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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR PRÜFUNG EINES TESTSUBSTRATS IN EINEM PROBER UNTER DEFINIERTEN THERMISCHEN BEDINGUNGEN
    • FOR到探测器中,下一个测试基板测试过程中定义的热条件
    • WO2010028914A1
    • 2010-03-18
    • PCT/EP2009/059962
    • 2009-07-31
    • SUSS MICROTEC TEST SYSTEMS GMBHTEICH, MichaelKANEV, StojanFLEISCHER, Hans-Jürgen
    • TEICH, MichaelKANEV, StojanFLEISCHER, Hans-Jürgen
    • G01R31/28
    • G01R1/0408G01R31/2855G01R31/2874G01R31/2875G01R31/2886
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen oder Testen von Testsubstraten (7) in einem Prober unter definierten thermischen Bedingungen. Eine solche, dem Fachmann als Prober bekannte Prüfvorrichtung weist ein Gehäuse mit zumindest zwei Gehäuseabschnitten auf, in dessen einen Gehäuseabschnitt das zu prüfende Testsubstrat (7) durch einen Chuck (5) gehalten und auf eine definierte Temperatur eingestellt wird und in dessen anderem Gehäuseabschnitt, der Sondenkammer (3), Sonden (23) gehalten werden. Zur Prüfung werden das Testsubstrat (7) und die Sonden (23) mittels zumindest einer Positionierungseinrichtung relativ zueinander positioniert und nachfolgend das Testsubstrat (7) durch die Sonden (23) kontaktiert. Zur Stabilisierung der thermischen Bedingungen während der Prüfung werden die Sonden (23) mittels einer temperierten Gasströmung (11), welche die Sondenkammer (3) durchströmt, auf eine von der Temperatur des Testsubstrats (7) unabhängige Temperatur eingestellt und diese Temperatur gehalten wird.
    • 本发明涉及一种方法和用于检查或定义的热条件下,在探测器的测试底物(7)的测试的装置。 这种已知的本领域技术人员作为探针测试装置包括具有至少两个壳体部分的壳体,在其中以通过卡盘(5)待测试的壳体区段测试基板(7)被保持并设定为规定的温度并在其另一外壳部 探针室(3),探针(23)被保持。 为了进行测试,将测试基板(7)并通过至少一个定位装置的装置的探针(23)相对于彼此定位成,并且随后测试基板(7)由所述探针(23)接触。 为了通过温度受控的气体流(11)流过探针室(3)的装置稳定在测试探针(23)的热条件可以调节与温度无关,以测试底物(7)的温度和该温度被维持。