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    • 6. 发明申请
    • TRAITEMENT D'UNE COUCHE DE GERMANIUM COLLEE A UN SUBSTRAT
    • 处理粘结到基材上的锗层
    • WO2007045759A1
    • 2007-04-26
    • PCT/FR2006/002332
    • 2006-10-17
    • S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIESALLIBERT, FrédéricDEGUET, ChrystelRICHTARCH, Claire
    • ALLIBERT, FrédéricDEGUET, ChrystelRICHTARCH, Claire
    • H01L21/762
    • H01L21/76254
    • L'invention concerne un procédé de traitement d'une structure comprenant une couche mince de Ge sur un substrat, ladite couche ayant été préalablement collée au substrat, le procédé comprenant un traitement pour améliorer les propriétés électriques de la couche et/ou de l'interface de la couche de Ge avec la couche sous-jacente, caractérisé en ce que ledit traitement est un traitement thermique mis en œuvre à une température comprise entre 5000C et 6000C pendant au maximum 3 heures. L'invention concerne aussi un procédé de réalisation d'une structure comprenant une couche de Ge, le procédé comprenant un collage entre un substrat donneur comportant au moins dans sa partie supérieure une couche mince de Ge et un substrat récepteur, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : (a) collage du substrat donneur au substrat récepteur de sorte que la couche de Ge se trouve au voisinage de l'interface de collage ; (b) retrait de la partie du substrat donneur ne comprenant pas la couche de Ge ; (c) traitement de la structure comprenant le substrat récepteur et la couche de Ge conformément audit procédé de traitement.
    • 本发明涉及一种用于处理在衬底上包括薄Ge层的结构的方法,所述层已经预先结合到衬底上,该方法包括用于改善Ge层和/或Ge界面的电性能的处理 层与底层。 本发明的特征在于,所述处理是在500℃至600℃之间的温度下实施最多3小时的热处理。 本发明还涉及一种用于制造包括Ge层的结构的方法,所述方法包括将包括至少在其上部的薄Ge层和接收衬底的施主衬底结合,其特征在于,其包括以下步骤:(a) 将施主衬底接合到接收器衬底,使得Ge层位于接合界面附近; (b)消除不包括Ge层的供体衬底的一部分; (c)根据处理方法处理包括接收器基板和Ge层的结构。