本发明涉及一种光学装置（1），特别是用于导航用途řEUV光刻，包括：至少一个壳体BEAR使用（图4A），其中至少一个反射光学元件（13，14， 15），其具有形成有反射表面（13a，14a，15a）的基体（13b，14b，15b）和至少一个支架（21a，21b; 22a，22b; 15b） 其中反射光学元件（13,14,15）的基体（13b，14b，15b）优选可移动地安装在所述基体（13a，23a，23b）上。 光学组件（1）包括至少一个H导航用途LLE（16），至少所述至少一个保持器（21A，21B，22A，22B，23A，23B），并且优选地，求与OUML;主体（13B，14B，15B）的 反射至少部分包膜导航用途落在光学元件（13，14，15），以及周围空间（20），在将H导航用途LLE中的至少一个（16）包封所述保持器的导航用途llter部分，特别是在整个保持器（21A，21B ，23B）22A，22B，23A，（相对于壳体BEAR用途（4a）的密封的内部空间19），其中，所述反射光学元件（13，14的反射表面BEAR表面（13A，14A，15A） ，15），壳体（16）具有至少一个柔性部分（16a），用于促进光学元件（13,14,15）的移动操纵。 本发明还涉及一种用于操作这种光学装置（1）的方法。