeten, gegenüber der Messmembran (5) elektrisch isolierten Elektrode (13), die zusammen mit der Messmembran (5) einen Kondensator mit einer in Abhängigkeit von einer vom auf die Messmembran (5) einwirkenden Druck (Δρ) abhängigen Durchbiegung der Messmembran (5) veränderlichen Kapazität bildet, der sich dadurch auszeichnet, dass der Grundkörper (1) eine die Druckkammer (3) begrenzende, der Messmembran (5) gegenüber liegende Innenfläche aufweist, auf der eine auf die Innenfläche aufgebrachte Isolationsschicht (15), insb. eine Isolationsschicht (15) aus Silizimdioxid (SiO 2 ), vorgesehen ist, und die Elektrode (13) eine auf auf der Innenfläche auf die Isolationsschicht (15) aufgebrachte leitfähige Beschichtung, insb. eine Beschichtung aus dotiertem Polysilizium, ist.
摘要翻译：
这是一个简单的结构，在根据本发明的BEAR ROAD烯方法成本导航用途描述廉价瑞士可生产压力传感器，有一个初学者＆OUML;主体（1），一个包括一个压力室（3）与初学者＆ouml; 相关联的主体（1），具有可根据导电BEAR ELIGIBLE测量膜片（5），并且测量膜片中的一个被加载到待测量的压力（Δρ）（5）隔开，靠测量膜片的过度（5）是电绝缘的电极（13），与测量膜片一起（5）具有依赖BEAR取决于作用在测量膜片（5）压力（Δρ）BEAR依赖性的测量膜片的偏转力的依赖性的电容器（5）版本＆AUML;方向工会电容BEAR吨形式这由此其特征在于，求＆oUML;主体（1）的限定压力室（3），所述测量膜片（5），防止过躺在具有澈，上的Innenfl＆AUML所述一个Innenfl BEAR的;枝施加绝缘层（15），特别是Isolationss。二氧化硅（SiO 2），并且电极（13）具有施加到绝缘层（15）的内表面的导电涂层，特别是涂层，的掺杂多晶硅，是。

2. 发明申请

WO2014056715A2 DIFFERENZDRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：差压传感器及其制造方法
公开(公告)号：WO2014056715A2
公开(公告)日：2014-04-17
申请号：PCT/EP2013/069766
申请日：2013-09-24
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG
发明人： GETMAN, Igor , LINK, Thomas , NOMMENSEN, Peter , TEIPEN, Rafael
IPC分类号： G01L19/06
CPC分类号： G01L9/0072 , B81B3/0027 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00396 , B81C1/00531 , G01L9/0073 , G01L13/025 , G01L19/0618
摘要： Ein Differenzdrucksensor (1), umfasst eine Messmembran (10); die zwischen dem zwei Gegenkörper (20) angeordnet und mit den Gegenkörpern (20) jeweils über eine erste isolierende Schicht (26) unter Bildung einer Druckkammer zwischen den Gegenkörpern und der Messmembran druckdicht verbunden ist, wobei die isolierende Schicht insbesondere Siliziumoxyd aufweist, wobei der Differenzdrucksensor weiterhin einen elektrischen Wandler zum Erfassen einer druckabhängigen Auslenkung der Messmembran aufweist, wobei die Gegenkörper (20) Stützstellen (27) aufweisen, an welchen die Messmembran (10) im Überlastfall zumindest teilweise anliegt, wobei die Stützstellen (10) positionsabhängige Höhen h aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützstellen (27) durch isotropes Ätzen in der ersten isolierenden Schicht (26) gebildet sind, und die jeweilige Höhe h einer Stützstelle jeweils eine Funktion einer Erstreckung einer Basis der Stützstelle in der Referenzebene ist.
摘要翻译：一种差动压力传感器（1）包括测量膜（10）; 被布置在两个相对主体（20）之间并连接到所述反向机构（20），每一个都具有第一绝缘层（26），以形成对置机构和测量膜片压力密闭的方式，其中，所述绝缘层具有特别是氧化硅之间的压力室，其中所述压差传感器还包括用于检测测量膜的依赖于压力的偏转的电换能器，所述反主体（20）具有支承点（27），其测量膜片（10）至少部分地搁置在过载的情况下，其中，所述支承点（10）的位置相关的高度h，其特征在于在（27）是通过在各向同性蚀刻形成的支承点，所述第一绝缘层（26）和一个支承点的各自的高度h是在每种情况下，在参考平面上的支点的基部的程度的函数。

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